【課題】高精度で、しかも、スタイラスや測定アームなどの汚破損を少なくできる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】表面性状測定機において、測定アーム２４は、ケーシング２８内においてブラケット２２に回転軸２３を支点として円弧運動可能に支持された第１測定アーム２４Ａと、これの先端に着脱機構２５を介して着脱可能に設けられ先端にスタイラス２６Ａ，２６Ｂを有する第２測定アーム２４Ｂとを含んで構成され、着脱機構はケーシング内に配置される。測定アームの円弧運動量を検出する変位検出器２７は、測定アームに配置されたスケール２７Ａと、ブラケット２２にスケールに対向して配置された検出ヘッドとを含んで構成され、スケールの検出面が測定アームの軸線上で測定アームの円弧運動面上に配置される。 （もっと読む）

【課題】転動部材４の転動面４Ａを触針３にて直接測定しても、高周波帯域のウェービネス等の測定を容易にし、転動部材４の転動面４Ａと接触する触針３の先端３Ａの摩耗を抑制し、転動部材４の転動面４Ａと接触する触針３の先端３Ａに硬い粒子等が刺さり難い転動部材の周面測定装置１を提供する。
【解決手段】本発明に係る転動部材の周面測定装置１は、周面測定時に転動部材４の転動面４Ａに直接接触する触針の先端が、ダイヤモンドからなることを特徴とする。触針３の先端３Ａの接触面３Ａ１は、転動部材の転動面と１箇所で接触する為には、平面または凸形状になっていることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】穴の内面測定時に、測定アームの姿勢を切り替えても、スタイラスや被測定物を損傷することが少ない表面性状測定機を提供する。
【解決手段】揺動可能な測定アーム２４、この測定アームの先端に設けられた一対のスタイラス２６Ａ，２６Ｂ、および、測定アームの揺動量を検出する検出部２７を有するスタイラス変位検出器２０と、被測定物を載置するステージと、検出器とステージとを相対移動させる相対移動機構とを備えた表面性状測定機において、測定アームが揺動方向の一方向に付勢される姿勢および他方向に付勢される姿勢に切り替える測定アーム姿勢切替機構６０と、測定アーム姿勢切替機構によって測定アームの姿勢が切替動作された際に、測定アームの切替動作速度を予め設定された速度に制御する速度制御機構７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数枚のウエハの表面粗さの測定を連続で自動的に行うことができ、測定効率を向上させることができる表面粗さ測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数のウエハ７０を載置できる回転駆動可能なステージ１０と、
該ステージ上で前記複数のウエハを同心円状に位置決め固定する位置決め手段５０と、
上下方向及び水平方向に直線的に移動可能に支持された接触子２１を、所定の測定位置にあるウエハの表面に接触させて水平方向に直線移動させることにより、該ウエハの表面粗さを測定する表面粗さ測定手段２０と、
測定対象となる測定対象ウエハを前記所定の測定位置に前記ステージを回転させて移動させ、前記表面粗さ測定手段により該測定対象ウエハの表面粗さを測定する一連の動作を前記複数のウエハに対して順次行うように前記ステージ及び前記表面粗さ測定手段を制御する制御手段４０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 物品の表面の筋目の存在を容易かつ精度良く判定できるようにする。
【解決手段】 第１工程で、物品の表面の位置に対する高さの関係を示す第１の曲線（粗さ曲線）を相互に平行な複数の測定ラインに沿って測定し、第２工程で、第１の曲線をフーリエ変換することで物品の表面の凹凸の周波数に対する振幅の関係を示す第２の曲線に変換し、第３工程で、複数の第２の曲線のピークの重なり状態に基づいて物品の表面に測定ラインに交差する方向の筋目が存在するか否かを判定するので、複数の測定ラインに沿って第１の曲線を求める始点位置がずれても筋目の存在を確実に判定することができ、しかも第２の曲線のピークの高さから筋目の深さあるいは高さを求めることができる。 （もっと読む）

