【課題】試料には強い力をかけずに探針のとびを抑制できる試料の表面形状の測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】センサによる被測定表面上における探針の垂直方向の変位の検出と、探針の変位の検出に基いた探針の速度及び加速度の算出と、及び探針の速度及び加速度の少なくとも一方のリアルタイムでのモニターによる探針のとびの検出と、探針の針圧発生装置への電流制御とから成る制御操作を短時間で行い、探針が空中にあるときにだけ探針にかける針圧を増大し、探針が試料に再び触れる前に探針の針圧を元の状態に戻す。 （もっと読む）

【課題】エネルギー消費を抑制しつつ、接触子を被測定物に押し付ける力を変化させることができ、かつ任意の測定方向において使用できる小型の接触式センサを提供する。
【解決手段】軸１２の軸端に設けられるとともにシリンダ１の外部に突出した接触子１３と、接触子１３とは反対側の軸端に設けられる第１の永久磁石１４と、シリンダ１に固定されるとともに軸１２と摺接し、軸１２を軸の長手方向に案内する直動軸受８と、軸１２の長手方向の位置を測定するセンサ素子１０と、磁性体で構成された磁心３に絶縁電線による巻線４を捲回することにより形成されるとともに、第１の永久磁石１４と対向しかつ磁界の向きが第１の永久磁石１４と反対方向となるように設けられた電磁石５と、磁界の向きが第１の永久磁石１４と反対方向でかつ電磁石５と同一となるよう磁心３に設けられた第２の永久磁石７とを備えた接触式センサ。 （もっと読む）

【課題】触針を被測定物の表面にて摺動させて表面形状を測定する表面粗さ／形状測定において、外部から被測定物や測定装置に加えられた振動が、測定データに与える影響を除去する。
【解決手段】触針７を測定面にて摺動させ触針７の変位を検出することにより測定面の表面形状を測定する表面粗さ／形状測定装置１は、触針７の変位量を検出する変位検出器６と、変位検出器６が出力する変位信号を周波数領域信号へ変換する第１の信号変換部１３と、触針７を測定面にて摺動させないときの変位信号を第１の信号変換部１３で変換して得られる測定前周波数成分を、触針７を測定面にて摺動させているときの変位信号を第１の信号変換部１３で変換して得られる測定スペクトル信号から除去するスペクトル成分除去部１５と、測定スペクトル信号から測定前周波数成分を除去した信号を時間領域信号へ変換する第２の信号変換部１６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】周囲温度によって変化するスタイラスの長さ変化を、簡易にかつ短時間で求めることができ、これを基に測定値を補正できる表面性状測定装置を提供する。
【解決手段】スタイラス、加振素子４、検出素子５を有するセンサ１と、これを被測定物に対して相対移動させる駆動用アクチュエータ１１と、センサによる被測定物の測定位置を測定位置情報として出力する検出器１２と、設定周波数の加振信号を発振し加振素子に与える発振器３４と、制御手段３１とを備える。制御手段は、検出素子からの検出信号の振幅が最大となる周波数に発振器の設定周波数を補正する周波数補正手段と、この周波数補正手段によって補正された設定周波数を共振周波数としてスタイラスの長さ情報を取得するスタイラス長さ情報取得手段と、このスタイラス長さ情報取得手段によって取得されたスタイラス長さ情報を補正値として測定位置情報を補正する測定位置情報補正手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】一度に広範囲を検査することができるとともに、装置のコストダウンを図ることが可能な表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】各々異なるラインに沿って被測定物Ｓの表面を摺接動作しながら表面上の傷Ｄを検出する複数の接触端子１１，１１，・・・及びバネ部１２ａ，１２ａ，・・・と、これら複数のバネ部１２ａ，１２ａ，・・・の一端が一体となった合流部１２ｂと、合流部１２ｂ上に設けられるとともに接触端子１１，１１，・・・からの検出信号を感知する加速度センサ１３と、加速度センサ１３からの信号を解析して被測定物Ｓの凹凸形状に応じた波形信号を生成する解析装置コンピュータ６と、を備える。各接触端子１１，１１，・・・に共通して加速度センサ１３が設けられるので、加速度センサ１３の数を少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】表面粗さ測定装置において、小型化を図りやすくすることである。
【解決手段】表面粗さ測定用の触針５８の軸方向変位に対応する角度変位を検出可能な角度検出センサ３６と、検出した角度変位から触針５８を押し付ける測定面の表面粗さを求める制御部とを備える。触針５８を有するアーム部３４を、ケース１６に対し触針５８の軸方向に対し直交する方向の変位を可能に支持した変位部材３２に、揺動中心軸５６を中心とする揺動変位を可能に支持する。角度検出センサ３６は、アーム部３４の揺動中心軸５６を中心とする角度変位を検出可能とする。 （もっと読む）

