【課題】光学的自動検査システムと方法を提供する。
【解決手段】光学的自動検査システムは、イメージ捕捉モジュール、データ処理ユニット、及び、比較ユニット、からなる。イメージ捕捉モジュールは、単位時間に、異なる被写界深度（depth of field）状態で被検査物の複数の測定値を捕捉する。データ処理ユニットは、イメージ捕捉モジュールにより捕捉された測定値を受信し、演算後、比較値を出力する。比較ユニットは、データ処理ユニットに電気的に接続されて、比較値と参考値を比較し、被検査物に欠陥がないか判断する。上述のシステムは、被検査物が検査中の際に焦点から逸脱し、鮮明なイメージが捕捉できない問題を克服することができる。光学的自動検査方法も開示される。 （もっと読む）

【課題】より小さい設置スペースで貼り合わせを良好に行うことができる液晶表示素子の製造システム及び製造方法を提供する。
【解決手段】パネル旋回部２００で液晶パネルＷを上下反転及び水平方向に回転させることにより、第１連続ロールＲ１及び第２連続ロールＲ２から繰り出される光学機能フィルムを平面視で直線状に配置されたフィルム搬送ラインＬ１で搬送し、かつ、フィルム搬送ラインＬ１に対して上側に位置するように重畳的に配置された平面視で直線状のパネル搬送ラインＬ２で液晶パネルＷを搬送する。フィルム搬送ラインに対して上方にパネル搬送ラインを配置し、第１連続ロールＲ１及び第２連続ロールＲ２から繰り出される光学機能フィルムを、いずれも下側から液晶パネルＷに貼り合せる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、ガラス基板の搬送方向の平坦性を確保し、精度よく検査できるガラス基板欠陥検査装置またはガラス基板欠陥検査方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、ガラス基板をエアで浮上力を発生させて浮上させ、前記浮上力のない検査領域に搬送し、前記検査領域において前記ガラス基板を撮像し検査するガラス基板欠陥検査装置または検査方法において、前記検査領域における前記基板ガラスの搬送方向の端部の跳ね上がりによる変位量を低減し、前記検査を行なうことを特徴とする。また、前記低減は前記検査領域における前記ガラス基板の前記変位量を測定し、前記変位量測定結果に基づいて、前記撮像する撮像手段を移動させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 検査員によって黒シミ欠陥Ｇ等の判定結果が異なるようなことがなく、安定して黒シミ欠陥Ｇ等の検査結果を得ること。
【解決手段】 被検査体を撮像する撮像部と、撮像部の撮像により取得された画像データに基づいて被検査体における欠陥部分を抽出する欠陥抽出部と、欠陥抽出部により抽出された欠陥部分の輪郭部を取得する輪郭取得部と、輪郭取得部により取得された輪郭部における濃淡レベルの変化の大きさに基づいて欠陥部分の評価を行う欠陥評価部とを具備する欠陥検査装置である。 （もっと読む）

【課題】 本発明はポリゴンミラーを回転させるスキャナモータの回転数を問題が生じない回転数に設定しても、その３倍以上の回転数に設定したのと同等な高速スキャンが可能で、微細な欠陥を検出することができる欠陥検査方法および欠陥検査装置を得るにある。
【解決手段】 搬送装置で搬送される検査物を、ポリゴンミラーを搭載したスキャナモータを使用した縦長のビームスポットを走査して行なう第1のスキャン工程と、この第1のスキャン工程の縦長のビームスポットの走査方向とは９０度異なる方向で、前記検査物をポリゴンミラーを搭載したスキャナモータを使用した縦長のビームスポットを走査して行なう第２のスキャン工程と、この第２のスキャン工程のデータと前記第1のスキャン工程のデータとを座標毎に二乗平均でデータを合成するデータ合成工程とで欠陥検査方法を構成している。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ユーザごとの判定条件を用いる事で歩留まり向上、製造コスト低下、生産性を大幅に改善することにある。
【解決手段】光学表示装置の部材である光学フィルムを少なくとも有するシート状製品を構成する単層体及び／又は積層体であって、シート状製品表面の保護層が設けられていない状態で当該単層体及び／又は積層体を検査することで得られる欠点に関する欠点情報を取得する欠点情報取得手段と、前記欠点情報取得手段で取得された欠点情報を解析し、良品か否かを判定する条件である判定条件に従って、シート状製品原反の切断位置情報を算出する切断位置情報算出手段とを備える検査データ処理装置である。 （もっと読む）

