【課題】薄膜の２次電子放出能を複雑な機構を用いることなく、感度よく、さらには成膜装置内でも測定して評価できる表面検査方法および装置を提供する。
【解決手段】検査対象物としての、基板８の表面に形成された薄膜８ａに高周波プラズマ１３を接触させて、高周波プラズマ発生手段の回路に接続させたインピーダンス測定器１４で高周波プラズマ１３のインピーダンスを測定し、そのインピーダンスの測定値より、予め求めたインピーダンスと薄膜からの２次電子の放出数との相関に基づいて、薄膜８ａの２次電子放出能を評価する。従来用いられていたイオンビームに代えて高周波プラズマ１３を使用するので、２次電子の放出量が多くなり、２次電子を高感度に測定できる。イオンビームを用いる従来法に必要であった基板８と電極とを覆うコレコタは不要なので、測定系をシンプルにすることができ、成膜装置内での２次電子の測定が可能となり、成膜工程の安定化を実現できる。 （もっと読む）

【課題】高空間分解能で測定位置の確認ができ、且つ高空間分解能で試料分析ができるカソードルミネッセンス（ＣＬ）を用いた半導体結晶欠陥検出方法等を提供する。
【解決手段】表面側にシリコン層を有する基板２をステージ３に載置する工程と、基板２を温度１００Ｋ〜４Ｋに冷却する工程と、ステージ３と基板表面を照射するための電子線とのいずれか一方を２次元的に走査して、基板表面の所定領域内を電子線により順次照射する工程と、基板表面から発生したＣＬ光のうちの波長１２００ｎｍ〜１７００ｎｍの近赤外光を検出すると共に、検出位置確認のために、基板表面から発生した２次電子を検出する工程と、検出された２次電子により基板表面の画像である２次電子像を表示すると共に、２次電子像に対応させて、検出された近赤外光の強度を表示し、基板表面で近赤外光の強度が大きい部位を特定する工程とを順に実行している。 （もっと読む）

【課題】 カーボンナノチューブ集合体を形成する各単層カーボンナノチューブの特性を効率的且つ精度良く測定して解析する。
【解決手段】 バンドル状のカーボンナノチューブ集合体とシクロアミロース溶液とを混合し、超音波処理を行うことで、単層カーボンナノチューブが分散して含まれるカーボンナノチューブ含有溶液を生成する。カーボンナノチューブ含有溶液を濾過してから回転している基板に滴下し、乾燥させることでカーボンナノチューブ薄膜を形成する。カーボンナノチューブ薄膜に均等に分散する単層カーボンナノチューブに対してラマン顕微分光方法を用いて単層カーボンナノチューブの特性を解析する。 （もっと読む）

【課題】 電子銃の制約を受けず、高い集光効率の光学系を設計することが可能なカソードルミネッセンス専用測定装置を提供する。
【解決手段】 試料（２）に電子線を照射するための電子線照射部（３）と、試料（２）から発光するカソードルミネッセンスを測定する発光測定部（４）と、カソードルミネッセンスを発光測定部（４）に集光する、楕円鏡（５）を含む反射鏡の組み合わせあるいは反射鏡とレンズとの組み合わせとを備えたカソードルミネッセンス専用測定装置（１）であって、電子線照射部（３）、発光測定部（４）および楕円鏡（５）を含む反射鏡の組み合わせあるいは反射鏡とレンズとの組み合わせが同一のフランジ（７）に固定されて一体化され、それらが真空装置に接続されており、楕円鏡（５）を含む反射鏡の組み合わせあるいは反射鏡とレンズとの組み合わせにより、照射する電子線の軸と試料（２）からのカソードルミネッセンスの軸とを別にして、電子線照射と集光を反平行で行うカソードルミネッセンス専用測定装置（１）とする。 （もっと読む）

周波数、波長又は質量スペクトルデータを拡張する方法であって、周波数、波長又は質量スペクトルデータをフーリエ逆変換し、得られた逆変換データをゼロフィル（及び望みならアポダイズ）し、そしてフーリエ変換して、周波数、波長又は質量領域へと再変換する。この処理によって得られるスペクトルデータは、ピークの位置、形状及び高さをより正確に示すものとなる。
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【目的】 黄色化に対して安定性を有する改良された即発発光及び放射線画像記憶パネル及び放射線写真蛍りん光体パネルの製造方法を提供する。
【構成】 バインダー相溶性オキソ硫黄安定剤を有する放射線写真蛍りん光体パネル及びその製造方法。この蛍りん光体パネルは、支持体及び支持体を覆う発光層を有する。発光層には蛍りん光体結晶、バインダー及びオキソ硫黄還元剤が含まれている。オキソ硫黄還元剤は実質的に分子ベースで発光層内に分散されている。オキソ硫黄還元剤はヨウ素用の還元剤である。オキソ硫黄還元剤は、パネルの光誘導ルミネセンスを実質的に増加させるために十分な濃度を有している。 （もっと読む）