【課題】ガラス基板２を、連続炉３で所望の温度プロファイルに従って熱処理するための各炉３_１〜３_３の設定温度の調整作業を容易に行えるようにする。
【解決手段】各炉３_１〜３_３の設定温度を変化させたときの連続炉３における各観測点でのガラス基板２の温度変化を、モデルを用いて行列として推定し、この行列の逆行列を用いてガラス基板２の温度が前記各観測点で所望の温度プロファイルの温度になるように、補正値を算出し、この算出値によって、設定温度を補正する。 （もっと読む）

【課題】低温環境下に配置される電子制御機器に使用される低温時電子回路保護装置において、複雑な構成にすることなく、広範囲な入力電流に対応し、電子回路保護装置での消費電力を抑えることを目的とする。
【解決手段】温度スイッチとしてのバイメタルサーモスタット３ａと突入電流抑制抵抗としての抵抗５を交流電源１と電子回路２の間に直列に接続し、さらに抵抗５に並列にバイメタルサーモスタット３ｂを接続し、周囲温度が電子部品の最低動作保証温度以上になるとバイメタルサーもスタット３ａが通電状態になり、さらに周囲温度が高くなるとバイメタルサーモスタット３ｂが通電状態となることにより、簡易な構成で広範囲な入力電流に対応し、電子回路保護装置での消費電力を抑えることのできる低温時電子回路保護装置を得られる。 （もっと読む）

【課題】 発熱部の温度によりファン回転数をフィードバック制御する際、実際の装置から求めた状態関数に則ったファン回転数制御を行うことで、温度とファン回転数、ひいては温度と騒音の最適なファン制御冷却システムを提供する。
【解決手段】 装置の発熱部の温度を監視しファンにより冷却するファン制御冷却システムにおいて、実際の装置を使用して発熱部の温度に対するファン回転数の状態関数を求め、測定した発熱部の温度と前記状態関数により温度を一定に保つようにファン回転数をフィードバック制御する制御部を備える。状態関数は、実際の装置を使用して熱平衡状態におけるファン回転数に対する発熱部の温度を複数点測定し、算出した両者の関係から求める。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、熱交部および電源・制御部を備えて成る温度調整装置を対象とし、その目的は、設置スペースの可及的な省スペース化を達成でき、かつ取扱いの極めて容易な熱交換装置を提供することにある。
【解決手段】 上記目的を達成するべく、本発明に関わる温度調整装置は、タンクとポンプと熱交換器を有し循環液の熱交換および循環を行う熱交部と、電源と制御手段とを有し前記循環液の温度制御を行う電源・制御部とを具備し、前記熱交部および前記電源・制御部をメインフレームの内部に収容設置して成ることを特徴とする。
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【課題】 試料プレート８の温度を急激に低下させることができる温度制御装置１を提供することである。
【解決手段】 加熱器１６を備えたヒートプレート６に試料載置部８を設け、前記試料載置部８を加熱することができる温度制御装置１において、前記試料載置部８を冷却するコールドプレート９を備え、前記コールドプレート９と、前記ヒートプレート６との間の熱交換のレベルを切換えることができる切換手段３０を備えた。 （もっと読む）

【課題】 試料プレート８の温度を急激に低下させることができる温度制御装置１を提供することである。
【解決手段】 冷凍機３から供給される冷媒７を通す冷媒通路６ａと加熱器６ｂとを備えたヒートプレート６に、試料載置部８を設け、試料載置部８の温度制御を行う温度制御装置１において、前記ヒートプレート６よりも低温のコールドプレート９を設け、前記コールドプレート９を前記ヒートプレート６に接近させて当接させることができ、且つ、ヒートプレート６から離間させることができる駆動手段１０を設けた。 （もっと読む）

【課題】 高応答、高出力で精密な温調が可能であり、大型化や高スループット化に対応した露光装置にも好ましく適用可能な温調装置を提供する。
【解決手段】 温調装置１００は露光装置本体の複数のユニット（Ｕ１〜Ｕ４）の各々に温度制御した流体を供給するものであり、流体を冷却または加熱するための媒流体が流れる媒流体流路１３０を備える。媒流体流路１３０は複数のユニット（Ｕ１〜Ｕ４）の各々に対応付けられた複数の分岐経路１３０ａ〜１３０ｄを有する。複数の分岐経路１３０ａ〜１３０ｄの各々に流体と媒流体とを熱交換するための熱交換器１１４ａ〜１１４ｄと、熱交換器１１４ａ〜１１４ｄを流れる媒流体の流量を制御する流量制御器１３５ａ〜１３５ｄとが配される。媒流体流路１３０には複数の分岐経路１３０ａ〜１３０ｄの各々に対する媒流体の流入量を一定に保つための流量一定化手段（１５７、１５８、１５９、１６０）が設けられる。 （もっと読む）

【課題】 制御回路の負荷を軽減でき、ヒーターの一部が故障してもシステムを継続して使用できるようにする。
【解決手段】 プリンタプロセッサの水洗槽１３〜１６に、水洗液の循環系６０〜６４を設ける。第１及び第２ヒータ７０，７１には水洗槽１４，１５の水洗液が流れる通路を個別に形成する。循環系６０，６１は、循環パイプ６０ａ，６１ａをそれぞれ有し、循環ポンプ６０ｂ，６１ｂにより水洗槽１３，１４の水洗液を第１ヒータ７０と第２ヒータ７１との間で循環させる。流路切替え弁６０ｃ，６０ｄ，６１ｃ，６０ｄは、水洗槽１３，１４の水洗液が第１ヒーター７０又は第２ヒーター７１をそれぞれ循環する流路に選択的に切替えるから、一方のヒーターが故障しても継続して水温調節が行える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で装置及び運転費用が安価で高発熱型半導体デバイスのバーンインも可能なバーンイン装置を提供する。
【解決手段】バーンイン装置は、水供給系２、噴霧器３、等を有し、バーンインボード４１のソケット４５に装着されたデバイス１の上面１１に対して、噴霧器３で水をミスト化して噴射するようにした装置である。高発熱デバイスの発生させた熱量は、ミストが上面１１に当たって蒸発するときの大きな潜熱を含む熱量によって除去され、デバイスは目的とする温度に冷却されつつバーンインされる。 （もっと読む）

異なる温度特性を有する民生電子機器のような機器で使用する温度制御装置１００〜４００は、フィールドワインディングＦ３と、第１の制御信号に応答してフィールドワインディングＦ３へ速度制御信号を供給し、ファン１０の回転速度を制御する速度制御装置１２とを有するファン１０を有する。ファン１０の第１及び第２の端子１，２は、動作電力がフィールドワインディングＦ３及び速度制御装置１２へ供給されることを可能にする。第１及び第２の端子１，２の少なくとも１つは、第１の電圧源へ動作可能な状態で結合される。ファン１０の第３の端子は、第１の制御信号を速度制御装置１２へ供給し、第２の電圧源へ動作可能な状態で結合される。温度制御装置１００〜４００は、温度を測定し、測定された温度を示す温度表示信号を供給する温度測定回路３０と、温度表示信号に応答して第２の制御信号を供給する処理装置４０と、第２の制御信号に応答してファン１０の第３の端子３へ第１の制御信号を供給する制御回路６０とを更に有する。

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