【課題】初期面間隔から波長制御に必要とされる面間隔の範囲まで光学基板を高速且つ確実に移動可能な可変分光素子の提供。
【解決手段】一対の光学基板１，１’、光学基板間の静電容量を検出するセンサ２、光学基板の面間隔を変化させるアクチュエータ３、一対の光学基板の面間隔の目標値生成部４、一対の光学基板の面間隔の現在値を検出する面間隔検出部５、一対の光学基板の面間隔の目標値と現在値との差分値に基づき、ＰＩＤ制御により一対の光学基板の駆動量を算出する駆動量算出部６、算出した駆動量に基づく駆動電圧をアクチュエータに印加しうる駆動指令部７を備えた可変分光素子であって、面間隔検出部が検出した一対の光学基板の面間隔の現在値が初期面間隔から波長制御に必要とされる所定面間隔に到達するまでの間と到達した後とで、一対の光学基板の駆動制御方法を異ならせる駆動制御方法切替部８を有する。 （もっと読む）

【課題】画像品質の改良と、電力消費の削減とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイを提供する。
【解決手段】シャッタベースの光変調器を組み込んだディスプレイ装置が、そのような装置を製造する方法とともに開示される。本方法は、当業界で周知の薄膜製造プロセスと互換性があり、より低い消費電力を有するディスプレイをもたらす。 （もっと読む）

【課題】改良された画像品質と、低減された消費電力の直視型ＭＥＭＳディスプレイを提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ光変調器のアレイ７０２と、ドライバ７０８、７１０、７１４とアレイ内の各光変調器の状態を制御するためのコントローラ７０４とを含む。コントローラ７０４は、表示のために画像フレームを符号化した画像データを受信し、画像データから、複数のサブフレームデータセットを導き出し、サブフレームデータセット内で示された状態にするために、出力シーケンスに従って複数のサブフレームデータセットをドライバ７０８、７１０、７１４に出力する。ドライバ７０８、７１０、７１４は、データおよび作動電圧をアレイ７０２に伝える。 （もっと読む）

【課題】赤外線をチョッピングし得る領域を十分に広くする。
【解決手段】支持基板２０と、赤外線透過薄膜積層体２３と、基板２０の厚み方向で積層体２３に対向配置されて「機構側支持部」によって支持された赤外線透過薄膜積層体２５とを有し、導電性材料でそれぞれ形成された両積層体２３，２５の間に電圧が印加された状態において両積層体２３，２５が光学的に一体化して厚み方向に赤外線ＩＲを透過させ、かつ、電圧が印加されない状態において両積層体２３，２５の間にギャップ２８が形成されて赤外線ＩＲを反射すると共に、「機構側支持部」が、積層体２５の外縁領域に設けられた支持枠２４ａと、積層体２５の内側領域に設けられた支柱２４ｂとを備え、電圧が印加された状態において、積層体２５の「機構側支持部」によって支持されていない部位が積層体２３に接して両積層体２３，２５が光学的に一体化する。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ（ＴＨｚ）帯域を含む広域の電磁波を発生させることができ、出力電磁波の波長制御が可能な電磁波発生器及び光シャッタを提供する。
【解決手段】互いに離隔されて対面するように配された２つの電極、２つの電極間に配された帯電可能粒子、及び２つの電極間で、帯電可能粒子を取り囲むように配されたチャンバを含む電磁波発生器である。該電磁波発生器の２つの電極に直流電圧が印加され、２つの電極間に電場を発生させれば、帯電可能粒子が帯電される。それにより、帯電された粒子は、２つの電極間を往復するが、そのような帯電された粒子の移動によって電磁波が発生する。出力電磁波の波長は、２つの電極間の電位差を調節することによって制御することができる。 （もっと読む）

【課題】専用装置を必要とせず、製造スループットを低下させることなく端子上のパッシベーション膜を除去した表示装置を提供すること。
【解決手段】本発明の表示装置は、基板上にマトリクス状に配置され、スイッチング素子及びスイッチング素子によって駆動されるＭＥＭＳシャッターを有する複数の画素と、基板上に配置され、外部端子と接続される複数の端子と、
を含む。ＭＥＭＳシャッターは、開口部を有するシャッター、シャッターに接続された第１バネ、第１バネに接続された第１アンカー、第２バネ、及び第２バネに接続された第２アンカーを有し、シャッター、第１バネ、第２バネ、第１アンカー及び第２アンカーの基板の表面に対して垂直方向の面に絶縁膜を有し、複数の端子の表面、並びにシャッター、第１バネ、第２バネ、第１アンカー及び第２アンカーの基板の表面に対して平行方向であり且つ基板に対面する側と反対側の面には、絶縁膜がない。 （もっと読む）

【課題】改良された画像品質と、削減された電力消費とのために、高速に、かつ低電圧で駆動されることが可能な、機械的に作動させられるディスプレイ装置を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳベースの光変調器（シャッタ組立体１０２ａ〜１０２ｄ）の動きを制御するための制御マトリクス（書き込み許可相互接続１１０と、データ相互接続１１２と、共通相互接続１１４を含む。）を利用して、ディスプレイ装置１００上に画像を形成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、マスクレス加工装置に関する。
【解決手段】本発明のマスクレス加工装置は、基板に照射される光を提供する照明光学系と、多数の光変換素子で構成され、前記照明光学系から照射された光を加工パターンに応じて選択的に反射または透過するように当該光変換素子を調節して光量を変換する空間光変調器と、前記多数の光変換素子が前記基板の一つのピクセルに対応して集光するように配列され、前記空間光変調器により変換された光が入射されると、当該ピクセルに前記多数の当該光変換素子によって提供された高エネルギーの光を投射する投射光学系と、前記加工パターンの入力を受け、入力された加工パターンに応じて、前記光源から照射された光を前記多数の光変換素子によって選択的に変換されるように前記空間光変調器を制御する制御部と、を含み、デジタルマスクを用いることにより、マスク使用によるコストが低減し、加工しようとする対象のスケール変形に対する能動的な対応が容易であるだけでなく、前記装置の活用度及び利用度が拡大される。 （もっと読む）

【課題】機械的な接触を発生させずにシャッターを駆動し、透過する光の量を制御するＭＥＭＳ表示装置を提供する。
【解決手段】データドライバにより電位が供給される複数のデータ線とゲートドライバにより電位が供給される複数のゲート線との交点のそれぞれに対応する画素素子を基板に有する表示部を備える表示装置であって、前記画素素子は、前記基板に形成された基板接続部と、前記基板の上に形成されたシャッターと、前記基板接続部と前記遮光部の側面とを接続するビームと、前記シャッターの前記側面の反対側に形成された外縁と離れて前記基板に形成された電極とを備えていることを特徴とする表示装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】可動シャッタ方式のディスプレイにおいて、可動シャッタを、低応力で安定したアモルファスシリコン膜で形成する。
【解決手段】第１基板と、第２基板とを有する表示パネルを有し、前記表示パネルは、複数の画素を有し、前記各画素は、可動シャッタと、前記可動シャッタを駆動する駆動回路とを有し、前記可動シャッタは、アモルファスシリコンで構成される表示装置であって、前記可動シャッタの前記アモルファスシリコンは、少なくとも２つのアモルファスシリコン膜で構成され、前記少なくとも２つのアモルファスシリコン膜の中で、互いに隣接する２つのアモルファスシリコン膜を、アモルファスシリコン膜Ａと、前記アモルファスシリコン層Ａ上に積層されるアモルファスシリコン膜Ｂとするとき、アモルファスシリコン膜Ａと前記モルファスシリコン膜Ｂとは、特性値が異なっている。 （もっと読む）