【課題】測定可能な膜厚の上限値を容易に変更することができる光干渉システム、基板処理装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】光干渉システム１は、光源１０、コリメータ１２、単一の受光素子４１、チューナブルフィルタ４０及び演算装置１５を備える。コリメータ１２は、光源１０からの測定光を測定対象物の第１主面へ出射するとともに、第１主面及び第２主面からの反射光を入射する。単一の受光素子４１は、コリメータ１２からの光の強度を取得する。チューナブルフィルタ４０は、受光素子４１に入射される光の波長を掃引する。演算装置１５は、チューナブルフィルタ４０及び受光素子４１を用いて、波長に依存した強度分布であって第１主面及び第２主面からの反射光の強度分布である干渉強度分布を測定し、干渉強度分布をフーリエ変換して得られる波形に基づいて測定対象物の厚さ又は温度を計測する。 （もっと読む）

【課題】
非接触の多点温度計測をする技術として、NO-LIF法では、NOの反応性から、気体の温度値は数十K程度のばらつきを有するという問題点があり、また水中における蛍光染料を用いた方法では、気体中での蛍光染料の安定性、拡散性の違いからそのまま適用することは困難であった。気体の温度分布を高精度で測定することができ、非接触気体温度計測法及びその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
温度計測対象となる気体に蛍光染料溶液を噴霧して液滴群とし、これに蛍光染料の励起波長域の波長を持つ光を照射し、蛍光染料の蛍光強度を測定し、その蛍光強度から温度を算出することを主要な特徴とする。 （もっと読む）

【課題】迷光等のバックランドノイズの影響を受けずに、基板表面温度を正確に測定する。
【解決手段】基板支持面内に形成された１以上の窓と、第１信号をパルスするように構成された第１信号発生器１０４と、第１信号発生器から１以上の窓を透過したエネルギーを受信するように配置された第１センサ１０６を含む装置１００が、エッチングプロセス中に基板温度を測定するために提供される。輻射エネルギーを用いて基板１０２を加熱する工程と、第１光をパルスする工程と、第１光がオンにパルスされたときに基板を透過する全透過率を示す計量値を決定する工程と、第１光がオフにパルスされたときに基板を透過する背景透過率を示す計量値を決定する工程と、プロセス温度を決定する工程を含む方法が、エッチングプロセス中に基板温度を測定するために提供される。 （もっと読む）

【課題】高精度の温度測定が可能な蛍光温度計を提供する。
【解決手段】本発明の温度計測方法は、蛍光体を励起する励起ステップと、励起された蛍光体から発せられる蛍光を検出する蛍光検出ステップと、蛍光検出ステップで検出された蛍光の強度−時間信号を、時間領域信号から周波数領域信号に変換する信号変換ステップと、周波数領域信号における所定の周波数成分の変化量に基づいて被検物の温度を算出する温度算出ステップと、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】封止樹脂部は小型であるため熱電対による温度測定が困難である。赤外線温度計を用いても、封止樹脂内部までは温度測定できないうえ、放射係数が分からないと正確な温度を知ることができない。
【解決手段】半導体発光素子１５と、半導体発光素子１５の封止樹脂１１と、半導体発光素子１５に電力を供給する電極１９，２１とを備える半導体発光装置１０において、封止部材１１がコレステリック液晶１６を含有する。コレステリック液晶１６の反射色から封止部材１１の内部温度が分かる。 （もっと読む）

【課題】波長可変レーザを用いてガスタービン内の高温ガス温度を測定すること。
【解決手段】ガスタービン（１０）に装着された燃焼ガス測定装置であって、該測定装置が、ガスタービン（１０）内の燃焼ガス通路（３０）を通過するレーザビームを放出（１１０）する波長可変ダイオードレーザ（２２）と、１３３４ナノメートル（ｎｍ）の波長の第１のレーザビームと、１３８０ｎｍ又は１３９１ｎｍの波長の第２のレーザビームとを放出するよう波長調整（１００、１０２）される波長可変ダイオードレーザ用のコントローラ（２０）と、燃焼ガス（３０）を通過する放射線ビームの各々を検知（１００）し、波長の各々において燃焼ガスによるビームの吸収を示す吸収信号（１１２）を生成するレーザセンサ（２２）と、を備え、コントローラ（２０）が、非一時的な記憶媒体上に格納され、第１のレーザビーム及び第２のレーザビームの吸収信号の比に基づいて燃焼ガス温度を決定（１１４）するプログラムを実行する。 （もっと読む）

【課題】精度の高い測定を簡便に行うことができる分光測定装置、及び分光測定方法を提供すること。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる分光測定装置は、レーザ光源１０１と、レーザ光源１０１からの光ビームを参照用サンプル１２０に集光するレンズ１０４と、第１レンズ１０４を通過した光ビームを測定用サンプル１２１に集光する対物レンズ１０６と、光ビームの照射によって、測定用サンプル１２１、及び参照用サンプル１２０で発生した光ビームと異なる波長の光を分光する分光器１０９と、分光器１０９で分光された光を検出する検出器１１０と、参照用サンプル１２０及び測定用サンプル１２１から分光器１０９に向かう光の光路を、レーザ光源か１０１から測定用サンプル１２１に向かう光ビームの光路から分岐するビームスプリッタ１０３と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】測定物の温度測定と同時に、測定物の所望の面の状態を分析することができる表面分析装置を実現すること。
【解決手段】表面分析装置は、スーパーコンティニューム光を放射する光源１０と、ＳＣ光を測定光と参照光とに分割する光ファイバカプラ１１と、ミラー１２と、ミラー１２を移動させる駆動装置１３と、測定光と参照光との干渉波形を測定する受光手段１４と、干渉波形から測定物の温度および表面状態を分析する干渉波形解析手段１５と、によって構成されている。干渉波形解析手段１５は、干渉波形の干渉ピーク位置の温度変化から温度を測定する手段と、干渉波形から測定物の所望の面に対応する干渉ピークを切り出し、その切り出した波形をフーリエ変換したスペクトル図を求めることで、測定物の膜質、表面状態などを測定する。 （もっと読む）

【課題】ダクト内の面温度分布を安価かつ簡易に計測することができ、面温度分布を常時測定することができる温度測定装置および温度測定方法を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路の一の壁面に取り付けられ、前記流路の他の壁面から発せられ、流体を通過した光が入射する受光部２と、受光部２に入射した光を分光する分光部３と、分光部３により分光された光から、少なくとも気体に関する吸収スペクトルである実測の吸収スペクトルを取得するとともに、気体の所定温度における理論上の吸収スペクトル、および、実測の吸収スペクトルを比較し、理論上の吸収スペクトルと実測の吸収スペクトルとの誤差が最も小さくなる所定温度を求める解析部４と、が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）