【課題】試料に形成されたパターンに起因する高さ測定誤差を低減して、描画精度の向上を図ることのできる高さ測定方法および荷電粒子ビーム描画装置を提供する。
【解決手段】本発明の一態様によれば、高さ測定方法は、高さの基準となる範囲を決定する工程と、ＰＳＤを含むアナログ信号処理回路上でのオフセット値を求める工程と、ＰＳＤの出力値からオフセット値を差し引いた値を用いて試料の高さの測定データを求める工程と、試料の高さの測定データの内で基準となる範囲に含まれない値を除き、残った値を用いてフィッティングを行い、試料の高さデータを作成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、被写体までの距離を測定するＡＦセンサー等の測距装置付き撮像装置に係わり、小型化およびコスト削減を可能にする測距装置を提供する。
【解決手段】 本発明の測距装置であるＡＦセンサーユニットは、フレキシブル基板４に実装されたＡＦセンサー５と、被写体からの光を集光するＡＦセンサー５用のＡＦレンズ１と、ＡＦセンサー５とＡＦレンズとの焦点距離を調整する為のピント調整用スペーサー３と、ＡＦセンサー５とＡＦレンズ１とピント調整用スペーサー３を保持するＡＦホルダー２とで構成され、ＡＦセンサーを実装したフレキシブル基板４にＡＦセンサー５の位置を調整するための把持部（切欠き部４ａ）を備えた。 （もっと読む）

【課題】環境変化に左右されない正確な測距値を取得可能なレーザ画像計測装置を得る。
【解決手段】レーザ光の発振時間と反射光の受光時間との時間差に基づき対象物までの距離を導出するために、基準となる変調信号Ｍを生成する基準信号発生部２０と、変調信号Ｍにより変調されたレーザ光を出射するレーザ光送信部３０と、レーザ光を走査して整形された送信ビームＬを出射するレーザ光走査部４０と、反射光を受信信号に変換する受信部５０と、レーザ光走査部４０内のレーザ光走査光学系５から基準固定距離に設置されて送信ビームＬが照射される基準反射板６と、受信信号から基準反射板６および対象物の距離値Ｄｚを導出する信号処理部６０と、を備える。レーザ光走査部４０および受信部５０は、基準反射板６からの反射光を、対象物に対する距離測定と同一の光路で送受信する。信号処理部６０は、基準反射板６の距離変動量ΔＤｚから、対象物の距離値を補正する。 （もっと読む）

【課題】ステレオカメラ装置、校正方法およびプログラムを提供すること。
【解決手段】ステレオカメラ装置１００は、基線長だけ離間して設置された２台のカメラ１０２、１０４を備え、演算部１２０は、２台のカメラ１０２、１０４によって取得された画像から、時間間隔を隔てた同一の対応点の視差を取得して距離計算のために使用される視差オフセット値を対応点毎に計算し、個々の対応点について得られた視差オフセット値の値から最適値を決定し、最適値をステレオカメラ装置を使用した距離Ｚの計算のための校正パラメータとして更新する。 （もっと読む）

