【課題】高温の流体への使用に適した弁の提供。
【解決手段】本発明に係る弁２は、高温流体に用いられる。この弁２は、流体の流路４８を備えた管状の弁箱４を備えている。この弁箱４は、管状の冷却ジャケット２２を備えている。この冷却ジャケット２２は、弁箱４の内壁の全面に沿った形状である。この冷却ジャケット２２は、その内部に冷却流体を流す冷却経路３６を備えている。この冷却経路３６は、流路４８の軸線に直交して延びる複数の周経路を組み合わせて形成されている。好ましくは、それぞれの周経路は、流路４８の軸線に直交して延びる一方の端を上流部とされ、他方の端を下流部とされている。 （もっと読む）

バルブボディ、バルブ部材およびバルブシャフトを含むバルブ組立品。前記バルブボディは、入口と、出口と、前記入口と流体連通している第１流路と第２流路を含んでもよい。前記第１流路は少なくともバルブボディの一部を軸方向に通るように延び、前記第２流路は第１環状壁と第２環状壁により区画されて、少なくとも第１流路を部分的に取り囲んでおり、前記バルブ部材は、前記バルブボディに配置され、流体が前記第１流路を通ることを防ぐ第１ポジションと流体が前記第１流路を通ることを可能にする第２ポジションとの間を動くことができる。前記バルブシャフトは前記バルブボディに対する相対的な回転が可能なように、前記バルブボディに取り付けられ、前記バルブ部材に固定されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、真空処理装置における真空処理室の排気側等に設けられる振り子式ゲートバルブの加熱装置において、弁体の回動範囲をカバーするようにケーシングの側壁部の内側に加熱手段を設け、輻射熱を利用して弁体を加熱する方式を採用することにより、弁体等の可動側に加熱手段を設けた場合に較べ、加熱手段の構造を簡単化できるとともに、既存の弁装置への加熱手段の適用が容易にできる振り子式ゲートバルブの加熱装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の振り子式ゲートバルブの加熱装置は、真空処理装置における真空処理室の排気側に設けられる振り子式ゲートバルブの加熱装置において、弁体の回動中心にその中心を置き、弁体の回動範囲をカバー可能な中心角をもつ扇形の加熱手段を、弁体と平行に、かつ弁体と間隙を有するようにしてケーシングの側壁部の内側に装着することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、真空処理装置における真空処理室の排気側に設けられる圧力調整弁において、弁体を加熱するようにするとともに、弁体および弁体加熱手段の交換を容易にし、弁体および弁体ホルダ等からなる弁部の厚みをできるだけ小さくした圧力調整弁を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の圧力調整弁は、真空処理装置における真空処理室の排気側に設けられる圧力調整弁において、弁体加熱手段を装着した弁体を弁体ホルダに着脱可能に取付け、該弁体と弁体ホルダとの対向面に位置し、かつ、対向面に沿って平板状接続端子を弁体および弁体ホルダにそれぞれ設けることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 温水を使用した場合における加熱効率を向上させることができる流体制御器を提供する。
【解決手段】 ボディ2のブロック部3頂面に、ボディ2の筒部4外周面との間に熱媒体を保持するための上部熱媒体空間S1を形成する上部カバー11が被せられている。ボディ2のブロック部3底面に、ボディ2のブロック部3底面との間に熱媒体を保持するための下部熱媒体空間S2を形成する下部カバー12が被せられている。ボディ2のブロック部3の内部に、上部熱媒体空間S1と下部熱媒体空間S2とを連通する複数本の熱媒体通路27が流体通路を避けて形成されている。 （もっと読む）

【課題】 電磁弁の電磁部の発熱を抑制することができる油圧制御装置を提供する。
【解決手段】 油圧制御装置１には、電磁弁４８ａの電磁部ＳＬ１近傍に、クーラーＣから送られる冷却された油が通る冷却油路９（９２，９３）が形成されている。このように冷却油をバルブボディ２，３，４内に取り込んで電磁弁の電磁部周辺に送り込んでいるので、電磁部がバルブボディ内のオイルレベルＯＬよりも上部に配置される場合であっても、かかる電磁部を常時冷却しておくことができる。このため、電磁部の発熱を抑制して電磁部に接続されるコネクタ等の樹脂部品の長寿命化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】真空領域内を圧力制御することに好適なバタフライ式圧力制御バルブであり、設置スペースが小さく、小さい操作力により高速制御して、弁閉時には弁閉状態を維持して高シール性を発揮し、流量制御時には微小流量から大流量まで正確に制御でき、一般的なバタフライバルブと同等の耐久性を発揮しつつ、単体でアイソレーション機能を発揮して大気圧から低真空までのソフト排気の排気時間を制御できるバタフライ式圧力制御バルブを提供する。
【解決手段】バタフライ式圧力制御バルブは、バルブ開閉機構２２を有する。バルブ開閉機構２２は、エア流路２５へのエアの供給によりシートリング２４を弁体２３から離間させた状態でこの弁体２３を無摺動で回転させ、弁体２３を弁閉状態に回転したときにエア流路２５へのエアの供給とスプリング２６の付勢力とにより弁体２３にシートリング２４を接離させて流路２１内の圧力を制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、流体供給系の加熱装置において、加熱部位・部材ごとにモジュール化した発熱体を設置し、加熱部位・部材ごとの適切な昇温加熱および維持を実現するとともに、故障確率の分散によるリスク低減および設置、交換作業を容易にした流体供給系の加熱装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の流体供給系加熱装置は、複数の流体制御機器を有する上段層および流体制御機器に連通する流路を備えた複数のブロック状部材により構成される下段層からなるラインが支持基板上に並列状に配置され、流体制御機器およびブロック状部材を加熱する加熱手段が設けられている流体供給系加熱装置において、加熱手段が、二つ以上のモジュール化された発熱体から構成され、各発熱体が独立して制御可能にブロック状部材に対応して設けられていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】ハウジングに設けられる軸受部をコンパクトにかつ効果的に冷却すること。
【解決手段】バイパスバルブ１は、ハウジング４を備え、ハウジング４には、ＥＧＲガスが流れる分岐した流路２，３が設けられる。ハウジング４には、ＥＧＲガスの流路を切り替えるために流路２，３を選択的に開閉する弁体５と、弁体５と一体化した弁軸６と、弁軸６を回動可能に支持する軸受部７，８とが設けられる。軸受部７，８の外周の一部は、流路２の中に配置される。軸受部７，８に隣接してハウジング４には、流路２，３を形成し、かつ弁座１６を有する仕切壁１７が設けられる。仕切壁１７にて軸受部７，８の近傍には、冷却水通路１８が設けられる。 （もっと読む）

【課題】油圧回路を効率的に冷却することにより、油圧回路の効率を向上する。
【解決手段】油圧アクチュエータ１０と、油圧アクチュエータ１０へ作動油を供給する油圧ポンプ２０と、油圧ポンプ２０から油圧アクチュエータ１０へ作動油を供給するための流路Ｐ１、Ｐ２に設けられた制御弁３０と、油圧アクチュエータ１０からの戻り作動油が通る戻り流路Ｐ４に設けられ、前記作動油を冷却する冷却装置２８と、制御弁３０の内部または周囲に設けられ、冷却装置２８で冷却された作動油が流れる制御弁冷却流路３６と、を備える。 （もっと読む）