【課題】十分な横剛性と低測定力とを同時に実現することができ、高精度化を図ることができる表面性状測定機用検出器を提供すること。
【解決手段】可動片３の各側面３２と、これら各側面３２に対向配置される軸受部材５の対向面５４との隙間には、対向面５４に形成された噴出口から加圧気体が噴出され、気体膜が形成される。これら気体膜を介して軸受部材５の対向面５４間で可動片３を挟み込むことで、軸受部材５間における可動片３のガタを抑えることができ、十分な横剛性を得ることができる。また、各軸受面５３と支軸３１との隙間にも、軸受面５３に形成された噴出口から加圧気体が噴出され、気体膜が形成されるので、支軸３１を非接触で支持することができ、転がり軸受で支軸３１を支持する場合に比べ、摩擦抵抗を大幅に抑えることができる。そのため、より測定力を低減させることができ、高精度化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】ピエゾ抵抗素子が形成されているＳｉチップ部と触針を設けたＳｉレバー部を別々に製作する、形状計測用カンチレバーおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】（１）レバー３の製造工程、（２）Ｓｉチップ２の製造工程、（３）Ｓｉチップ２とレバー３の接合工程とからなる。
（１）レバー３の製造工程において、レバー３は、シリコン基板１０より、測定箇所に応じた形状に形成し、レバー３先端の触針９も一体的に形成する。
（２）Ｓｉチップ２の製造工程では、シリコンウェーハに、前工程により、エッチング、酸化、拡散、ＣＶＤ、イオン注入、等の工程を経て形成する。
（３）Ｓｉチップ２とレバー３の接合工程では、Ｓｉチップ２とレバー３との当接面外周に、ＣＶＤガス雰囲気中でＦＩＢを照射することによって、タングステン膜を成長、堆積（デポジション）して、Ｓｉチップ２とレバー３とを一体的に接合する。 （もっと読む）

【課題】
被測定物の表面形状を簡便かつ高精度に計測可能な表面形状計測装置を提供する。
【解決手段】
表面形状計測装置は、ウエハ４に塗布されたレジスト５の表面に接触してこの表面の高さ変化に応じて位置が変化する複数の非光学的検出素子１を有する高さ検出器ＡＢＰと、非光学的検出素子１に向けて測定光１０ａを発する光源１０と、非光学的検出素子１からの測定光１０ａの反射光を受光することにより非光学的検出素子１の位置を検出する光検出器９とを有し、高さ検出器ＡＢＰは、非光学的検出素子１を保持するための開口２０が形成された保持部２を備え、非光学的検出素子１は、保持部２の開口２０に固定されずに配列され、レジスト５の表面に接触することにより位置が変化する。 （もっと読む）

【課題】キャピラリーチューブの水平度の検査を、高精度かつ短時間で行える水銀プローブ水平度検査方法を提供する。
【解決手段】キャピラリーチューブの平坦な先端面を半導体ウェーハの表面に接触させ、先端面から露出した水銀をプローブとして行う半導体ウェーハの電気特性の測定に際して、キャピラリーチューブの先端面の水平度を検査する水銀プローブ水平度検査方法であって、半導体ウェーハの表面に水銀を接触させる前に、キャピラリーチューブの先端面の水平度を、先端面に当接させた水平度検査体を利用して検査する。その結果、従来の作業者が目視する方法に比べて、高精度かつ短時間で、キャピラリーチューブの先端面の水平度の検査を行うことができる。 （もっと読む）

本発明に係る装置（１０）は、表面粗さ検出システム（１２）および表面粗さ測定センサ（１５）を備え、スライド部品およびプローブ先端部（１５．４）が協働して作動する装置である。スライド部品は、走査スライド部品（１５．３）の形態として、プローブピン（１５．２）の最端部に配置される。プローブ先端部（１５．４）は、プローブピン（１５．２）の内部に配置され、走査スライド部品（１５．３）とプローブ先端部（１５．４）との間の距離（Ａ）は予め設定されている。表面粗さ検出システム（１２）は、平行四辺形構造体を有する１次元、２次元、または３次元の走査システムである。この装置（１０）は、走査スライド部品（１５．３）およびプローブ先端部（１５．４）とともにプローブピン（１５．２）を、走査すべき面（Ｆ）上で一体的に搬送する搬送デバイスを備えるものである。同様に、本発明は、上記装置（１０）を用いた関連する方法に関する。
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【課題】被測定物の姿勢を変更することなく、被測定物の表面性状を適切に測定することができる表面性状測定装置の提供。
【解決手段】表面性状測定装置１は、上面に被測定物を載置する載置面３０を有するテーブル３と、被測定物を測定するための測定子４１Ａを先端側に有するプローブ４と、プローブ４を保持するスライダ５と、スライダ５を支持するとともに、載置面３０に対して略直交する方向に延出するコラム６と、テーブル３の側方に設けられ、コラム６を支持する支持手段７とを備える。プローブ４は、スライダ５の延出方向に沿って移動可能にスライダ５に支持されている。スライダ５は、コラム６に支持されている。コラム６は、コラム６の延出方向を軸方向として回転可能に支持手段７に支持されている。 （もっと読む）

