【課題】 セラミック特性を最大限有効に活用して弁開閉操作を円滑かつ軽快にできるとともに、維持管理の簡略化、メンテナンス費用の低減化を図りつつ、長期間に亘る繰り返し使用にも所定のシール性能、止水性能を安定よく確保できる開閉弁を提供する。
【解決手段】 流入口２及び流出口３を有する筒状弁本体４内の通水方向に間隔を隔てて互いに平行に固定された一対のセラミック製固定ディスク５Ａ，５Ｂ間にそれらの相対向面に両面が密接する状態でセラミック製可動ディスク６を挟み込み保持させてなり、この可動ディスク６を弁本体４の軸心ａ周りに回転操作して両ディスク５Ａ，５Ｂと６とを相対回転させることにより弁孔同士が重合されて流入口２と流出口３とが連通する開弁状態と、弁孔同士が非重合とされて流入口２と流出口３との連通が遮断される閉弁状態とに切替可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】動体を筐体の内部に収納可能な機構を有するゲートバルブを提供すること。
【解決手段】ゲートバルブは、スライドプレートと、スライドプレートの径方向及び軸方向の位置を変化させる移動機構を備えている。シャフトは、軸方向駆動機構により軸方向の移動量が制御され、径方向駆動機構により回転角が制御される回転軸であり、磁気軸受、及び円錐コイルばねからなる軸支持ばねにより筐体内に回動可能に支持されている。電磁石におけるバランスウェイトの吸引力を制御することにより、シャフトを径方向に移動させることができる。また、電磁石における電磁石ターゲットの吸引力を制御することにより、シャフトを軸方向に移動させることができる。気体の流路を閉じる場合には、スライドプレートを、流出孔を完全に覆う位置に移動させた後、軸方向駆動機構を作動させてスライドプレートをＯリングと密着させる。 （もっと読む）

【課題】弁体の移動量と通過流量との関係を線形とするバルブ構造を提供する。
【解決手段】本発明は、流体が通過する流路３の開口面積が大きくなるほどバルブ１前後の前記流路内の圧力差が小さくなる流路３の流量を調整するバルブ構造において、前記流路３の開口面積を規定する前記バルブ１の弁体２の移動量に対する流体の流量の変化率が線形となるように、前記弁体２の移動量に対する流体が通過する前記流路３の開口面積の変化率を非線形となるように形成したバルブ構造である。 （もっと読む）

【課題】振り子式圧力コントロールバルブにおいて摺動するＯリング等から発生する微粒子の拡散を防止する。
【解決手段】シールリング８を作動するためのシャフト１４のシャフト摺動面及び流路壁面とシールリング８との間の摺動面にそれぞれ付設されたＯ−リング１０、１１から発生する微粒子及び各摺動面に使用される真空グリースから、真空プロセスチャンバ雰囲気を遮断するために枠体壁面とシールリングとの外壁面に上記Ｏ−リングを挟む位置に２本の耐食性材料からなる環状保護バンド１２、１３を配置する構成とする。 （もっと読む）

【課題】低真空領域での圧力制御を容易に可能とすることができ、制御時間を大幅に短縮する。
【解決手段】弁支えの弁デスクに対する相対的な移動に伴なって弁デスクを弁座の方向に受け板を反弁座面の方向に拡げる手段と、受け板を保持する手段と、を有して、受け板を保持手段によって保持する時に弁デスクは弁座に対して未完閉止状態におかれ、弁支えの弁デスクに対する更なる相対的移動に伴なって弁デスクは弁座に対して完全閉止状態におかれるようにして構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ディスプレーサに軸方向の往復運動を伝達する往復動部材とディスプレーサとの連結部分において軸方向及び径方向に遊びのない連結固定機構を有する冷凍機を提供することを課題とする。
【解決手段】圧縮機１は作動流体を圧縮する。圧縮された該作動流体はシリンダ部１０に供給される。ディスプレーサ３ａはシリンダ部１０内で往復動してシリンダ内で圧縮された作動流体を膨張させる。回転・往復運動変換機構の往復動部材２２ａとディスプレーサ３ａとを連結固定機構により連結する。連結固定機構はディスプレーサ３ａの一端に固定されたフランジ４１を含み、フランジ４１を介して往復動部材２２ａがディスプレーサ３ａに固定される。 （もっと読む）

【課題】この発明は、流路の断面積を大きく確保できるとともに、スパウトのレイアウトの自由度が向上する給水バルブを提供することを目的とする。
【解決手段】スパウト４基端外周面に凹凸部４３ｂを設けるとともに、スパウト４と連結され、スパウト４と一体的に回動する中空パイプ状のバルブケースガイド３２、駆動ケース３３を備え、バルブケースガイド３２の、凹凸部４３ｂと対向する部位に、凹凸部４３ｂと嵌合して流路を形成する被嵌合凹溝３２ｂを設けた。さらに、スパウト４と上記バルブケースガイド３２とを、スパウト４基端の外側で連結する取付けネジ５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ＰＳＡ性能に対する弁間漏洩の影響を減少させる改良された回転弁を提供する。
【解決手段】（ａ）回転子面に対して垂直な軸線を中心として回転可能な回転子面と、複数の穴と、この複数の穴の少なくとも１対の穴を互いに連結する少なくとも１つの通路とを含む回転子と、（ｂ）外側周縁を有する平らな回転弁シールを形成するように回転子面と封止状に接触している固定子面を有する固定子であって、この固定子を貫通するそれぞれの通路に連結されている固定子内の複数の穴、および、固定子を貫通する通路の少なくとも１つは、真空ポンプに直接的に連結されている固定子真空通路である固定子と、（ｃ）回転弁シールの外側周縁に隣接している内側体積を有する封止弁室であって、回転弁を取り囲む大気から封止されている封止弁室と、（ｄ）封止弁室に連結されている真空孔通路とを備える回転弁。 （もっと読む）

本バルブ組立体は、出口（２０）まで延びる流路（１４）を持つハウジング（１２）と、流路内にあり且つ出口の周囲に設けられた弁座（２４）と、前記ハウジング内に配置された、弁座と接触して流路を通る流れを遮断する閉鎖位置と、流路を通る流れを許容する開放位置との間で、流路の長さ方向軸線に対して横方向に移動自在の摺動板（２６）とを含み、摺動板及び弁座の少なくとも一方が、摺動板と弁座との間に所定量の導通性を提供する少なくとも一つの通路（７６）を備えている。
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【課題】バルブ全体の小型軽量化と、弁体の中間開度において弁箱内に流体物が入り込んで弁体が完全に開閉することができなくなることを防止する。
【解決手段】 上面に開口部３、下面に流出孔８を備えた弁箱内２に、前記流出孔８と合致する弁座孔２２、３２をそれぞれ有した一対の入口側弁板２０と出口側弁板３０との間で、前記弁座孔２２、３２を開閉する弁孔４３と閉鎖部４５を備えた可動弁板４０を摺動可能に重ね合わせて収容し、前記流出孔８と合致する位置に流入孔１２を備えた蓋体１０と前記入口側弁板２０との間にリングばね３６を介在させて弁箱２の開口部３を閉口することにより、前記リングばね３６の付勢圧で入口側弁板２０と可動弁板４０と出口側弁板３０をそれぞれ圧接し、且つ、前記可動弁板４０の正逆回動によって前記弁座孔２２、３２を開閉可能に形成したものである。
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