【課題】２５０℃以下の低温焼成時においても金属材料、とりわけ銅、金、チタン系金属との接着性に優れた硬化膜を得ることができるポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】（ａ）アルカリ可溶性ポリイミド、（ｂ）一般式（１）で表されるＳ−Ｓ結合含有化合物、（ｃ）キノンジアジド化合物、（ｄ）熱架橋剤および（ｅ）熱酸発生剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物。
【化１】


（一般式（１）中、Ｒ^１、Ｒ^２は炭素数１〜２０の有機基を表す。ｐは２〜６の整数である。） （もっと読む）

【課題】 現像性、シリコンやガラス基板に対する密着性等の感光特性、及び接着強度が良好で、且つ硬化膜の信頼性に優れた感光性接着剤組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及び被接着部材の接着方法を提供する。
【解決手段】 （Ａ）感光性基含有ポリベンゾオキサゾール前駆体と、（Ｂ）分子内にエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ）エポキシ樹脂と、を含む感光性接着剤組成物。 （もっと読む）

【課題】フォトリソグラフィー法によるパターン加工性を有し、透明性に優れ、熱処理や薬品処理後、高温高湿条件下等においても無機材料表面との接着性に優れ、高硬度である硬化膜を得ることができる感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】（Ａ）光重合性モノマー、（Ｂ）透明樹脂、（Ｃ）光重合開始剤及び（Ｄ）溶剤を含有する感光性組成物であって、前記（Ｂ）透明樹脂に、不飽和二重結合及びアルコキシシランを有する化合物とアルコキシシランを有しない不飽和二重結合を有する化合物との共重合体Ａと、不飽和二重結合及びカルボン酸を有する化合物とカルボン酸を有しない不飽和二重結合を有する化合物との共重合体Ｂとの混合物を用いることを特徴とする感光性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィー性を有し、光硬化と加熱硬化とを組み合わせて硬化させることができるシリコーン樹脂組成物を用いることにより所望の硬化薄膜を高精度で容易に形成することができる硬化薄膜の製造方法を提供する
【解決手段】（Ａ）分子中に２つ以上のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン、（Ｂ）分子中にケイ素原子に結合した水素原子を２つ以上有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン、及び（Ｃ）光活性型触媒を含有する光硬化型シリコーン樹脂組成物を硬化させて硬化薄膜を形成する方法であって、
(i)該組成物を基板上に塗布し、(ii)得られた塗膜に光を照射して半硬化状態の薄膜を得、及び(iii)該半硬化状態の薄膜を加熱して完全に硬化する工程を含み、
前記の工程(ii)で照射される光のスペクトルが、３００ｎｍ〜４００ｎｍの波長領域に最大ピークを有し、かつ、３００ｎｍより短い波長領域におけるいずれの波長の光においても分光放射照度が前記最大ピーク波長の光の分光放射照度の５％以下である方法。 （もっと読む）

【課題】優れた表面硬度、付着力及び透過率を提供することができ、産業利用における要求を満たす、層間絶縁膜用及びオーバーコート用の樹脂、並びに感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】本発明の樹脂は、エポキシ構造を含むアクリル系モノマーと、シランを含むアクリル系モノマーと、芳香族環を含むアクリル系モノマーと、前記のアクリル系モノマーとは異なるものから選ばれる不飽和カルボン酸及び／またはその酸無水物とを反応させてなる共重合体である。また、本発明の感光性樹脂組成物は、本発明の樹脂と、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物と、光重合開始剤と、溶剤とを含む。 （もっと読む）

【課題】基板とレジスト膜との密着性を向上させることで、形成された微細なレジストパターンの倒れやスライドを防止することのできるレジストパターン形成方法、並びにそれを用いたナノインプリント用モールド、フォトマスク及び半導体デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】レジストパターン形成方法は、基板上のエネルギー線反応性基を有するシラン化合物を含むシランカップリング層上にネガ型レジスト膜を形成し、レジスト膜にエネルギー線を照射して所定パターン形状の潜像を形成し、エネルギー線が照射されたレジスト膜を現像してレジストパターンを形成するものであり、レジスト膜は、エネルギー線照射でエネルギー線反応性基と結合可能、かつ現像工程後に基板上に残存し得る程度に硬化可能な樹脂成分を含有するものであり、エネルギー線照射でエネルギー線反応性基と樹脂成分とを結合させ、シランカップリング層とレジスト膜とを密着させる。 （もっと読む）

【課題】低温硬化による高信頼のカラーフィルタを提供し、これを用いて液晶表示素子を提供する。
【解決手段】ジケトピロロピロール系顔料、ハロゲン化亜鉛フタロシアニン系顔料、トリアリールメタン系染料およびアゾ系染料の内のいずれかを含む着色パターン６と、シロキサンポリマーを含む第１の感放射線性樹脂組成物から得られる保護膜８と、アルカリ可溶性樹脂並びに下式（１）または下式（２）の化合物の少なくともいずれかを含む第２の感放射線性樹脂組成物から得られるスペーサ９とを用いてカラーフィルタ１０を製造する。カラーフィルタ１０を用いて液晶表示素子１を構成する。
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【課題】本発明は、基板との接着力が増加し、感光性樹脂組成物の現像性を向上させることができる新規のシラン系化合物、これを含む感光性樹脂組成物、これを利用して製造された感光材、およびこれを利用して製造された電子素子を提供する。
【解決手段】本発明のシラン系化合物は下記化学式（１）で表示される；下記化学式（１）において、Ｒ^１は炭素数１〜５のアルキル基であり、Ｒ^２はそれぞれ独立的にハロゲン基または−Ｃ（Ｒ^３）_３であり、Ｒ^３はハロゲン基であり、ａは１〜５である。
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【課題】アダマンタン化合物に由来の基が導入されてなる新規なシスセスキオキサン化合物およびその製造方法を提供すること、低ＬＥＲであり、従って微細なパターンを高精度に、かつ安定して形成することのできるレジスト材料を提供すること。
【解決手段】シスセスキオキサン化合物であってシスセスキオキサン化合物中のＲ1は下記化学式（ａ）で表わされる基を示す。


〔式中、Ｒ²は、アルキル基を示す〕 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガラス基板に対する密着性や弾性回復力に優れた硬化物を得ることのできるアルカリ可溶型硬化性樹脂組成物の提供を課題としている。
【解決手段】アルカリ可溶型硬化性樹脂組成物であって、酸基を導入し得るモノマーを必須モノマーとして含むモノマー成分を、ポリシロキサン結合を有し、かつ、チオール基を２個以上有するメルカプト変性ポリシロキサンの存在下で重合して得られる酸基含有ポリマーの酸基に、ラジカル重合性不飽和二重結合と酸基と反応し得る官能基とを有する化合物を反応させることによって得られる感光性ポリマーと、多官能モノマーと、光重合開始剤とを有することを特徴としている。 （もっと読む）