【課題】電磁弁からの放熱を適切に行うことのできるガス供給ユニット及びガス供給装置を提供する。
【解決手段】ガス供給ユニット１１は、内部に流路の設けられた流路ブロック２０と、流路を流通するガスの流通状態を変更する複数の電磁弁５０（５０Ａ）とを備えている。各電磁弁５０はコイル５２とコイル５２の外周に配置されたケース５３とを有している。流路ブロック２０は、長尺状に延びる直方体状に形成され、複数の電磁弁５０が搭載された上面２０ａを有している。複数の電磁弁５０は、上面２０ａの長手方向に沿って直列に配置されている。ガス供給ユニット１１は、複数の電磁弁５０の各ケース５３に跨るようにして上面２０ａの長手方向に沿って延びて各ケース５３に当接される平板部３１と、流路ブロック２０の上面２０ａに平板部３１を繋ぐ固定部３２とを有する伝熱プレート３０を備えている。 （もっと読む）

【課題】流路を流通するガスを加熱するヒータを備えるガス供給装置において、その小型化や高集積化を可能とする。
【解決手段】ガス供給装置１０において、各流路ブロック２０は、長尺状に延びる直方体状に形成され、開閉弁５０が複数搭載された上面２０ａを有している。開閉弁５０は、上面２０ａの長手方向に沿って直列に配置されている。複数の流路ブロック２０は、上面２０ａを幅方向から挟む両側面２０ｃ同士が隣り合うように並列に配列されている。複数の流路ブロック２０の隣り合う側面２０ｃにヒータ３１が挟み込まれた状態で、複数の流路ブロック２０が一体化されている。ヒータ３１はフィルム状に形成され、その両面が流路ブロック２０の側面２０ｃに対向して流路ブロック２０の長手方向に沿って延びている。 （もっと読む）

【課題】キャリングガス（パージガス）を円滑に流通させるとともに、複数の開閉弁が設けられたブロックの幅を縮小することのできるガス供給ユニットを提供する。
【解決手段】ガス供給ユニットにおいて、弁室２４は、流路ブロック２０の長手方向に沿って所定間隔で流路ブロック２０の上面２０ａに設けられ、接続流路２６は、弁室２４の略中央に接続されるとともに上面２０ａから離間する方向へ延びている。キャリングガス流路２１は、接続流路２６よりも太く形成されて流路ブロック２０の長手方向に沿って直線状に延びるとともに、流路ブロック２０を幅方向で二等分する仮想平面Ｆから偏った部分に配置されている。プロセスガス流路２２は、上面２０ａとは反対側の下面２０ｂに開口するとともに、流路ブロック２０において仮想平面Ｆからキャリングガス流路２１とは反対側に偏った部分を通過して弁室２４に接続されている。 （もっと読む）

【課題】常に確実に機能し、あらゆる動作状態で高い切替ダイナミクスを有する電磁弁を提供すること。
【解決手段】本発明は、油圧システムを制御するための電磁弁に関するものであり、この電磁弁は、電気導体によって形成されたコイルと、少なくとも部分的にコイル内に配置された電機子と、作動油が充填された弁室とを有し、電機子が、電磁弁の通過開口部を開放および閉鎖するための弁部材と接続しており、弁室内に電機子が配置され、油圧システムと流体接続している。電機子が油圧システムの作動油中で可動に支承されており、コイルが、作動油の粘度を低下させるために、電流によって生じるコイルの熱上昇が前記弁室内の作動油の加熱を引き起こすように配置されている。 （もっと読む）

【課題】半径方向温度分布の均一性を高めるように発熱体から流体通路内の液体への熱伝達を改善する。
【解決手段】流体通路を介して供給される液体媒体を吐出する弁装置２０であって、前記弁装置は、流体流路の壁を加熱する発熱体２８を備え、少なくとも１つの混合要素２９は、流体通路に挿入され、且つ、液体媒体が流体通路を流れているときに液体媒体に半径方向流れ成分を導入するように構成されている弁装置。 （もっと読む）

