【課題】従来のＰＩベースＡＦＭコントローラ又はＰＩＤベースＡＦＭコントローラよりも精巧なＡＦＭコントローラを設計するための自動方法を提供する。
【解決手段】原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）１００が、物理システムと、複数のデジタルフィルタを備え、物理システムを制御するように構成されたコントローラ１３５とを備える。ＡＦＭ１００は、物理システムの周波数応答及びコントローラ１３５の周波数応答によって規定されるループ応答に対して自動ループ整形を実施し、ループ応答の大きさのピークに従ってコントローラ１３５の利得を調整することによって調節される。 （もっと読む）

【課題】広いダイナミックレンジにわたって高感度かつ定量性の良いトンネル抵抗の測定を可能とするトンネル抵抗を利用した走査型トンネル顕微鏡を提供する。トンネル抵抗を利用した走査型トンネル顕微鏡における安定なフィードバック制御を可能とする。
【解決手段】試料５を載置可能とする試料載置台２と、試料５と試料５に離間して対向配置される探針３との間のトンネル抵抗R_ｔ、トンネル抵抗R_ｔに並列接続されたマッチング抵抗R_mを含む共振回路１０と、共振回路１０に接続される方向性結合器１２と、方向性結合器１２を介して共振回路１０に高周波信号を送信する高周波入出力装置１４と、共振回路１０から方向性結合器１２を介して反射信号を受信する反射測定装置１６とを有する走査型トンネル顕微鏡１。 （もっと読む）

【課題】探針やサンプルの破損等を防止し、走査時間を短縮可能な、高分解能な表面性状測定装置を提供する。
【解決手段】探針とサンプルを、任意の測定点において近接または接触させて測定データを取得した後、それらを離間させると共に次の測定点に相対的に走査して、再び近接または接触させて測定データを取得する動作を繰り返しながら複数の測定点でサンプル表面の形状または物性を計測する表面性状測定装置の走査方法において、探針４とサンプル１１を走査したときにサンプル上の凸部１１ａに対峙する探針の側面４ｇを探針先端を通るサンプル表面への垂線２０に対して探針先端４ａから探針末端４ｈに掛けてサンプル上の凸部方向に広がるように垂線２０に対して任意の角度θで傾斜させ、測定点間の距離をΔｘ、探針とサンプルの離間量をΔｈとした場合に、Δｈ＞Δｘ／ｔａｎθの条件を満たすように探針４とサンプル１１の離間量を設定した。 （もっと読む）

【課題】比較的高速でスキャンしかつ適当な画像品質を維持する。
【解決手段】原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）用の装置は、軸に沿ってカンチレバー３０１を移動するように構成された第１のアクチュエータ３１０と、この軸に沿ってカンチレバーを移動するように構成された第２のアクチュエータ３１１と、増幅器３０８と、この増幅器３０８と第１のアクチュエータ３１０及び第２のアクチュエータ３１１との間に接続されたクロスオーバ回路網３０９とを具備する。このクロスオーバ回路網３０９は、第１の駆動信号を第１の周波数範囲で第１のアクチュエータ３１０に与え、また第２の駆動信号を第２の周波数範囲で第２のアクチュエータ３１１に与えるように適合される。 （もっと読む）

【課題】
走査プローブ顕微鏡において，走査時に走査機構の非駆動方向すなわち上下方向の変動により、試料のプロファイルを高精度に測定することが，困難であった。
【解決手段】
試料ステージ側の裏側に試料ステージの水平方向走査時の非駆動方向への上下動を測定するための高精度変位計を備え、この結果によって、探針による試料表面形状測定結果を補正することで、試料のnm以下のオーダ精度をもつ高精度な平坦性評価を可能とした。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、効率的に真のスペクトル情報を得ることのできる近接場分光装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 試料２４の近接場スペクトル情報を得る際は該試料２４とプローブ１２先端を近接場２５領域内の所定距離に近接させ、バックグラウンドスペクトル情報を得る際は近接場領２５域外の所定距離に離隔させるＺ軸走査手段１８，２０と、近接場スペクトル情報よりバックグラウンドスペクトル情報を差し引き、該バックグラウンドが除去された真の近接場スペクトル情報を得る演算手段４６と、を備え、該バックグラウンド情報取得手段は試料２４とプローブ１２先端を近接場領域２５外の所定距離に離隔中に、対応する測定部位のバックグラウンドスペクトル情報を得ることを特徴とする近接場分光装置１０。 （もっと読む）

【課題】本発明は走査プローブ顕微鏡を用いた試料の磁気力測定方法及び装置に関し、任意のリフト量を設定した際、最適なカンチレバ加振電圧を自動的に求めることができる走査プローブ顕微鏡を用いた試料の磁気力測定方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】走査プローブ顕微鏡で、試料表面の形状を測定後、試料２０とカンチレバ１間の距離を変化させて試料表面の磁気力測定を行なう磁気力測定装置において、磁気力測定の前に、カンチレバ１の加振電圧と試料２０とカンチレバ間の距離の関係を求めて記憶しておく記憶手段と、試料２０のリフト量を設定して磁気力測定を行なう際、設定したリフト量に対応するカンチレバ加振電圧を前記関係から求めて現加振電圧を修正する加振電圧修正手段、とを具備して構成される。 （もっと読む）

【課題】走査要素が方向変更点のような、走査方向が急速に変化する点における歪み及び人為的欠陥を回避する。
【解決手段】走査型プローブ顕微鏡用の迅速平行移動ステージが提供される。該ステージは、平行移動ステージの自然の共振周波数にて駆動される少なくとも１つの平行移動の軸線を有し、走査方向の急速な変化に関係した歪みが回避される。１つの実施の形態において、該ステージは、好ましくは１つ又はより多くのピエゾアクチュエータ要素により駆動され、その共振周波数にて迅速走査周波数に沿って平行移動する試料板又は支持体を有している。 （もっと読む）

【課題】走査型プローブ顕微鏡の物性測定において、コンタクトモードの汎用性を維持しつつ、非接触モードやポイントコンタクトモードのように、常時探針と試料表面の接触を伴わない新たな走査方法を実現する装置及びその走査方法を提供する。
【解決手段】試料表面の測定点に対して、測定中のみ探針を試料表面に接触させその状態を維持し、かつ、測定信号の安定化を待ってデータ採取し、次の測定点への移動は探針を試料表面から所定の距離だけ離間させるようにした。 （もっと読む）

【課題】走査型プローブ顕微鏡の走査方法をコンピュータに実行させる指示を生成するプログラムにおいて、コンタクトモードの汎用性を維持しつつ、非接触モードやポイントコンタクトモードのように、常時探針と試料表面の接触を伴わない新たな走査方法を実施可能とするプログラムを提供する。
【解決手段】試料表面の測定点に対して、測定中のみ探針を試料表面に接触させその状態を維持し、かつ、測定信号の安定化を待ってデータ採取し、次の測定点への移動は探針を試料表面から所定の距離だけ離間させるようコンピュータに実行させる指示を生成するプログラムとした。 （もっと読む）