【課題】 検査対象物の表面状態の欠陥を極めて高精度に検出することが可能な欠陥検出方法及び欠陥検出装置を提供すること。
【解決手段】 本発明に係る欠陥検出方法は、複数の表面高さデータを抽出する工程（ステップ１）と、第１基準線を算出する工程（ステップ５）と、第１区間及び第２区間の各区間において、各測定点毎に算出された第１の差が最大となる表面高さデータを示す点である第１のピーク点をそれぞれ算出し、各第１のピーク点を通る第２基準線を算出する工程（ステップ６）と、各区間において、各測定点毎に算出された第２の差が最大となる表面高さデータを示す点である第２のピーク点をそれぞれ算出し、各第２のピーク点を通る第３基準線を算出する工程（ステップ７）と、各測定点毎に算出された第３の差に基づいて評価値を算出する工程（ステップ８）とを備える。 （もっと読む）

【課題】従来の溶接品質検査装置においては、溶接部の適切な検査ができないという課題があった。
【解決手段】溶接部の一以上の領域についての画像の情報である溶接画像情報を取得する溶接画像情報取得部１０７と、溶接画像情報取得部１０７が取得した溶接画像情報の輝度の情報である輝度情報を取得する輝度情報取得部１０８と、輝度情報取得部１０８が取得した輝度情報に基づいて、溶接部の溶接の状態を判定する溶接判定部１０９とを具備するようにした。 （もっと読む）

【課題】 光干渉法と偏光解析法を1台の装置において可能にすることによって、基板上に形成した透明な薄膜の屈折率と膜厚や、基板のたわみや膜の段差などを試料面内で２次元的に測定できるようにするとともに、測定精度を向上させた表面測定装置を提供する。
【解決手段】 ある偏光状態にある平面波を試料１に照射し試料１の反射による偏光状態の変化をセンサー１１によって測定することを特徴とする光学式表面測定装置において、反射側のレンズ７の焦点に偏光素子８を置くことを特徴とする表面測定装置。 （もっと読む）

【課題】 検査対象物の形状によらずに検査領域を設定でき、検査対象物の外観検査を極めて高精度に行うことが可能な外観検査方法及び外観検査装置を提供すること。
【解決手段】 本発明に係る外観検査方法は、撮像画像を取得する工程と、マスタ画像及び拡張マスタ画像を生成する工程と、検査対象物の中央部と周縁部と出輝度値が変化する複数の変化点で構成される点列を線で近似した近似直線に基づいて検査領域を決定する工程と、撮像画像から検査領域に対応する領域の画素の輝度値が抽出された検査領域画像Ｐ５を生成する工程と、検査領域画像Ｐ５と合成したときに、検査対象外領域において輝度値の変化を抑制するように検査対象外領域の画素の輝度値が設定された検査対象外領域画像Ｐ７を生成する工程と、検査領域画像Ｐ５と検査対象外領域画像Ｐ７とを合成することにより合成画像Ｐ８を生成する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】フラットディスプレイパネルの基板上に形成された塗布膜の表面形状を短時間で、低コストに検査可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】基板１１上に形成された塗布膜１２の表面検査装置であって、点光源２０と、点光源２０から発せられた光の光路に設けられたハーフミラー２１と、ハーフミラー２１を経由した光を平行光に変換して塗布膜１２の表面に照射するとともに塗布膜１２の表面からの反射光を集光するように配置されたフレネルレンズ２２と、フレネルレンズ２２により集光されハーフミラー２１により点光源２０とは別の光路に導かれた反射光の集光結像された光学像を観察するＣＣＤカメラ２６とを有し、フレネルレンズ２２より高い剛性を有する補強平板４０がフレネルレンズ２２に固定されることなくフレネルレンズ２２の凹凸面に接して設けられている。 （もっと読む）

【課題】省スペース化及び低コスト化を図ることができるバンプＩＣ検査装置を提供する。
【解決手段】ステージ１１の真上に第１のミラー２１を設け、バンプ面１３の平面画像を右斜め下方へ向けて反射する。第１のミラー２１の右側に第２のミラー３１を設け、第１のミラー２１で反射した平面画像を真上に反射する。第２のミラー３１の真上にカメラ４１を設け、第２のミラー３１で反射した平面画像を入力する。ステージ１１の右方に第３のミラー５１を設け、バンプ付きＩＣ２の側部画像をカメラ４１のレンズ４２へ向けて反射する。レンズ４２への平面画像入力位置６２と側部画像入力位置６３を異なる位置に設定し、平面画像光路６４と側部画像光路６５とが重ならないように各ミラー２１，３１，５１を調整する。 （もっと読む）

【課題】木材の品質に影響を及ぼす木材表面の変色による欠陥部分を色分布を利用して正確に検出すること。
【解決手段】撮影手段８で木材９のカラー撮影を行い、画像処理手段１で前記撮影手段８により撮影されたカラー画像の色分布を求め、該求めた色分布を予め定めた正常な木材の色分布と比較し、該求めた色分布が前記正常な木材の色分布から所定値以上離れたものを異常色分布とし、該異常色分布が前記撮影手段により撮影された木材面上での領域で所定値より大きいものを木材の欠陥として検出する。 （もっと読む）

【課題】欠陥を的確に自動検知できる絶縁樹脂皮膜が所要箇所に設けられた電気電子部品
用金属材料を提供する。
【解決手段】金属条材２の所要箇所に絶縁樹脂皮膜３が設けられた金属材料１において、絶縁樹脂皮膜３が着色されている電気電子部品用金属材料。 （もっと読む）

【課題】クラックと異物とを容易に識別できる外観検査方法を提供する。
【解決手段】被検査物１をＴＶカメラ２で撮像することにより得られた濃淡画像である原画像から、エッジ抽出部４においてエッジ画像が生成される。エリア設定部６は、エッジ画像の中で検査領域の境界線上に複数個の検査スタートポイントを設定し、かつ各検査スタートポイントごとに直線状かつ一定幅である検出エリアを設定する。また、それぞれの検査スタートポイントを中心とし検出エリアが検査領域の範囲内で回転走査される。欠陥候補抽出部は、検出エリアの各位置において、クラックのエッジ上の画素である条件が満たされるときに当該画素を欠陥候補点とし、クラック判定部８は、欠陥候補点の総数と欠陥候補点の微分絶対値の総和とが規定したしきい値を超える場合に、当該検出エリアにおいて被検査物の表面にクラックが存在すると判別する。 （もっと読む）

【課題】シェアログラフィー法による非破壊検査を迅速かつ高精度に実施可能な非接触式欠陥検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】非接触式欠陥検査装置には、検査対象物Ａに熱歪みを付与する誘導加熱器１０１と、検査対象物Ａにレーザ光を照射するレーザ発振器１０２と、検査対象物Ａからの反射画像を特定の方向にずらして二重露光計測する画像計測手段１０４と、当該画像計測手段１０４で得られた微分画像から検査画像を生成する画像解析手段２０４と、検査対象物Ａを冷却する冷却風送風手段１０６とを備える。二重露光計測を行う際、冷却風送風手段１０６の駆動を停止するか、冷却風送風手段１０６から送風される冷却風１０６ａの流れ方向と反射画像のずらし方向とを合致又は近似させる。 （もっと読む）