【課題】タービン翼に設けられた孔の位置の検査をより簡単に行えるようにする。
【解決手段】タービン翼９００の冷却孔９１０に棒状磁性体２００を挿入して、タービン翼９００の表面から渦電流プローブの走査を施して渦電流検出を行う渦電流検出工程の前に、棒状磁性体２００を溝に挿入してタービン翼９００の壁厚判定基準厚みを有する板材３２０を介して棒状磁性体２００に対して渦電流検出を行うことにより、渦電流プローブ１２０の校正を行う。これにより、検査者は、渦電流検出を行って容易な判定を行うことで、冷却孔９１０の位置の検査をより簡単に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】従来の浸炭検知方法では検知困難な微細な浸炭をも検知可能な浸炭検知方法を提供する。
【解決手段】本発明は、管内面に浸炭の生じていることが既知である浸炭材Ｐ０を励磁コイル１１及び検出コイル１２に内挿させ、励磁コイルに通電する励磁電流の電流値をＩ（Ａ）、励磁コイルの長さをＬ（ｍｍ）、励磁コイルの巻き数をＮ、励磁コイルに通電する励磁電流の周波数をＦ（ｋＨｚ）とした場合に、検出コイルからの出力信号に基づき浸炭材に生じている浸炭を検知できるように、下記の式（１）で表されるパラメータＫの値を決定した後、このパラメータＫの値が得られるように励磁コイルの条件を設定した後、被検査対象である管内面における浸炭の有無を検知することを特徴とする。
Ｋ＝（Ｉ・Ｎ／Ｌ）・Ｆ^−３／２ ・・・（１） （もっと読む）

【課題】被測定対象に施される遮熱コーティングの膜厚を効率良く正確に測定することが可能な膜厚測定装置及び膜厚測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】膜厚測定装置１は、タービン翼１１に形成された遮熱コーティング膜の膜厚を測定するＥＣＴセンサ４と、遮熱コーティング膜の膜厚を測定する地点であるタービン翼１１上の測定地点を記憶している記憶手段９と、タービン翼１１の形状を測定するレーザ変位計５と、レーザ変位計５によって測定された測定されたタービン翼１１の形状と、記憶手段９に記憶されているタービン翼１１上の測定地点に基づいて、ＥＣＴセンサ４による実際の膜厚測定に適した実測定地点を算出する測定位置算出手段８と、測定位置算出手段８によって算出された実測定地点に基づいて、ＥＣＴセンサ４を駆動して、ＥＣＴセンサ４の測定位置を調整するアーム駆動手段６とを備える。 （もっと読む）

【課題】研磨装置の稼働率を低下させることなく渦電流センサの較正を行うことができ、精度の高い膜厚監視を可能とする研磨監視方法および研磨装置を提供する。
【解決手段】回転する研磨テーブル１上の研磨面２ａに研磨対象の基板Ｗを押圧して基板Ｗ上の導電膜ｍｆを研磨し、研磨中に研磨テーブル１に設置された渦電流センサ５０により導電膜ｍｆの厚さを監視する研磨監視方法であって、研磨中の渦電流センサ５０の出力信号を取得し、渦電流センサ５０の上方に基板Ｗが存在しない時の出力信号を用いて渦電流センサ５０の出力調整量を算出し、出力調整量を用いて渦電流センサ５０の上方に基板Ｗが存在する時の出力信号を補正して基板Ｗ上の導電膜ｍｆの厚さを監視する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の角部の塗装膜厚を正確に計測することを可能にする塗装膜厚計測治具等を提供する。
【解決手段】塗装膜厚計測治具１は、検査対象物の検査対象部位である角部を挟む二面とそれぞれ当接する二つの当接部２ａ、２ｂを有する第１の部材２と、検査対象物の検査対象部位である角部の中心２ｄを軸として回動可能であり、電磁膜厚計のプローブＰが挿嵌される二つの当接部２ａ、２ｂの交差部２ｄに連通する孔を有する第２の部材３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】導電性膜の位置及び特性を特定可能な、導電性膜センサを提供する。
【解決手段】周波数が異なる第１及び第２の磁界を放射する磁界放射器１と、導電性膜に第１の磁界を照射した場合の、磁界放射器１の特性、導電性膜の位置及び特性の第１の関係と、第２の磁界を照射した場合の、磁界放射器１の特性、導電性膜の位置及び特性の第２の関係と、を保存する記憶装置４０１と、測定対象導電性膜２に第１の磁界を照射した場合の磁界放射器１の特性及び第１の関係に基づき、導電性膜の位置及び特性の第３の関係を算出し、測定対象導電性膜２に第２の磁界を照射した場合の磁界放射器１の特性及び第２の関係に基づき、導電性膜の位置及び特性の第４の関係を算出する算出部３０１と、第３及び第４の関係に共通する、導電性膜の位置及び特性の組み合わせを特定する特定部３０３と、を備える導電性膜センサ。 （もっと読む）

