【課題】フォトマスクの表面汚染物質の分析をするため、フォトマスクを使うのでなく、フォトマスクの表面と同一の物質を形成した基材を捕集部に設けて、分析方法が固定・限定されずに、分析用気体から分子状化学汚染物質の捕集が選択的であり、経時的に汚染物質の捕集を行うことを可能とする汚染物分析用捕集装置を提供する。
【解決手段】分析用の気体中を経時的に吸引する吸引部と、分子状汚染物質を経時的に捕集する捕集部を備えた汚染物質分析用捕集装置であって、捕集部は、基材と、その表面に表面物質層を形成し、表面物質層は、所望の材料表面と同一物質からなること、及び捕集部が、汚染物質を選択的に捕集する手段を備え、その手段は、ペルチェ素子、又はランプヒータを用いて、表面物質層の表面を特定温度に加熱、又は冷却することにより、前記表面物質層の表面に汚染物質を選択的に捕集する汚染物分析用捕集装置である。 （もっと読む）

本発明は、流体精製デバイスを用いる製造プロセスにおける汚染物質濃度の監視に関する。本発明は、全プロセスにわたりプロセス流体流中に含まれる汚染物質を吸着させるために精製材料を用いるプロセス流体流中の汚染物質濃度を分析するための高感度方法を提供する。
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【課題】エンジンから排出されるＰＭ（粒子状物質）粒子数を簡易に且つ精度良く計測する。
【解決手段】エンジンの排ガスを通す排ガス流通管３から排ガス導入管４によって排ガスの一部を取り出して希釈器５により空気と混合して希釈し、該排ガス中のＰＭ粒子数を計測するに当たり、排ガス導入管４の排ガス導入口１２Ａ〜１２Ｃを排ガス流通管３における排ガス流れの下流側に向かって開口させるとともに、該排ガス流通管３内の中心部からその管壁近傍にわたって開口させる。 （もっと読む）

【課題】部品コストを増大させることなく、リード線の引き出し部位とされるガスセンサの基端部の熱による損傷の発生を抑制することができるガス分析装置を提供する。
【解決手段】煙道に挿入固定された支持筒２１内には接続管６１を挿入し、当該接続管６１内には支持筒２１の先端壁３１に固定されたガスセンサ４１の少なくとも基端部を収容するようにした。そして、接続管６１の基端側から冷却用空気を導入するようにした。即ち、接続管６１内には空気供給管５６を挿入し、その先端開口部であるノズル部５６ａをガスセンサ４１の基端部へ指向させるようにした。ガスセンサ４１の基端部に冷却用空気が供給されることにより、当該基端部に装着されたリード線押さえ部材４７は冷却される。このため、リード線押さえ部材４７の温度上昇が抑制され、当該リード線押さえ部材４７の熱による損傷も回避できる。 （もっと読む）

【課題】 試料の条件に対応し気液の分離を確実に行うとともに、露点の低い試料には試料の条件に対応した加湿を行うことができる、簡易かつコンパクトな気液分離器およびそれを用いた分析装置を提供すること。
【解決手段】 気液が共存する試料を導入する入口部２、試料が通過する所定の容積を有する空間部３、試料と気液接触が可能な所定の容積を有する液溜部６、気体を主成分とする試料を排出する出口部４、及び分離液を排出するドレン排出部５を有する気液分離器１であって、前記空間部の容積または／および液溜部の容積を変更可能な構造を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構成により試料中の共存成分濃度の変動による影響を除去し、目的成分の測定精度を向上させたサンプリング装置を提供する。
【解決手段】密閉容器２２内に満たされた液体２１内に収容され、かつ試料Ａの流出入に伴って容積が変化する第１，第２の捕集バッグＢ１，Ｂ２と、試料Ａをこれらの捕集バッグＢ１，Ｂ２に交互に捕集するための電磁弁Ｖ２ａと、捕集バッグＢ１，Ｂ２に捕集された試料Ａを差量法分析計１０の電磁弁Ｖ１の流入側に交互に導入するための電磁弁Ｖ２ｂとを備え、電磁弁Ｖ２ａ，Ｖ２ｂの切換周期を同一にし、かつ、これらの切換周期を、前記電磁弁Ｖ１の切換周期の２ｎ（ｎは自然数）倍とする。 （もっと読む）

