【課題】弁座と弁体に付着した付着物を短時間で除去し、プロセスガス制御弁が発生するパーティクルを減少させるとともに、流体漏れを防止できるプロセスガス制御弁の付着物除去方法及びプロセスガス制御弁の制御装置を提供すること。
【解決手段】弁体２２を弁座６に当接又は離間させることによりプロセスガスの供給を制御するプロセスガス制御弁１にパージガスを流し、弁体２２を弁座６に繰り返し衝突させる。このとき、プロセスガス制御弁１のボディ２をヒータ３０で加熱してもよい。また、上記プロセスガス制御弁１の付着物除去方法を実行する付着物除去手段３７を有する制御装置３１をプロセスガス制御弁１に接続してもよい。 （もっと読む）

【課題】 内燃エンジンの排気マニホールドの下流部分に設けられ、より多くの排気ガスを再循環装置に向かわせることを可能にするバルブ装置を提供する。
【解決手段】 内燃エンジンからの排気が流入する入口筒と外部への出口筒および再循環装置への出口筒が交差する部位で構成されるハウジング内に、バタフライバルブを設ける。このバタフライバルブはそれらの筒の接続部位の前方の、そこに流れる流体に対して邪魔になる位置にあり、モータで動かすことで流体の流れを制御し、再循環装置に流れる排気ガスの量を制御する。ハウジング内に制御用モータを組み込むとバルブ装置全体をコンパクトにすることができ、また冷却手段をも組み込むと、関連部分を適正な温度に保てるために非耐熱性素材の密封体が使用できるため、コストを押さえることができる。
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【課題】油圧回路の機器類が受ける過大な熱負荷を低減して同機器類の損傷を極力防止する経済的な建設機械の作動油冷却システムを提供する。
【解決手段】油圧アクチュエータと、油圧アクチュエータを駆動するための圧油を発生する油圧ポンプと、この油圧ポンプから油圧アクチュエータへ供給される圧油の流れや流量を切り換える方向制御弁を一体的に備えた方向制御弁ユニット３０と、作動油を冷却する作動油冷却手段とを備え、油圧回路を流れる作動油を作動油冷却手段で冷却する建設機械の作動油冷却システムにおいて、方向制御弁を通過する作動油を冷却するための冷却水を流通させる冷却水路３５を方向制御弁ユニット本体３１における方向制御弁のスプール３３の周囲に設けた。 （もっと読む）

【課題】冷却装置において冷却空気を通過させるための開口を制御するための、流体、液体又はダスト用のバルブを提供する。
【解決手段】バルブは、中央支持部10及び周辺支持部11に接続された中央部及び周端部を持ったダイアフラム開閉要素9を備える。支持体は、それぞれ、バルブの開状態と閉状態とに対応した、第一の相対的な端位置と第二の相対的な端との間で互いに関して軸方向に移動可能である。第一支持体10及び第二支持体11の軸方向の相対的な移動は、少なくとも一つの形状記憶ワイヤを含む形状記憶手段によって制御される。それは、ダイアフラムの周囲に沿って少なくとも部分的に延在し、電気供給手段によって作動する。ワイヤの加熱は、ダイアフラムの正確な動きを妨げる傾向のある氷又は霜のあらゆる可能な形成も除去するために利用される。 （もっと読む）

【課題】弁器体の流出口から食用油、流動食品など被制御流体を噴霧できる電磁弁が得られ、油などの温度の低下により粘性が高くなる性質の被制御流体の温度低下を防止し、被制御流体を確実に噴霧できる。
【解決手段】弁器体11には流体流入口13に流体流入路15にて連通する弁室14と弁室14に流体流出路27にて連通する噴霧口17とを形成する。弁器体11の弁室14に開閉弁機構22を設けるとともに弁器体11に開閉弁機構22を作動させる電磁機構12を設ける。弁器体11に噴霧口17に連通する空気流入路18を形成する。弁器体11の流体流入口13から流入して噴霧口17から噴霧される被制御流体は加温流体で、弁器体11に弁室14に循環流出路20にて連通する循環流出口19を形成する。さらに、弁器体11に被制御流体を冷却する冷却媒体の流通路21を形成する。
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【課題】棒状のカートリッジヒータを使用しても、その長さ分の交換スペースを必要とせず、幅分の交換スペースがあればメンテナンスが可能となり、それに伴い設置面積の増加を抑えることができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】支持部材2に、側方に開口する凹部2aが設けられている。支持部材2の凹部2aに、ヒータ部材3が側方から着脱可能に挿入されて固定されている。支持部材2は、２枚のプレート状部材21,22が重ね合わせられることによって横断面コ字状に形成されている。ヒータ部材3は、２枚のプレート状部材21,22によって形成された凹部2aに挿入され六角穴つきボルト26によって固定されている。 （もっと読む）

【課題】既存のコンポーネント部品を用いて簡単にフットスペースを狭小化できるガス供給集積ユニットを提供すること。
【解決手段】 複数のコンポーネント部品（一次側フィルタ１，手動弁２，レギュレータ３，圧力計４，入力弁５，マスフローコントローラ６，出力弁７，二次側フィルタ８，逆止弁９，パージ弁１０）を搭載するガスユニット１２を複数備えるガス供給集積ユニット１１において、ガスユニット１２ａ〜１２ｉを、ガスユニット１２の高さ方向に配置をずらして保持する構造体１３ａ，１３ｂ，１３ｃを設ける。 （もっと読む）

【課題】 化学処理用の真空チャンバの減圧に使用する真空調圧バルブにおいて、プロセスガスとの接触による副生成物が弁座と弁シール部材とに付着するのを防止する。
【解決手段】 第１主ポート１１に通じる第１流路孔１３の端部の弁座１６に近接する位置に、該弁座１６とこの弁座１６を開閉する弁シール部材１７とに向けて不活性ガスを噴射するためのノズル部５１を有し、このノズル部５１は、上記第１流路孔１３の端部の拡大孔部１３Ａ内に筒状部材５４を嵌着することにより形成されていて、弁座１６と同心状に開口する環状の噴射口５２と、この噴射口全体に不活性ガスを均等に供給するための環状の整流室５３とを有し、この整流室５３が、バルブハウジング１０の外面の伝熱カバー３１との間で熱伝達可能なるように形成されたガス流路６０を介してガス供給原に接続される。 （もっと読む）

【課題】 設置面積を増加させることなく、十分な加熱を行うことができる流体制御装置を提供する。
【解決手段】 加熱手段3は、ベース部材2と下段層5との間に介在された面状ヒータ21と、上段層4の遮断開放器15,17およびマスフローコントローラ16とヒータ21との間に介在された熱伝導向上用スペーサ22とからなる。 （もっと読む）

本発明は、液体燃料により作動されるように組み込まれ、燃料ポンプ(16';16)と、エラストマー(36;68)を設けられ、燃料ポンプ(16';16)により生成される脈動を緩衝するために使用される緩衝要素(34;66)とを備える、自動車両加熱システム(10)に関する。本発明によると、手段(58,78a,78b,78c,80,82)がエラストマー(68)を加熱するために設けられる。自動車両加熱システムは、電磁的に作動される燃料弁(52)を備え、緩衝要素(66)は、電磁的に作動される燃料弁(52)の区域内に設けられ、特に電磁的に作動される燃料弁(52)内へ組み込まれると好ましい。 （もっと読む）