【課題】表面形状への追随性が良く、かつ、変位雑音が小さい表面形状測定用触針式段差計及び該段差計における測定精度の改善方法を提供する。
【解決手段】変位センサ２０の磁性体コアに固有雑音の小さい強磁性体のコアを使用し、低雑音の差動トランスとして形成し、低雑音の差動トランスの出力を、低雑音のデジタルロックインアンプで計測し、変位の測定結果からセンサ２０の固有振動に起因する雑音を、低域通過フィルターを用いて移動平均法で除去し、低域通過フィルターの遮断周波数を通常の１５Ｈｚ程度よりも高くする。 （もっと読む）

【課題】高炉における炉底部の耐火物の残厚を、炉外から連続測定できるようにする。
【解決手段】前記耐火物による壁面２ａ，２ｂ内に複数の電極を埋設し、任意の一対の電極ｍ，ｎ間に形成される電気回路の電気抵抗Ｒｍｎを抵抗計５で測定してゆく。得られた電気抵抗値Ｒｍｎを演算処理装置６に入力し、耐火物残厚をＬｍ，Ｌｎとし、溶銑部距離をＬｍｎとするとき、既知の耐火物（カーボン煉瓦）および溶銑３の比電気抵抗ρｃ，ρｉから、ρｉ×Ｌｍｎ＋ρｃ×（Ｌｍ＋Ｌｎ）＝Ｒｍｎの関係式を作成し、マトリクス演算、すなわち総ての電極の組み合わせに対してＲｍｎを計測し、得られた関係式の連立方程式を解くことで、前記電気回路を形成した箇所の電極埋設部の耐火物残厚Ｌｍ，Ｌｎを換算する。これによって、操業中の高炉１の各部における耐火物残厚Ｌｍ，Ｌｎを、炉外から連続測定でき、操業の安定化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】外径が大きく変化したり、凹部を有したりするような高周波焼入れ部品を検査する場合であっても高い検出精度で焼入れ深さ測定試験を行うことができ、また、焼入れ深さの計測にあたってリフトオフの影響を排除することで計測精度を向上させることが可能となる、渦流計測用センサ及び渦流計測方法を提供する。
【解決手段】渦流計測用センサは、励磁コイル５１が計測部位であるフィレット部Ｆと交差しない方向に向けた軸心を中心として巻回されており、励磁部５１ａは、励磁コイル５１の一部において、励磁部５１ａの水平方向面がアームＡに対向し、下側面がジャーナル部Ｊに対向するように、励磁コイル５１をフィレット部Ｆに対向して配置した際に、励磁部５１ａの外形形状がフィレット部Ｆの形状と略同一となるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】 ナノテクノロジーが盛んになり、ナノ膜の測定が簡単に行える方法が求められている。従来は反射する光の波長を用いる光学的な方法が有ったが高額であり、測定範囲も約５ｎｍから上であった。本発明では、測定範囲が０．２ｎｍから数１０ｎｍ程度まで可能で、簡単且つ安価な、絶縁ナノ膜の膜厚測定方法及び膜厚測定器を提供する。
【解決手段】 電解水溶液液を挟んで、電圧を印加した一対の電極を挿入して電圧を上げていくと陽極の表面に水分子の電気二重層が形成され、水分子の電子が第一のトンネル効果により飛び出す。ナノサイズの絶縁膜を被覆した導電基体を陽極に用いると、第二のトンネル効果が加算され、電源を遮断すると、電極間電圧としてそれが測定できる。第一のトンネル電圧は知られており、求められる第二のトンネル電圧から絶縁膜の膜厚を求める。 （もっと読む）