【課題】 精度よく且つ効率よい検査が可能な検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】 透明部材もしくは半透明部材を含む検査対象物の法線方向からずれた観察位置に対して、検査対象物の後方に配置された第１単色体と、検査対象物を照明するとともに、検査対象物の前方において観察位置で観察される検査対象物に自身の像が映りこまない位置に配置された光源と、検査対象物の前方において観察位置で観察される検査対象物に自身の像が映り込む位置に配置された第２単色体と、を備えたことを特徴とする検査装置。 （もっと読む）

【課題】所定の繰り返しピッチで連続して生産される部品の画像検査において，その画像検査の実施状態を知ることが可能となる技術を提供する。
【解決手段】画像検査装置１０において，マッチング処理部１４１は，入力された検査画像のフレームから部品を検出し，検出された部品の位置と相関値とを取得する。フレーム間部品対応検出部１５１は，連続する２つのフレーム間で類似する部品の対応を検出する。対応部品位置差分算出部１５２は，対応部品間の検出位置の差分である対応部品位置差分を算出する。対応部品位置差分統計部１５３は，対応部品位置差分を統計した移動量ヒストグラムを作成する。部品移動量推定部１５５は，移動量ヒストグラムから連続するフレーム間での部品の移動量を推定する。画像検査実施状態判定部１５０は，部品の移動量の推定結果から，画像検査が適切に実施されているか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】被写体からの光の直交する偏光成分を分離し結像させた重像の画像信号から、直交する偏光成分の像間の強度比を算出するに際し、計算を単純化し演算時間を短縮する。
【解決手段】複屈折特性を有する複屈折光学素子１３により、被写体１からの光Ｂを偏光方向が直交する常光線（Ｏ光線Ｂ_ｏ）と異常光線（Ｅ光線Ｂ_ｅ）とに分離し、マトリクス状に画素が配列された固体撮像素子１１の異なる位置にそれぞれＯ光線像Ｉ_ｏおよびＥ光線像Ｉ_ｅとして結像させる。ここで、Ｏ光線像Ｉ_ｏとＥ光線像Ｉ_ｅとの相対的変位方向である重像間変位方向Ｓ_２と、固体撮像素子１１の画素配列の一方向（ｘ方向）とが一致するように、複屈折光学素子が配置される。固体撮像素子１１より得られるＯ光線像Ｉ_ｏとＥ光線像Ｉ_ｅとが重ね合わされた像の信号、および、重像間変位量算出部２３により算出される重像間変位量Ｄ_ｘに基づき、Ｏ光線像Ｉ_ｏとＥ光線像Ｉ_ｅとの強度比を算出する。 （もっと読む）

【課題】大型の基板に対しても正確な検査を可能にする。
【解決手段】基板検査装置１は、基板Ｗを支持する基板搬送面を形成する複数の浮上プレート１３２が短手方向に互いに所定幅の隙間を空けて配列する搬送ステージ１３１と、基板搬送面より下方に配置され、隣り合う浮上プレート１３２の間から基板Ｗを照明する投下照明１３８と、搬送ステージ１３１の上方を該搬送ステージ１３１に対して水平に移動可能な光学ユニット１６と、搬送ステージ１３１上の基板Ｗを短手方向に所定距離移動させるシフト機構１３５ａおよび１３５ｂと、を備える。 （もっと読む）