【課題】高精度な加工、組立精度を必要とすることなく、倣いプローブの直線案内機構の真直度や、取り付け誤差などに起因する測定精度の低下を回避できる表面性状測定装置を提供。
【解決手段】Ｘ，Ｙ，Ｚ軸駆動機構３，４，７と、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸変位検出器４２，４３，４４と、倣いプローブ８と、真直度補正データ記憶部３３と、補正演算処理部３４とを備える。倣いプローブは、センサ部１２と、センサ部をＺ軸方向へ変位させる駆動用アクチュエータと、センサ部の変位量を検出するセンサ部変位検出器１９を含む。補正データ記憶部は、駆動用アクチュエータの移動範囲を複数の区間に分割し、この各分割区間において各軸方向のずれ量を補正データとして記憶する。補正演算処理部は、センサ部変位検出器の検出値がいずれの分割区間に属するかを判断し、該当する分割区間の補正データを用いて補正値を算出し、これを各軸変位検出器の検出値に加算する。 （もっと読む）

【課題】簡便かつ安価でしかも精度の高い平坦度測定具を提供する。
【解決手段】ノギス２１のジョー２３、２４間に摺動可能に取り付けた摺動ブロック２５にダイヤルゲージ２６を取り付ける。摺動ブロック２５は、スケール部２２が摺動可能に収容される矩形凹溝３２を持つブロック本体３３と、前記矩形凹溝３２内のスケール部２２を押さえる押さえ蓋３４とからなる。ブロック本体３３の矩形凹溝３２の下面とスケール部２２の下面との間に弾性体例えば湾曲板バネ３８を配置し、矩形凹溝３２の奥面とスケール部の背面との間にも湾曲板バネ３９を配置する。スケール部２２の下面側の板バネ３８及び背面側の板バネ３９により、摺動ブロックのノギス長手方向の傾き及びスケール部厚み方向の傾きを防止でき、ダイヤルゲージ２６の傾きを防止できるので、高精度の平坦度測定が可能である。 （もっと読む）

【課題】検査品の変形度を簡単に測定できる変形度測定方法を提供する。
【解決手段】本発明は、検査品５における検査部５２の変形度を測定する変形度測定方法を対象とする。検査部５２に、平面を特定可能な３点を含む４点以上の測定位置Ｐを設定する一方、各測定位置Ｐに対応して支持部２がそれぞれ設けられた検査台１１を準備する。検査品５を、その検査部５２を下向きに配置しつつ、各測定位置Ｐを各支持部２に支持させるように載置する。その載置状態において、各測定位置Ｐにおける支持部２との間の間隔のうち、最大の間隔を変形度として測定する。 （もっと読む）

【課題】複数の筒状体に対して効率的に表面粗さの測定を行うことが可能な筒状体の表面粗さ測定装置を提供する。
【解決手段】測定対象となる複数の筒状体（ワーク）１１を互いに密着した状態で二つの治具分割体１３で挟持し、その両端側にテーパー面１４ｂを有する突出部１４ｃを備えた中間部材１４を装着したうえで、テーパー面を有する開口部１６ｂを備えた円形平板状の連結部材１６を突出部１４ｃに嵌合させて二つの治具分割体１３を一体化させる。測定時には、複数のワーク１１を保持したワーク保持治具１２を治具台座１７上に位置決め固定したうえで、連結部材１６の開口部１６ｂを通してワーク１１の内周面に測定子２１ａの先端を接触させ、その状態で測定子２１ａをワーク１１の厚み方向へ進退させてワーク１１内周面の表面粗さを測定する。この構成では、一回の測定動作で複数のワーク１１に対して連続的に測定が行えるため、測定効率が向上する。 （もっと読む）