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国際特許分類[G03F7/075]の内容

国際特許分類[G03F7/075]に分類される特許

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【課題】保存安定性があり、加熱焼成し膜とした際、鉛筆硬度HB以上で、膜厚1.5μm以上にしてもクラックを発生させることのない膜を得ることが出来る、アルコキシシランの加水分解および縮合反応によって得られる縮合物を提供する。
【解決手段】一般式(1):Si(ORで表されるアルコキシシランAと、一般式(2):(R)Si(ORで表されるアルコキシシランBと一般式(3):(RSi(ORで表されるアルコキシシランCをモル比で表して、アルコキシシランA:アルコキシシランB:アルコキシシランC=0〜70:30〜100:0〜70の範囲で縮合させたアルコキシシランの縮合物。(Rはメチル基またはエチル基、Rはメチル基、エチル基またはフェニル基である。) (もっと読む)


【課題】光損失が少ない光導波路の製造方法を提供する。
【解決手段】下記(I)〜(III)の工程を含む光導波路の製造方法。(I)基板2上に形成された下部クラッド1上に、下から順に、光ラジカル開始剤及び重合性化合物を含有する光硬化性樹脂組成物層4、並びに水溶性非光硬化性樹脂組成物層3が形成される工程。(II)コア部8を形成するために、フォトマスク6を使用して上記光硬化性樹脂組成物層4を露光する露光工程。(III)上記光硬化性樹脂組成物層4の未露光部分及び上記水溶性非光硬化性樹脂組成物層3をアルカリ現像液で除去するアルカリ現像工程。 (もっと読む)


【課題】 長期の室温(20〜25℃)保存安定性に優れ、さらに高感度で、精度よくパターン形成できるシリカ系感光性樹脂組成物、これを用いたパターン精度の高い硬化物が得られるシリカ系絶縁被膜の形成方法、電子部品を提供する。
【解決手段】 (a)成分:下記一般式(1)で表される化合物を加水分解縮合して得られるシロキサン樹脂、(b)成分:光酸発生剤又は光塩基発生剤からなる群より選択される少なくとも1種、(c)成分:(a)成分を溶解可能な有機溶媒、(d)成分:オニウム塩を必須成分として含有するシリカ系感光性樹脂組成物。
【化1】
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【課題】アルカリ可溶性および感度に優れた感光性シロキサン樹脂組成物とそれを用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】シラノール基またはアルコキシシリル基を有するシロキサン樹脂と、クラウンエーテルと、感光剤と、有機溶剤とを含んでなる感光性シロキサン樹脂組成物。この感光性組成物を基材上に塗布し、像様露光し、アルカリ水溶液で処理し、焼成することによりパターンを形成させる。 (もっと読む)


【課題】耐熱性及び高温熱履歴後の耐薬品性に優れ、現像時の膜減りが少なく、現像工程における現像マージンが大きいポジ型感光性組成物を提供する。
【解決手段】(A)式(1)で表わされる化合物と式(2)で表わされる化合物とを加水分解・縮合反応させて得られる構造からなるシラノール基含有ポリシロキサン化合物、(B)エポキシ含有有機基を少なくとも2つ有する化合物、(C)ジアゾナフトキノン類及び(D)有機溶剤を含有するポジ型感光性組成物。R1はC1〜4アルキル基等、R2はC2〜10の2価炭化水素基、R3はC2〜10の2価飽和脂肪族炭化水素基、Xは特定の一般式で表される基をそれぞれ表す。
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【課題】1液処理が可能であり、耐刷性能が優れた感光層の形成を可能とする感光性組成物、サーマルネガ版用平版印刷版原版、および画像形成方法を提供すること。
【解決手段】下記式(I)〜(III)


で表される繰り返し単位を少なくとも含有し、式(I)、(II)および(III)で表される繰り返し単位の含有量が、それぞれ3〜20質量%、15〜45質量%、および15〜35質量%であるアルカリ可溶性樹脂を少なくとも含有する感光性組成物。 (もっと読む)


【課題】密着性に優れ、電気的信頼性の高いシリカ系被膜の硬化物が得られるシリカ系被膜の形成方法を提供する。
【解決手段】本発明のシリカ系被膜の形成方法は、下記一般式(1)で表される化合物を含むシラン化合物を加水分解縮合して得られるシロキサン樹脂と、光酸発生剤及び光塩基発生剤からなる群より選択される少なくとも1種と、シロキサン樹脂を溶解可能な溶媒と、オニウム塩と、を含有する感光性樹脂組成物を基板上に塗布して被膜を得る工程と、パターンマスクを介して被膜を露光する工程と、露光する工程の後に被膜を加熱する工程と、加熱する工程の後に被膜の未露光部を現像によって除去する工程と、除去する工程の後に残存する被膜に紫外線を照射して、パターンを有するシリカ系被膜を得る工程と、を備える。 (もっと読む)


【課題】保護膜や層間絶縁膜に対する要求特性を高水準でバランスよく両立させた硬化膜を形成可能であり、かつ無機アルカリ現像液でも現像可能な感放射線性組成物の提供。
【解決手段】[A1]下記式(1)で表される加水分解性シラン化合物又はその部分加水分解物と、下記式(2)で表される加水分解性シラン化合物又はその部分加水分解物とを加水分解縮合させて得られるポリシロキサン[B](B1)カルボキシル基を有する構造単位及び(B2)エポキシ基を有する構造単位を含む共重合体、[C]エチレン性不飽和基を2個以上有する化合物(但し成分[A1]を除く)[D]光ラジカル重合開始剤を含有する感放射線性組成物。


〔式中、R1及びR3は炭素数1〜6のアルキル基を示し、R2は炭素数1〜20のアルキル基等を示し、mは0〜3の整数を示し、nは0〜6の整数を示し、xは1〜3の整数を示し、yは1〜6の整数を示し、zは0〜3の整数を示す。〕 (もっと読む)


【課題】レジスト解像性、エッチング耐性に優れるフォトレジスト材料を提供する。
【解決手段】重合性二重結合基を有するポリシロキサンセグメント(a1)と、酸基を有するビニル系重合体セグメント(a2)とが、一般式(3)で表される結合により結合された複合樹脂(A)を含有するフォトレジスト材料であって、前記ポリシロキサンセグメント(a1)の含有率がフォトレジスト材料の全固形分量に対して10〜90重量%であり、且つ前記複合樹脂(A)の固形分の酸価が40〜400KOHmg/gであるフォトレジスト材料。


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【課題】硬化後の硬化物の光沢度、及び耐湿信頼性を高めることができる感光性組成物、並びに該感光性組成物を用いたプリント配線板を提供する。
【解決手段】本発明に係る感光性組成物は、重合性基を有する重合性化合物と、光重合開始剤と、酸化チタンと、フェノール性水酸基と硫黄原子との双方を有する第1の酸化防止剤とを含む。本発明に係るプリント配線板は、回路を表面に有するプリント配線板本体と、該プリント配線板本体の回路が設けられた表面に積層されたソルダーレジスト膜とを備える。上記ソルダーレジスト膜が上記感光性組成物を用いて形成されている。 (もっと読む)


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