【課題】複雑なアクチュエータを用いずに、精密な量の計量を行うことができるバルブ２０を提供する。
【解決手段】 バルブ２０は、バルブシート２６を有するハウジング３４と、バルブシート２６に選択的に着座するバルブピン２２と、このバルブピン２２を支持する支持シェル３０とを有する。バルブピン２２と円筒形の支持シェル３０とは、符号２８の端部で溶接されている。ハウジング３４および支持シェル３０は熱膨張係数の大きいステンレススチールからなり、バルブピン２２は熱膨張係数の小さいタングステンからなる。ヒータ４２による加熱あるいは外部の熱によって両者が膨張すると、熱膨張差によってバルブピン２２がバルブシート２６から離れる。例えば流体の微小なサンプリングに好適である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、弁体加熱手段を装着した弁体を弁体ホルダに着脱可能に取付けてなるゲートバルブにおいて、弁体および弁体ホルダからなる弁部の厚みを薄くすること、ならびに、弁体および加熱用ヒータの交換を容易にすること、を同時に達成できるゲートバルブを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のゲートバルブは、弁体を弁体ホルダに着脱可能に取付けてなるゲートバルブにおいて、弁体に弁体加熱手段を装着し、弁体と弁体ホルダとの対向面に位置し、かつ、対向面に沿って平板状接続端子を弁体および弁体ホルダにそれぞれ設けることにより、該コイルスプリングを介して加熱手段と電気的に接続されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】ヒータの発熱によりバルブ内への生成物の付着を防ぎ、バルブのボデーを分解することなく弁体部分等のメンテナンスを実施できるバタフライ式圧力制御バルブを提供する。
【解決手段】流路を有するボデー８１とこの流路を弁軸８９により開閉可能な弁体８３とを有し、真空チェンバと真空ポンプとの間に接続されるバタフライ式圧力制御バルブである。弁軸８９に弁体８３を着脱自在に取付けると共にこの弁軸８９にヒータを取付け、このヒータに接続した配線９２を介して外部より電流を流すことでヒータを発熱させ、この熱を弁軸８９から８３弁体に伝導した。 （もっと読む）

【課題】流体が流れる流路内に配設され、作動することにより前記流路を開閉する弁部を有する流体制御弁において、簡単な構造で弁部を開状態に保持する流体制御弁を提供すること。
【解決手段】コイルスプリング９０で閉弁側に付勢された常閉弁体が、所定量流路を開く方向に作動したとき、弁体を開弁状態に保持し固定する係止溝７０を有し、ハウジング１０側に設けた弁体の係止溝７０に係止する係止爪８０とを備え、開弁状態で係止溝７０に係止爪８０を係止させ、開弁状態を保持する保持手段を備えた流体制御弁１００。 （もっと読む）

【課題】 圧電アクチュエータの使用範囲温度を超える温度の流体でも制御可能な圧電駆動式バルブ及び圧電駆動式流体制御装置を提供する。
【解決手段】 流体流路１ｂを開閉するための弁体２と、圧電素子の伸張を利用して弁体２を開閉駆動するための圧電アクチュエータ１０と、圧電アクチュエータ１０を流体流路１ｂから遠ざけるように持上げ支持するとともに、流体流路１ｂを流れる流体から圧電アクチュエータ１０へ伝わる熱を放熱するための放熱スペーサ４０と、を備え、さらに、好ましくは、圧電アクチュエータ１０及び放熱スペーサ４０の双方を収容して支持する支持筒体２３Ａと、を有し、支持筒体２３Ａは、少なくとも放熱スペーサ４０を収容する部分が放熱スペーサ４０と同じ熱膨張係数を有する材料で形成されていることとした。 （もっと読む）

【課題】流体流路に介在する弁部を有し、前記流路を開閉するように前記弁部を制御する流体制御弁において、簡単な構造により弁部の開閉を推定して、弁部を制御する流体制御弁を提供すること。
【解決手段】ヒータ回路に介在する弁体４０を有し、ヒータ回路を開閉するように弁体４０を制御する流体制御弁であって、弁体４０より上流側に第一温度センサ９１が備えられると共に、弁体４０より下流側に第二温度センサ９２が備えられ、第一温度センサ９１が検出した第一温度と第二温度センサ９２が検出した第二温度とを比較し、弁体４０の開閉を推定する推定手段Ｄを備えて弁体４０を制御する流体制御弁１００とした。 （もっと読む）

【課題】温度分布や昇温条件を任意に設定可能で、均一な発熱も高精度に実現でき、故障時のリスクを低減でき、修復作業が容易なゲートバルブを提供する。
【解決手段】バルブプレート２０中に、複数の発熱体モジュール３０を設置してバルブプレート２０を加熱する。発熱体モジュール３０は、各々が発熱体を収容部材中に封止した部材であって、これを単位に温度制御が可能であるとともに、故障した場合にはこの発熱体モジュール３０のみを交換すればよい。また、１つが故障をしても全体に対する影響は少なくリスクも低減できる。 （もっと読む）

【課題】半導体処理チャンバからの排気ガスの固化を防止することにより、メンテナンスの手間と費用を低減することが可能なスロットルバルブを提供する。
【解決手段】内部に空間を有するバルブ本体部２０と、バルブ本体部の側壁に形成され、外部の真空チャンバ１１１と連結される連結部と、バルブ本体部内部の空間であって連結部の下端部より上方にある上方空間と、バルブ本体部内部の空間であって連結部の下端部より下方にあり、真空ポンプと連結される下方空間の間の開口度を昇降により調節するプランジャー５１と、バルブ本体部の上壁２２の上部に配置される固定台３０，４０と、固定台及びバルブ本体部の内部に設けられ、プランジャーを昇降させるプランジャー昇降機構６０と、バルブ本体部の上壁の外側及び固定台の側壁部に設けられるヒーター９０，９２を備え、ヒーターはバルブ本体内部の上壁とプランジャーとの間の空間を加熱する。 （もっと読む）

【課題】複数の開閉弁が設けられたブロックの幅を縮小することができるとともに製造が容易であるガス供給ユニットを提供する。
【解決手段】ガス供給ユニット１１の流路ブロック２０は、長尺状に延びる直方体状に形成され、上面２０ａに複数の開閉弁５０が直列に搭載されている。各開閉弁５０の各弁室２４が流路ブロック２０の上面２０ａに設けられている。プロセスガス流路２２は、弁室２４の略中央に連通されるとともに流路ブロック２０の上面２０ａから離間する方向へ延びて下面に開口している。キャリングガス流路２１は、隣り合う開閉弁５０の弁室２４を接続しており、流路ブロック２０の両側面２０ｃの一方の側面２０ｃと他方の側面２０ｃとに、流路ブロック２０の長手方向に沿って交互に設けられた側面流路２５を含んでいる。側面流路２５は、流路ブロック２０の長手方向に沿って延びる溝部と溝部の溝開口を覆う蓋部材とにより構成されている。 （もっと読む）