【課題】 プローブを接触させて摺擦することにより被測定物表面の表面性を識別する際のプローブの製造ばらつき抑制及び加工精度向上とプローブ先端部の剛性向上によるプローブ破損防止性を改善した表面性識別装置、シート材識別装置及び画像形成装置の提供。
【解決手段】 プローブ先端当接部でシート材７を走査し、シート材表面の凹凸及び摩擦係数に応じた振動及び衝撃による歪を誘起することにより圧電素子１５ｂが電気信号を発生し、電気信号の強度差を基にシート材表面の表面性を識別する圧電接触型表面性検知センサであって、従来の短冊状板金先端部を２度折り曲げたＳ字型プローブ１５ａの代わりに、プローブ側面から見た際の先端構造部の形状がΔ型となるように、先端構造部の形状を予め母材板金の平面上で加工してから直角に折り曲げて構成するかまたは予め樹脂部材で加工してから平坦板金に接着して構成するΔ型プローブを用いる。 （もっと読む）

【課題】長尺の真直形状や大型の平面形状を測定するために水準器に代わる道具として、被測定面に接する点と変位センサあるいは角度センサの組み合わせで多点方を実現するために、被測定面上を走査移動可能なセンサホルダを提供する。
【解決手段】被測定面に対して相対的に移動可能なセンサホルダを、被測定面に対して少なくとも２点の接点を有する形態にして、センサホルダと被測定面との２つの接点とセンサホルダの保持するセンサの測定点との３点によって、真直形状測定のための３点法と動揺の差動出力を得て、その出力から形状を求める。 （もっと読む）

【課題】平坦度測定の作業性が良好であり、測定可能な測定スパンの下限に制約がなく、測定スパン内の全範囲について平坦度を測定できる平坦度測定装置３１を提供する。
【解決手段】スケール部３２に固定脚部３３と摺動脚部３４とを設け、固定脚部３３と摺動脚部３４との間に、ダイヤルゲージ３５を取り付けた摺動ブロック３６を摺動可能に設け、２つの脚部３３、３４はそれぞれ、被測定面に載せる部分として、摺動ブロック３６の幅Ｗの制約を受けずに互いに対向面３３ｃ、３４ｃが接触するまで接近可能な内向き延出部３３ａ、３４ａを備えており、各対向面３３ｃ、３４ｃには、互いに接触した状態でダイヤルゲージ３５のスピンドル３５ｂを上下動可能に収容する縦溝３３ｄ、３４ｄが設けられている。両脚部３３、３４の対向面３３ｃ、３４ｃが互いに接触できるので、測定スパンＬがゼロまで可能、かつ、測定スパンＬ内の全範囲について平坦度を測定できる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ワークに関して複数項目を測定する際の高効率化及び高精度化を実現することにある。
【解決手段】接触式検出器１６の本体１８に設けられ、軸方向を中心に回転角度を変更自在に保持される一の支持軸部２２と、該支持軸部２２の側部より突出し、該支持軸部２２より突出する方向が異なる複数の測定用軸部２４，２６と、該各測定用軸部２４，２６の先端に設けられ、該各測定用軸部２４，２６毎に先端形状ないし先端寸法が異なる複数の接触部２８，３０と、を備え、該支持軸部２２の軸方向を中心に該支持軸部２２の回転角度が調整されることにより、該複数の接触部２８，３０の中から測定目的に応じた一の接触部２８（３０）が選択され、該選択された接触部２８（３０）のみが該ワーク２１に接触され、該ワーク２１の形状データの取得に用いられることを特徴とするスタイラス２０。 （もっと読む）