【課題】バルブボディの外壁面に半導体ヒータを密着させることで、接触面積を大きくする真空用開閉弁を提供する。
【解決手段】第１流路７と第２流路８とを連通する弁孔を有するバルブボディ４と、弁孔の外周に形成された弁座と当接又は離間する弁体と、弁体を駆動する駆動手段３と、バルブボディ４の外壁面に設けられたヒータ４０と、ヒータ４０をバルブボディ４の外壁面に押圧する取付板４２と、ヒータ４０と取付板４２の間に断熱材４１を有する真空用開閉弁１において、ヒータ４０は、薄板状で、柔軟性のある半導体ヒータとする。 （もっと読む）

【課題】製造誤差があったとしてもシャフト軸とボールバルブとの回動動作のずれを低減することにより、シャフト軸の回動度に応じた適切な流体流量を把握することができ、さらに、組立が容易で、製造コストの低廉化が達成される流路開閉弁を提供する。
【解決手段】ＥＧＲバルブ２０はバルブ本体２２とボールバルブ３０とシャフト軸９０と、前記ボールバルブ３０が接するバルブ押さえ３２とバルブシート３７とを含む。ボールバルブ３０の頂部には凹部４２が形成され、前記凹部４２にシャフト軸９０の先端部が嵌合する。シャフト軸９０の先端部の設けられた曲面１０２ａ、１０２ｂの幅員は前記凹部４２の幅員に等しい。 （もっと読む）

【課題】弁体の密閉性能を保ち、耐久性に富む流路開閉弁を提供する。
【解決手段】ＥＧＲバルブ２０は、ボディ本体２２と、ボールバルブ３０と、シャフト軸９０と、前記ボールバルブ３０が接するバルブ押さえ３２と、バルブシート３７とを含み、バルブ押さえ３２の小径部３４と大径部３６との間にはこれらよりも小径な環状溝４３が形成され、前記環状溝４３とボディ本体と間に室３３が形成される。ボールバルブ３０の閉成時には、排気ガスの燃焼生成物が室３３に堆積するため、ボールバルブ３０と排気ガス流出口２６との密閉性能を長期に良好に保持する。 （もっと読む）

【課題】減圧室の圧力に応じて作動する圧力受動部材に弁体を連動、連結させた弁機構を収容するボディに、減圧室の圧力が所定圧以上となるのに応じて開弁して減圧室の圧力を外部に解放するリリーフ弁が配設されるガス用減圧弁において、ガスの排出位置を任意に設定することを可能としつつ部品点数および組付工数の増大を回避した安価な構成で、リリーフ弁をボディに配設する。
【解決手段】リリーフ弁２１が、摺動孔７５を有してボディ１６に一体に設けられる円筒状の継手部７４と、摺動孔７５に摺動可能に嵌合されるリリーフ弁体７６と、摺動孔７５の外端部に嵌合、固定されるキャップ７７と、リリーフ弁体７６およびキャップ７７間に設けられるコイルばね７８とを備え、リリーフ弁体７６を着座させることを可能とした環状のリリーフ弁座８１が、減圧室に通じるリリーフ弁孔８０を中央部に開口させて前記摺動孔７５の内端に形成される。 （もっと読む）

【課題】不要物を分解することなく、外部からの作業で容易に外部へ排出できる流路開閉弁を提供する。
【解決手段】ＥＧＲバルブ２０は、バルブ本体２２と、貫通孔４０が設けられたボールバルブ３０と、シャフト軸９０とを含む。また、バルブ本体２２には、前記ボールバルブ３０を回転自在に収容する室２８が設けられ、前記ボールバルブ３０には、前記室２８と前記貫通孔４０とを連通する孔部５２が設けられ、前記バルブ本体２２には、前記室２８と前記バルブ本体２２の外部とを連通する孔部６１が、該孔部５２の直下に設けられ、該孔部５２と該孔部６１は、同軸的に形成されている。 （もっと読む）