【課題】シャインプルーフ光学系を用いた光学式変位センサにおいて、測定精度が安定した投光ビームの調整方法を提供する。
【解決手段】シャインプルーフ光学系を用いた光学式変位センサ１０は、測定対象物に対して光を照射する投光モジュール９と、投光モジュール９からの光が測定対象物で反射して、反射光を受光面で受光する受光部１３と、測定対象物と受光部１３との間に位置して、反射光を受光面に結像する受光レンズ１４とを備える。投光ビームの調整方法は、受光部１３における像のサイズが、投光モジュール９を構成する投光レンズ１２と測定対象物との距離によらず一定になるように光源１１から照射される光の焦点位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサにより高さのみ及び高さと変位の両方を高精度に測定することができ、設置作業が容易な測定装置を提供する。
【解決手段】測定装置において、５つ以上の高さ方向の絶対座標が分かるキャリブレーションターゲット２と、前記キャリブレーションターゲット２の画像を撮像し、撮像した画像の画像信号を出力するラインセンサ１と、前記画像信号に基づき画像情報を作成する入力画像作成部と、前記画像情報に基づきターゲット座標を検出するターゲット検出部と、前記ターゲット座標及び予め取得した絶対座標に基づきＤＬＴ法の係数を算出する係数算出部と、前記係数に基づき前記ラインセンサ１の姿勢を計算する姿勢計算部と、前記係数に基づき前記ラインセンサ１の焦点距離を計算する焦点距離計算部と、前記係数に基づき前記ラインセンサ１の位置を計算する位置計算部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 ステレオカメラの経時的な位置ずれを補正し校正できる装置や方法を提供する。
【解決手段】 この校正装置は、移動体に搭載され、カメラ位置に関するパラメータを校正する装置であり、２地点において一方のカメラで撮影した２つの基準画像と、他方のカメラで撮影した２つの対応画像と２つの基準画像とを用い、各地点につき基準画像と対応画像の中の共通する複数の特徴点の位置から算出された複数の視差データとの入力を受け付ける画像取得部３００と、２つの基準画像の中の共通する複数の特徴点を探索する特徴点探索部３１０と、探索された各特徴点につき、２つの基準画像の各特徴点における視差データから、視差とその視差に対応する視差変化量とをそれぞれ算出する視差計算部３２０と、算出された複数の視差および視差変化量から、カメラ位置に関するパラメータの補正値を算出する補正値計算部３３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】照明部と撮像部の校正時からの変化を異常として検知する。
【解決手段】対象物体の三次元形状モデルの情報を保持する保持部と、撮像部により撮像された対象物体の距離情報を取得する距離情報取得部と、撮像部により撮像された対象物体の濃淡画像を取得する濃淡画像取得部と、保持部に保持された三次元形状モデルの情報と、距離情報とに基づいて対象物体の位置および姿勢を推定する第１位置姿勢推定部と、保持部に保持された三次元形状モデルの情報を濃淡画像上に投影した投影情報と、濃淡画像の幾何特徴とに基づいて対象物体の位置および姿勢を推定する第２位置姿勢推定部と、第１位置姿勢推定部により推定された第１推定値と第２位置姿勢推定部により推定された第２推定値との差分値が閾値より大きいか判定する判定部と、判定部により差分値が閾値より大きいと判定された場合に、撮像部による撮像条件の校正が必要な状態であることを報知する報知部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光を用いて物体までの距離を測定した測定結果において、所定の対象物に関する測定結果を特定することを可能とすること。
【解決手段】物体までの距離を光の照射によって測定点毎に測定する測定装置であって、測定点毎の距離を表す距離情報と、測定点毎の受光量を表す受光量情報と、を取得する光学式距離測定部と、受光量情報において、光量が閾値を超える測定点を、光源方向に対して多くの入射光を反射する反射面を有する対象物に対応する測定点であると判定する対象判定部と、対象判定部によって判定された測定点の距離に基づいて、自装置の基準点を原点とするローカル座標系における対象物の位置を算出し、当該ローカル座標系における位置と、同一の対象物のグローバル座標系における位置とに基づいて、較正を行う較正ステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】走行する車両を撮影するカメラの条件を設定するカメラキャリブレーションを容易に設定可能なカメラキャリブレーションシステムと、その計測車両及び路側機を提供すること。
【解決手段】目印を搭載した計測車両を走行させ、この車両の目印を認識する画像処理部を有する路側機で構成されるカメラキャリブレーションシステムにおいて、上記計測車両は、搭載したＧＰＳ受信機で受信した位置情報及び時計情報を送信するデータ送信機を備え、上記路側機は、走行する計測車両を撮影するカメラ映像の中の目印を認識する画像処理部と、ＧＰＳ受信機で受信した当該路側機の設置位置情報を原点とし、前記データ送信機から送信された時計情報及び位置情報、及び前記画像処理部が目印を認識したときの画像及び当該目印の座標を元に、目印の位置情報と、前記路側機の設置位置情報から当該２点間の距離を算出する。 （もっと読む）