【課題】ＵＶ−ｉ線での感光特性及び有機薄膜に対する接着性に優れ、２５０℃以下での
低温硬化が可能であり、この加熱硬化の過程での体積収縮が極めて小さく、更に加熱硬化
後の樹脂構造体および樹脂膜において、低デガス性に優れる新規なポリオルガノシロキサ
ン組成物を用いた半導体装置の提供。
【解決手段】基材上に、特定のポリオルガノシロキサン組成物を塗布して塗布膜を得る工程、
パターニングマスクを介して該塗布膜に活性光線を照射し露光部を光硬化させる工程、現像液を用いて該塗布膜の未硬化の部分を除去する工程該基材ごと加熱する工程からなる方法によって得られるポリオルガノシロキサン硬化レリーフパターンを含む半導体装置。 （もっと読む）

【課題】硬度が高く、基材や下地などとの密着性が優れ、耐熱性および耐酸性が高く、波長４００ｎｍ付近の透過率が高い感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】式（１）の構造成分を含む共重合体樹脂（Ａ）と、光重合開始剤（Ｂ）及び、無機酸化物微粒子（Ｃ）を含有する感光性樹脂組成物。式（１）：
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【解決手段】（Ａ）式（１）で示される繰り返し単位を有するエポキシ基含有高分子化合物、


（Ｂ）光酸発生剤：特定構造のスルホニウム塩を含有する光硬化性樹脂組成物。
【効果】平坦な基板上及び凹凸のある基板において、上記エポキシ基含有高分子化合物のエポキシ基同士が架橋し、幅広い波長領域の光で、幅広い膜厚に亘り微細なパターン形成を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、異なる高さの硬化物を同一材料で一括形成するために用いられる感光性樹脂組成物であって、硬化物をそれぞれ所望の高さに形成でき、かつ、優れた高さ均一性を達成できる感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】
異なる高さの硬化物を同一材料で一括形成するために用いられる感光性樹脂組成物であって、親水性エポキシ樹脂（Ａ）、多官能（メタ）アクリレートモノマー（Ｂ）、アシルフォスフィンオキサイド系光ラジカル重合開始剤（Ｃ１）およびアセトフェノン系光ラジカル重合開始剤（Ｃ２）、並びに２個以上の加水分解性アルコキシ基を有するポリシロキサン（Ｄ）を含有することを特徴とするアルカリ現像可能なフォトスペーサ用感光性樹脂組成物（Ｑ）。 （もっと読む）

【課題】 長期の室温放置安定性に優れ、さらに、露光量が比較的少なくても、精度よくパターン形成できる感光性樹脂組成物、パターン精度の高い硬化物が得られるシリカ系絶縁被膜の形成方法を提供すると共に、それを用いた電子部品を提供すること。
【解決手段】 重量平均分子量５０００以上のシロキサン樹脂と、重量平均分子量１０００以下のシラン化合物又はシラン化合物を加水分解縮合して得られる重量平均分子量１０００以下のシロキサンオリゴマーと、光酸発生剤又は光塩基発生剤と、上記シロキサン樹脂を溶解可能な溶媒とを含有する感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】ウォーターマーク欠陥を減少させると共に、良好な形状のレジストパターンを形成可能とするレジスト組成物、並びに、それを用いたレジスト膜及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）酸の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂と、（Ｂ）活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物であって、下記一般式（Ｉ）又はビス（アルキルスルホニル）イミドアニオン、トリス（アルキルスルホニル）メチドアニオンを有するオニウム塩と、（Ｃ）フッ素原子及びケイ素原子の少なくとも一方を含んだ樹脂と、（Ｄ）第１の溶剤と第２の溶剤とを含んだ混合溶剤であって、前記第１及び第２の溶剤の少なくとも一方は標準沸点が２００℃以上である混合溶剤とを含有するレジスト組成物。
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【課題】露光光に対し高感度で硬化し、優れた膜内部硬化性を有する光重合性組成物の提供。
【解決手段】下記一般式（１−１）及び（１−２）で表される化合物から選択された少なくとも１種の化合物と、重合性化合物と、を含有する光重合性化合物。一般式（１−１）又は（１−２）中、Ｒ^３は、−Ｓ−、−Ｎ（Ｒ^８）−等を表し、Ｚ^１はシランカップリング基等から選択される相互作用性基を表す。
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【課題】感光性平版印刷版の露光後の感光層と支持体との接着性を良好に維持すること
【解決手段】少なくとも１つのエチレン性不飽和、少なくとも１つの親水性部位及び少なくとも１つのシリルオキシ基を有する有機化合物によって表面改質されている変性シリカ粒子を感光性平版印刷版の感光層に配合する （もっと読む）

【課題】 高感度で火膨れが生じにくい、すなわちラチチュードの広い直描型水なし平版印刷版原版を提供すること。
【解決手段】 基板上に少なくとも感熱層およびシリコーンゴム層をこの順に有する直描型水なし平版印刷版原版であって、該感熱層に非感光性粒子を含み、該非感光性粒子の平均粒径が、非感光性粒子が存在しない部分の感熱層平均膜厚の１／２倍以上であることを特徴とする直描型水なし平版印刷版原版。 （もっと読む）

【課題】露光に対し光感度で硬化し、優れた膜内部硬化性および支持体との密着性に優れ、パターン形状が良好であり、且つ、現像後に残渣が少ないパターニング硬化膜を形成可能な光重合性組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）下記一般式（１）で示される繰り返し単位を有するオキシム光重合開始剤ポリマーと（Ｂ）重合性化合物とを含有する光重合性組成物。下記一般式（１）中、Ｒ^１は水素原子またはアルキル基、Ｒ^２は水素原子、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルキルカルボニル基などを、Ｒ^３はアリール基、又はヘテロアリール基を示す。Ｒ^２とＲ^３は互いに結合して環構造を形成してもよい。Ｘ^１は単結合か２価の有機基を示す。Ａは単結合またはカルボニル結合を示す。
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