マイクロバルブのアクチュエータを制御する方法において、アクチュエータに電圧を供給するためのコントローラが提供される。コントローラは、マイクロバルブを動作させるのに有効な初期電圧をアクチュエータに供給する。次いで、コントローラは、マイクロバルブの動作を継続させるのに有効なパルス電圧をアクチュエータに供給する。
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【課題】機能信頼性をより高めた、互いに接続された２つのプロセスユニット間を蒸気が漏れないよう遮断するバルブを提供すること。
【解決手段】２つのプロセスユニット間を接続する流路３と、該流路３内に設けられたシャットオフ装置を備えて成る、互いに接続された前記２つのプロセスユニット間を蒸気が漏れないよう遮断するバルブにおいて、当該バルブを囲繞して設けられたヒータ装置１５から熱伝導するよう接続された、蒸気による結露を生じない範囲を、前記流路３の蒸気と接触する表面に設けた。
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バルブハウジングを含み、バルブハウジングが、ハウジングキャビティを画定するとともに、ハウジング注入口、ハウジングベント、毛細配管注入口、および毛細配管排出口を備えている、凍結・解凍バルブ、および凍結・解凍バルブをマイクロ加工する方法が提示される。バルブ本体が、少なくともその一部をリソグラフィによって構成して設けられ、冷却剤注入口、冷却剤排出口、および膨張チャンバを含んでいる。膨張チャンバは、冷却剤注入口を冷却剤排出口に連通させるように配置され、流れ規制手段を有する規制領域を含んでいる。さらに、バルブ本体は、バルブハウジングとバルブ本体との間に絶縁チャネルを形成するようにハウジングキャビティ内に配置されている。 （もっと読む）

バルブ（１）およびアクチュエーター（５）のための熱絶縁装置は、このバルブとこのアクチュエーターとの間に配置されるように適合され、かつこのアクチュエーターをこのバルブに接続するように適合されている、カプラー（９）を備える。上記熱絶縁装置は、上記バルブおよび上記アクチュエーターのうちの１つが、高温または低温に曝露された場合に、上記バルブと上記アクチュエーターとの間の温度勾配を増すように適合されている。上記カプラー（９）は、高温での構造健全性および低熱伝導率を有する材料から構成されている。
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【解決手段】
原子層沈着（ＡＬＤ）システムで使用するためのダイヤフラムバルブ（２００）が開示される。一実施例では、加熱ボディ（２９０）は、ダイヤフラム（２２０）とバルブボディ（２１０）との間の熱伝導経路を形成し、ダイヤフラムで作動温度を維持させ、高温前駆ガスがバルブ通路（２１４）内で凝結又は凍結することを防止する。別の実施例では、ダイヤフラムの背後で覆い空間（２９６）と連通する圧力排出口（３０２、３０６、３１０）は、ダイヤフラムの開位置及び閉位置の間の移行に対する抵抗を減少させる。ポンプ又は吸引源（３１６）は、覆い空間内で流体圧力を減少させるため圧力排出口に連結される。別の実施例では、バルブシート（２３０）は、バルブの入口（２１６）を取り囲み、閉じられるときのダイヤフラムの側部の大部分と接触する環状座席表面を備え、熱輸送を容易にし、ダイヤフラムの散逸的冷却を相殺させる。 （もっと読む）

【課題】 弁を駆動するための電動モータと，該電動モータを駆動制御するための電装品と，昇温用のヒータとを少なくともケーシングに収容した従来の弁駆動用電動アクチュエータでは，ケーシング内の温度に基づいて上記ヒータへの通電制御が行われるため，外気温度の変化が急激な場合に十分に結露防止が行えない場合があった。
【解決手段】 本発明は，ケーシング２内の湿度を検出し，検出された湿度に基づいて上記ヒータ６への通電制御を行うことにより，上記ケーシング２内における結露を確実に防止することを図ったものである。 （もっと読む）

【課題】電装品の収納ケース内にヒータを配置して、昼間や夏季に過度の加熱状態を招くことなく、寒冷時における結露の発生を有効に防止する。
【解決手段】収納ケース１内に、ヒータ１３と、このヒータ１３への通電を自力制御によりオンオフして収納ケース１内を一定温度以上に昇温せず且つ結露を生じない温度域に保つサーモスタット１４とを配置し、ヒータ１３を常時作動させた場合の収納ケース１内における激しい昇温状態を回避するようにしたので、逆にヒータ１３に十分な容量を与えて寒冷時における内部加熱の実効を高めることができる。 （もっと読む）