【課題】試料ガスに含まれる微粒子を容易かつ高精度に分析するのに寄与できるガス置換方法を提供する。
【解決手段】多孔性隔壁２Ａにより囲まれたガス流路２ｃにおいて微粒子を含む試料ガスＧ１を流動させる。多孔性隔壁２Ａの周囲において置換ガスＧ２を試料ガスＧ１の流動方向と逆方向に流動させ、試料ガスＧ１と置換ガスＧ２との分圧差による拡散により、試料ガスＧ１を多孔性隔壁２Ａを介してガス流路２ｃ外に移動させると共に置換ガスＧ２を多孔性隔壁２Ａを介してガス流路２ｃ内に移動させる。ガス流路２ｃの出口２ｂから置換ガスＧ２を微粒子と共に流出させる。多孔性隔壁２Ａにより、ガス流路２ｃの内外圧力差による多孔性隔壁２Ａを介するガス移動を阻止する。 （もっと読む）

【課題】 炉内の燃焼状態の変動を抑えることができ、装置構成の簡素化と低コスト化を図ることができ、粘着性の高い付着物が付着した場合であってもその付着物を確実に除去することのできる排ガス分析用サンプリング装置を提供する。
【解決手段】 ラバルノズル部２１と吸引孔２３を有する流体案内部２２を備えるノズル１３から、直進性を持つ衝撃波を伴った超音速のノズル噴射ガスを、焼却炉２内に突出配置される排ガスサンプリング用のセラミックフィルタ５の内部空間に噴射し、それによってセラミックフィルタ５の外周面に付着するダストを除去する。 （もっと読む）

【課題】 被検知箇所の環境中のガスを検知するために、ガス採集管を該被検知箇所まで挿入した場合、被検知箇所に存するヘドロ等が先端部に詰まってガス検知を行えなくなるおそれがあることに鑑みて、ヘドロ等に突き刺してしまった場合でも、確実にガス検知を行えるガス採集管を提供する。
【解決手段】 伸縮自在な中空の管主体11の先端部に接続部12aを介して装着させるキャップ部材12を中空とし、保持フランジ部12d、採集用胴部12f、閉塞フランジ部12eを順に設ける。採集用胴部12fに採集口12gを穿設すると共に、該採集用胴部12fにフィルター部材12hを嵌着し、該採集口12gを介して管主体11の内外部を連通させる。管主体11の基端部に接続チューブ２を介してガス検知器３を接続する。 （もっと読む）

【課題】
簡単かつ低コストな構成で、Ｓｏｏｔ濃度測定の際に必要な希釈比を求め、精度のよいＳｏｏｔ濃度測定が可能な排気ガス分析装置を提供する。
【解決手段】
排気ガスラインに対し、ＳＯＦ濃度を連続測定可能なＳＯＦ測定系と、Ｓｏｏｔを連続測定可能なＳｏｏｔ測定系とを接続し、前記Ｓｏｏｔ測定系を、前記排気ガス又は炭化水素濃度が既知である標準ガスのいずれを一方を選択的に希釈用ガスで希釈して導出する希釈器と、前記希釈器の希釈比を調整可能な希釈比調整手段と、前記希釈器で希釈されたガス中のＳｏｏｔを連続測定するＳｏｏｔ検出器とを備えたものにするとともに、前記ＳＯＦ測定系を、前記希釈器に接続可能に構成して当該希釈器で希釈された標準ガスの炭化水素濃度を測定可能なものにした。 （もっと読む）