【課題】感応膜に配置された水溶液などの被検査流体に含まれる生体関連物質の電気的特性を検出し、顕微鏡などの観察機器によって、かつ、高倍率によって被検査流体に含まれる生体関連物質を観察するバイオセンサを提供する。
【解決手段】基材１０と、基材１０上に積層された透明半導体膜２０と、透明半導体膜２０の両端に形成されたソース電極３０ａ及びドレイン電極３０ｂと、透明半導体膜２０とソース電極３０ａ及びドレイン電極３０ｂとを覆うように積層される絶縁膜４０と、絶縁膜４０上に積層される感応膜５０と、感応膜５０の両端に形成され、当該感応膜５０上にサンプルが含まれる水溶液または培養液などの被検査流体１００を滞留させ、感応膜５０に生体関連物質２００を配置させるために被検査流体１００を所定の領域内に滞留させるための隔壁６０と、を有している。 （もっと読む）

【課題】迅速かつ安価にターゲットを解析する。
【解決手段】凹部２は、深堀エッチングにより半導体基板１上に形成されている。センサ部５は、凹部２内に形成された電界効果デバイスであって、ゲート領域にセットされたターゲットの試薬に対する反応に応じて電気的特性を変化させる。ポンプ部６Ａ、６Ｂは、センサ部５に対する試薬を含む液体の供給及び排出の少なくとも一方を行うために凹部２内に形成されている。カバー部３は、凹部２を覆うように半導体基板１に張り合わされ、凹部２に対する液体の注入口と排出口とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】製造工程の負担を低減するとともに、デバイス毎の特性の差異を低減する電界効果トランジスタ、その製造法、及びバイオセンサを提供する。
【解決手段】ソース電極３及びドレイン電極４を形成しさえすれば、その表面に自然に酸化チタン膜が形成され、ソース電極３及びドレイン電極４の表面が酸化チタン膜９により被膜されることから、従来行われてきたソース電極102及びドレイン電極103を絶縁性エポキシ樹脂107で別途覆う被膜作業が不要となり、その分だけ製造工程を簡単にでき、かくして製造工程の負担を低減できる。また、ソース電極３及びドレイン電極４に皮膜される酸化チタン膜９が空気中で自然酸化して形成されることから、酸化チタン膜９の膜厚を非常に薄く均一に形成でき、検出層７の表面にはみ出す酸化チタン膜９の膜厚がデバイス毎に一定となることで、検出層７の表面を一定の面積にでき、かくしてデバイス毎の特性の差異を低減できる。 （もっと読む）

【課題】製造コストが低いと共に、センサの特性のばらつきを抑制しながら、センサの感度を向上させることが可能なセンサ等を提供する。
【解決手段】本発明に係るセンサ１は、半導体基板３と、半導体基板３上に設けられた半導体領域５と、半導体領域５の上面に設けられたソース電極７及びドレイン電極９と、半導体基板３の裏面３ｂ上に設けられたバックゲート電極１１とを備え、半導体基板３と半導体領域５とはｐｎ接合Ｊを構成し、半導体領域５の上面５ｕの少なくとも一部５ｅには、複数の孔部１５が形成されており、複数の孔部１５は、それぞれ、半導体領域５の上面５ｕから半導体基板３に向かって延びると共に、半導体基板３には至っておらず、半導体領域５の上面５ｕの少なくとも一部５ｅ及び複数の孔部１５の側面１５ｓは、オープンゲート５ｇを構成していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】化学センサにおいて、被検出物質の安定した検出ができるようにする。
【解決手段】第１導電型のドレイン領域と第１導電型のソース領域との間に第２導電型のチャネル領域が形成された第１半導体領域と、第２導電型のチャネル領域上に形成された感応膜と、を含み、液体中の被検出物質を検出する感応素子と、第２導電型のチャネル領域の電位を制御し、且つフローティング化する制御機構と、を具備する。感応素子の第２導電型のチャネル領域を所定電位に接続した後フローティング化して、感応素子のドレイン電流を計測する。 （もっと読む）

【課題】化学センサにおいて、被検出物質の検出感度を向上する。
【解決手段】化学センサは、液体中の被検出物質を検出するための感応素子を具備し、この感応素子は、第１導電型のドレイン領域と第１導電型のソース領域との間に第２導電型のチャネル領域が形成された第１半導体領域と、第１導電型のドレイン領域及び第１導電型のソース領域を支持する基板層と、第２導電型のチャネル領域上の表面側と裏面側の両方に形成された感応膜と、を含む。基板層と第２導電型のチャネル領域上の感応膜との間には空隙が形成されている。 （もっと読む）

【課題】電界効果トランジスタを備えたバイオセンサでありながら、周囲温度や明るさなどの外部環境に係わらず精確な検出が実現できるバイオセンサを提供すること。
【解決手段】シリコン基板と、前記シリコン基板面に形成された酸化シリコン膜と、前記酸化シリコン膜上に配置されたソース電極およびドレイン電極ならびにソース電極とドレイン電極とを接続するチャネルと、前記チャネルを制御可能なゲート電極と、を含む電界効果トランジスタ素子を２以上具備するバイオセンサであって、前記２以上の電界効果トランジスタ素子の一つは、被検出物質認識分子が固定される反応場が配置された電界効果トランジスタ素子Ａであり、かつ前記２以上の電界効果トランジスタ素子の他の一つは、被検出物質認識分子が固定されない反応場が配置された電界効果トランジスタ素子Ｂである、バイオセンサ。 （もっと読む）

【課題】化学センサにおいて、被検出物質の安定した検出ができるようにする。
【解決手段】第１ドレイン領域と第１ソース領域との間に第１チャネル領域が形成された第１半導体領域と、第１チャネル領域上に形成された第１ゲート絶縁膜と、第１ゲート絶縁膜上に形成された第１ゲート電極と、第１ゲート電極上に形成された感応膜と、を含む感応素子、及び、感応素子の第１ゲート電極の電位を制御し且つフローティング化する制御機構を具備する。 （もっと読む）

【課題】電界効果トランジスタを備えたバイオセンサであって、ソース−ドレイン電流が安定するまでの待機時間を短縮したバイオセンサを提供すること。
【解決手段】シリコン基板と、前記シリコン基板面に形成された酸化シリコン膜と、前記酸化シリコン膜上に配置された配置されたソース電極およびドレイン電極ならびにソース電極とドレイン電極とを接続するチャネルと、ゲート電極と、を含む電界効果トランジスタ素子を備えたバイオセンサであって、前記複数の電界効果トランジスタのチャネルは複数であり、前記ソース電極と前記ドレイン電極との間に並列に接続されている、バイオセンサ。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノチューブ電界効果トランジスタを含む集積回路であって、その製造プロセスにプラズマ環境下での工程が含まれていても、優れた特性のカーボンナノチューブ電界効果トランジスタを維持する手段を提供する。
【解決手段】１の半導体基板上に配置された、電界効果トランジスタと、ＭＯＳトランジスタと、前記電界効果トランジスタと前記ＭＯＳトランジスタとを接続するメタル配線と、を含む集積回路であって：前記電界効果トランジスタは、ゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上に形成されたカーボンナノチューブを含むチャネルと、前記カーボンナノチューブを被覆する絶縁保護膜と、前記絶縁保護膜上であって前記チャネルを覆う領域に配置された金属膜と、前記チャネルに接続されたソース電極およびドレイン電極と、前記チャネルを制御可能なゲート電極とを有し、ここで前記メタル配線は、プラズマエッチング法により形成された配線である、集積回路。 （もっと読む）