プロセス流体の特性を検知するプロセス流体センサ（１０４）を提供する。該プロセス流体センサ（１０４）は、内部にチャンバを画定する金属製のセンサボディ（１５０）を含む。圧電結晶素子（１６０）が該チャンバに近接して配置され、機械的入力に応答して電気信号を発生するように構成される。該圧電結晶素子（１６０）は該プロセス流体に機械的に接続可能であり、気体の透過経路（１６４）として該センサボディ内に密封される。該プロセス流体センサ（１０４）を利用した渦流量計（１００）も提供される。
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【課題】微小流量の渦流量計においても現状の加工技術を用いることで実現可能な渦流量計を提供する。
【解決手段】本体と、該本体内に形成された流路と、該流路内に配置された渦発生体と渦検出器とを備え、前記流路の通水量に比例して、前記渦検出器による出力から流量を測定する渦流量計において、前記本体を前記流路に対して直角方向に複数個に分割した。 （もっと読む）

【課題】超音波により渦発生体の下流に発生するカルマン渦を、気泡の判定をしながら検出して被測流体の流量を測定する超音波式渦流量計を提供する。
【解決手段】フィルタアンプ回路３０からのカルマン渦１７の信号は、Ａ／Ｄ変換部６０を介して気泡検知部６１に入力される。Ａ／Ｄ変換された渦信号の振幅値が、閾値（メモリ４４に流量計の口径別に記憶されている）以上になったかどうかが常時監視され、閾値を越えている場合には、気泡が混入したと判断し、周波数設定部４２に出力する。周波数設定部４２は、メモリ４４に記憶されたデータ及びカウンタ部４０で計測した渦パルス信号の周波数に基づいて、渦信号を通過させるバンドパスフィルタ部３８のカットオフ周波数を設定し、流量演算部４６でパルス列に変換・積算して流量演算し、流量信号を出力端子４７に出力する。 （もっと読む）

【課題】電源周波数ノイズによる誤計測を防止する。
【解決手段】渦検出センサ２の出力信号には、流体が流れることで渦発生体にて発生する渦による渦計測周波数の信号と、流体が流れることで振動管に加えられる機械的な固有振動に対応する共振周波数の信号とが含まれている。第１の回路４は渦計測周波数の帯域の信号を取り出し、渦周波数測定回路６に出力する。第２の回路５は共振周波数成分を取り出し、第３の回路７に出力する。第３の回路７は、共振周波数の信号レベルが所定のしきい値より大きいときは渦周波数測定回路６から出力される渦計測信号を出力し、前記しきい値以下のときは、渦計測信号を強制的に出力しないようにする。 （もっと読む）

【課題】本体に流量調節計を組み込むことにより小型化を図った渦流量計を提供する。
【解決手段】本体と、該本体内に形成された流路と、該流路内に配置された渦発生体と渦検出器とを備え、前記流路の通水量に比例して、前記渦検出器による出力から流量を測定する渦流量計において、前記本体に流量調節手段を一体として組込んだことを特徴とする
。 （もっと読む）

アセンブリは、流路と流量計とを備える。流量計（１）は、流路（Ｃ）内に延在する少なくとも１つの渦発生体（２）を備える。各渦発生体（２）は、作動中、流路（Ｃ）を流れる流体にカルマン渦（Ｖ）を発生させるように構成されている。各渦発生体（２）には、ファイバブラッググレーティングセンサ（３，７，ＦＢＧ）の第１ファイバブラッググレーティング（ＦＢＧ）が設けられている。渦発生体（２）によって発生した渦（Ｖ）のカルマン渦周波数（ｆ_ｅ）は、渦発生体（２）の各第１ファイバブラッググレーティング（ＦＢＧ）に関するファイバブラッググレーティング（ＦＢＧ）センサ信号を用いて検出可能である。 （もっと読む）

渦流量計（６０２）は、渦センサ（６１０）と、渦流量計（６０２）から離れたサーモウェル・アセンブリからの熱電接点出力を受け取る端子とを有する。渦流量計（６０２）はサーモウェル・アセンブリの熱特性を表すデータを受け取るデータ入力部（６２４）を有する。渦流量計（６０２）は、第１熱電接点出力と渦センサ出力とを受け取るとともに、温度および熱特性に対して補正された流量計出力（６３２）を提供する回路（６４８）を有する。
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【課題】測定精度が向上され、製造コストが低減できる渦流量計を実現する。
【解決手段】カルマン渦による交番圧力の変動を検出して流速流量を測定する渦流量計において、所定長さを有する上流側測定管路に接続された下流側測定管路と、前記上流側測定管路に初めから一体に形成された渦発生体と、前記上流側測定管路の前記渦発生体の下流側に設けられた渦検出体とを具備したことを特徴とする渦流量計である。 （もっと読む）

【課題】センサ部への詰まりが発生した場合に始めて詰まり異常が判るため、そのような異常状態では流量出力異常も同時に発生する可能性が高く、正常復帰するためには、計器の調整が必要となる課題を解決する。
【解決手段】渦発生体によって発生する渦信号を検出する２つの検出部から出力される第１及び第２渦信号を用いて渦流量信号と共に先の第１及び第２渦信号の信号比を出力する渦流量計と、先の渦流量計の出力端に接続される機器管理ツールとが存在し、先の信号比を先の機器管理ツールで収集して先の渦流量計の詰まりを予知診断するようにした。 （もっと読む）

渦流量計（１００）は、プロセス流体の流れを測定する。渦流量計（１００）は、プロセス流体を運ぶ導管（１０２）を含む。感知装置（１４４）は、導管（１０２）に結合されたセンサ本体（１１６）のキャビティ（１４８）内に収容される。湾曲部（１３０）は、導管の一部に配置される。湾曲部は、導管（１０２）内のプロセス流体を感知装置（１４４）から隔離するように構成される。経路（１５２）は、キャビティ（１４８）からセンサ本体の外面（１５４）に延びる。経路（１５２）内に配置されるものには、キャビティ（１４８）から外面（１５４）に延びる装置（１５６）が含まれ、装置（１５６）はキャビティ（１４８）内のあらゆるプロセス流体の存在を判定するのに用いるように構成される。
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