国際特許分類[G03F7/075]の内容
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国際特許分類[G03F7/075]に分類される特許
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感光性シロキサン組成物、それから形成された硬化膜、および硬化膜を有する素子
【課題】高耐熱性、高透明性の特性を有し、かつ耐薬品性が良好な硬化膜を得ることができる感光性シロキサン組成物の提供、および、上記の感光性シロキサン組成物から形成されたTFT基板用平坦化膜、タッチパネル用絶縁膜などの硬化膜、およびその硬化膜を有する表示素子などの素子の提供。
【解決手段】(a)オルガノシランの1種以上を反応させることによって合成されるポリシロキサン、(b)キノンジアジド化合物、(c)溶剤、および(d)一般式(2)で表されるフルオレン化合物を含有する感光性シロキサン組成物。
(式中、R1、R2はエポキシ基、アクリル基、またはメタクリル基から選ばれるいずれかの基を有する有機基であって、R1、R2はそれぞれ同じであっても、異なっていても良い。)
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カラーフィルタ用着色組成物、カラーフィルタ及びカラー液晶表示素子
【課題】着色剤として染料を用いた場合であっても、耐熱性、耐溶剤性が良好な着色パターンを形成することができる着色組成物を提供すること。
【解決手段】(A)着色剤、(B)バインダー樹脂、及び(C)2個以上のエポキシ基と、ケイ素原子に結合する2個以上のアルコキシ基を有する架橋剤を含有することを特徴とするカラーフィルタ用着色組成物。
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感光性接着剤組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及び被接着部材の接着方法
【課題】透湿率、吸湿率を充分に低く抑えつつ、解像性、密着性、接着強度に優れた感光性接着剤組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及び被接着部材の接着方法を提供すること。
【解決手段】(A)下記一般式(1)で表わされるポリアミドと、(B)エチレン性不飽和基を有する上記ポリアミド以外の光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)エポキシ樹脂と、を含有する感光性接着剤組成物。
[化1]
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液浸露光用感放射線性樹脂組成物、硬化パターン形成方法及び硬化パターン
【課題】水等の液浸露光用液体を介してレジスト膜を露光する液浸露光プロセスに好適に用いられる液浸露光用感放射線性樹脂組成物、硬化パターン形成方法及び硬化パターンを提供する。
【解決手段】本発明の液浸露光用感放射線性樹脂組成物は、式[R1aSiX4−a]で表されるシラン化合物、及び式[SiX4]で表されるシラン化合物から選ばれる少なくとも1種を加水分解縮合させて得られる構造を有し、且つGPCによる重量平均分子量が1000〜200000であるケイ素含有重合体と、フッ素含有重合体と、酸発生剤と、溶剤とを含有する〔尚、各式におけるR1はフッ素原子、アルキルカルボニルオキシ基、又は炭素数1〜20のアルキル基を示し、Xは塩素原子、臭素原子又はOR(R:1価の有機基)を示し、aは1〜3の整数を示す。〕。
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ポジ型感光性組成物及び永久レジスト
【課題】透明性に優れ、アクティブマトリクス基板の絶縁膜としても使用できる高度の耐熱性、高熱履歴後の耐薬品性を有する永久レジストを提供できるポジ型感光性組成物、このポジ型感光性組成物を用いた永久レジスト及び永久レジストの製造方法を提供すること。
【解決手段】(A)成分として、特定の環状シロキサン化合物と特定のアルコキシシラン化合物とをシラノール基が残存するように加水分解・縮合反応させて得られるポリシロキサン化合物、(B)成分として、エポキシ基を少なくとも2つ有する化合物、(C)成分として、ジアゾナフトキノン類、及び(D)成分として有機溶剤を含有するポジ型感光性組成物。
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感光性樹脂組成物、及びそれを用いたシリカ系被膜の形成方法、並びにシリカ系被膜を備えた装置及び部材
【課題】層間絶縁膜としてシリカ系被膜の形成が容易で保存安定性に優れ、比較的安価で、耐熱性、クラック耐性、解像性及び透明性に優れる感光性樹脂組成物、それを用いたシリカ系被膜の形成方法、シリカ系被膜を備える半導体装置、平面表示装置及び電子デバイス用部材の提供。
【解決手段】下記一般式(1)で表される化合物を含む第1のシラン化合物を加水分解縮合して得られる第1のシロキサン樹脂と、下記一般式(2)で表される化合物を含む第2のシラン化合物を加水分解縮合して得られる第2のシロキサン樹脂とを混合し、さらに加水分解縮合して得られる重量平均分子量が8000〜300000であるシロキサン樹脂と、溶媒と、ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルとを含有する感光性樹脂組成物。
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硬化性組成物および硬化物
【課題】 フォトリソグラフィーにおいて優れたパターニング性を示し、かつ得られた膜は優れた絶縁性と耐熱耐光性を有する硬化物を与える硬化性組成物および硬化物を提供すること。
【解決手段】
必須成分として、(A)一分子中にSiH基および光重合性官能基を有するポリシロキサン系化合物、 (B)アルケニル基含有化合物、 (C)光活性型白金錯体触媒、 (D)光重合開始剤を含有する硬化性組成物。この構成により、得られる硬化物は当初の目的である優れた絶縁性と耐熱耐光性を有する硬化物となる。
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感放射線性組成物
【課題】解像度に優れており、且つ所望形状のパターンを精度良く形成することのできる感放射線性組成物を提供する。
【解決手段】本発明の感放射線性組成物は、(A)ポリシロキサンと、(B)1価の陰イオンを2個以上有する構造、及び1価の陽イオンを2個以上有する構造のうちの少なくとも一方を分子内に有する化合物と、(C)溶剤と、を含有する。
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ポジ型感放射線性組成物、層間絶縁膜及びその形成方法
【課題】優れた耐熱性及び透明性に加え、塗布ムラのない高度な平坦性(膜厚均一性)を有する層間絶縁膜を形成することができ、かつ高速での塗布が可能で、高い放射線感度を有するポジ型感放射線性組成物の提供。
【解決手段】[A]同一又は異なる重合体分子中にアセタール基もしくはケタール基を含む構造単位とエポキシ基含有構造単位とを有する重合体、[B]光酸発生体、並びに[C](c1)下記式(2)で表される重合性化合物、(c2)下記式(3)で表される重合性化合物、及び(c3)シロキサン構造を有する重合性化合物に由来する構造単位を少なくとも有する共重合体を含有するポジ型感放射線性組成物。
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湿し水不要平版印刷版の製造方法
【課題】現像工程が簡便な、画線部のピンホールや非画線部の地汚れが低減され、印刷再現性が良好な湿し水不要平版印刷版の製造方法を提供すること。
【解決手段】支持体上に形成された、撥インキ性化合物 と少なくとも1つの反応性官能基を有するインキ親和性化合物を含む連続した表面層を有する印刷版原版の少なくとも1つの領域を露光または加熱する工程(A)、表面層のインキ親和性化合物の少なくとも一部を除去する工程(B)を有することを特徴とする湿し水不要平版印刷版の製造方法。
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