【課題】測定時間の短縮が図れる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】被測定物Ｗを載置する回転テーブル２０と、被測定物の表面性状に応じた信号を発する検出手段３０と、回転テーブルおよび検出手段を相対移動させる検出器駆動機構４０と、検出手段からの信号を取り込み、この取り込んだ信号を処理して被測定物の形状や表面粗さなどの表面性状を求める処理装置６０とを備える。検出手段は、複数の検出器３１，３２を含んで構成される。処理装置６０は、複数の検出器３１，３２からの信号を順番に取り込んで処理する。 （もっと読む）

【課題】簡易でかつ安価な校正用治具を用いて直角度誤差を簡易にかつ高精度に算出可能な表面性状測定機の直角度誤差算出方法および校正用治具を提供する。
【解決手段】３つの基準球６２Ａ〜６２Ｃを校正プレート６１に直角に配置した校正用治具６０を、テーブル１６上に配置し、接触式検出器２０によって３つの基準球の中心座標を求め（第１測定工程）たのち、これら中心座標を結ぶ２つの直線の交差角度θ１を算出する（第１角度算出工程）。次に、校正用治具を、同一面内で９０度回転させてテーブル上に配置し、接触式検出器によって３つの基準球の中心座標を求め（第２測定工程）たのち、これら中心座標を結ぶ２つの直線の交差角度θ２を算出する（第２角度算出工程）。最後に、交差角度θ１，θ２とからＹ軸駆動機構１７の移動方向とＸ軸駆動機構４８の移動方向との直角度誤差を算出する（直角度誤差算出工程）。 （もっと読む）

【課題】レール面測定装置の運搬性を高める。
【解決手段】レール面測定装置Ｘは、所定の長さのガイドバー１と、ガイドバー１をスライドしてレールＲの頭頂面８の凹凸を測定する測定器７０と、を備えている。ガイドバー１は、第一ガイドバー部１０及び第二ガイドバー部２０と、第一ガイドバー部１０の長手方向の端面１６ａと第二ガイドバー部２０の長手方向の端面２６ａとが互いに接触し、各ガイドバー部１０，２０が一直線上に並んでいる使用可能状態と、レール幅方向Ｗｒで、各ガイドバー部１０，２０が重なり合っている運搬可能状態との間で、測定器７０の接触子の変位方向Ｈを向いている回転軸を中心として、第一ガイドバー部１０に対して第二ガイドバー部２０を揺動可能に連結するヒンジ３０と、を有している。 （もっと読む）

【課題】スタイラスの摩耗や欠損に対して、スタイラスの交換時期を適正に知らせることができるスタイラス摩耗検出方法および表面性状測定機を提供する。
【解決手段】表面に周期的に変化する凹凸が形成された標準片の表面に沿ってスタイラスをトレースしながら、そのトレース方向に対して交差する方向のスタイラスの変位を検出し、この変位から標準片の測定曲線を取得する測定曲線取得工程と、測定曲線に対して周波数解析を行う周波数解析工程と、この周波数解析工程で得られた周波数解析結果からスタイラスの摩耗量を演算する摩耗量演算工程と、この摩耗量演算工程で演算された摩耗量を表示する摩耗量表示工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
少なくとも一部円筒状の加工品の表面粗さにおけるリード構造の算出方法を提供する。
【解決手段】
少なくとも一部円筒状の加工品の表面粗さにおけるリード構造の、本発明による算出方法では、対象となる加工品の表面領域に、この加工品の軸方向に延び、円周方向に互いに間隔をあけた複数の触針断面が実行され、この場合、触針断面によって得られる測定値に基づいて、リード構造の少なくとも１つのパラメータが算出される。本発明によると、第１触針断面に帰属する測定値に基づいて、リード構造の少なくとも１つのパラメータの推定値が算出され、この場合、少なくとも１つの第２触針断面に帰属する測定値に基づいて、この推定値が補正される。 （もっと読む）