【課題】ヒータ駆動用のスイッチング素子の温度上昇を抑制して長期的に高い信頼性を保持することのできる恒温槽用温度制御装置を提供することを課題とする。
【解決手段】
恒温槽を加熱する加熱素子と、前記加熱素子の温度によって抵抗値が変化する感温素子を有するブリッジ回路と、前記ブリッジ回路の不平衡電圧を検出する検出回路と、前記検出回路によって検出される不平衡電圧に応じたＰＷＭ信号を発生するＰＷＭ信号発生回路と、電流出力端子が前記加熱素子に接続されるとともに、電流入力端子が電源回路に接続され、前記ＰＷＭ信号発生回路によって発生されるＰＷＭ信号に基づいて駆動されるスイッチング素子とを含む。 （もっと読む）

【課題】ユーザに不快感を与えなることなく当該ユーザを支持する支持部材を暖めることが可能なヒータ装置を提供する。
【解決手段】ヒータ装置１は、ユーザを支持する支持部材７に備えられる発熱ユニット８が複数のブロック２ａ〜２ｄ及び３ａ〜３ｄに区分けされ、当該ブロック２ａ〜２ｄ及び３ａ〜３ｄ毎に備えられる発熱体５ａ〜５ｈと、発熱ユニット８の運転に際し、発熱体５ａ〜５ｈの通電状態をブロック２ａ〜２ｄ及び３ａ〜３ｄ毎に変更して制御する通電制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】位相制御用サイリスタ駆動ユニットと温度調節器の分離設置ができるように、両ユニット間をシリアル伝送による通信を行うことで、ノイズの影響による制御誤動作を防止することができる基板処理装置を提供することにある。
【解決手段】基板を装填した基板保持具を搬入して、所定の処理を施すための炉と、前記炉内に収納された基板を加熱する加熱手段と、前記炉内の温度を計測する熱電対に接続される温度調節器と、該温度調節器からの信号に基づいて前記加熱手段に電力を供給する手段に所定の信号を出力する駆動ユニットとを備え、前記温度調節手段と前記駆動ユニットはそれぞれ分離して設置される。 （もっと読む）

ディスクドライブ試験用スロット熱制御システムは、筐体（５０８、５５０）であって、外部表面（５３０、５５９）と、この筐体によって画定されかつ試験のためにディスクドライブ（６００）を運ぶディスクドライブ運搬装置（４００）を受けて支持するための試験区画（５２６、５６０）を具える内部空洞（５１７、５５６）と、この筐体の外部表面から内部空洞へと延在する注入口開口部（５２８、５５１）とを有する筐体（５０８、５５０）を具える試験用スロット（５００、５００ａ、５００ｂ、５４０）を具える。このディスクドライブ試験用スロット熱制御システムはまた、冷却導管（７１０）と、この冷却導管に取り付けられた熱電素子（７４２）とを具える。この熱電素子は、注入口開口部を通って内部空洞に入る空気の流れを冷却または加熱するように構成されている。
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【課題】エイジングによってチャンバーの温度を温調目標値までシフトする際に円滑な温調を実現する温調装置を構成する。
【解決手段】チャンバーの温度をエイジング制御によって温調目標値ＳＰ３までシフトする際に、制御開始時におけるチャンバーの温度を基準にして、シフト値Ｕだけ温調目標値ＳＰ３に近い目標値ＳＰを設定した状態でＶ時間だけ温調を行うことで温度変化率を取得する。次に、温度変化率が基準値Ｗ内にある場合には、この温度変化率を維持する標準温調制御を反復して行う。これとは逆に、温度変化率が想定を超える場合には、この温度変化率より小さい温度変化率を作り出すようにシフト値Ｕより小さい値の補正シフト値Ｘに基づいて目標値ＳＰを設定して補正温調制御を反復して行う。 （もっと読む）

【課題】作業効率の向上およびコストダウンに寄与する技術を提供する。
【解決手段】 基板を処理する処理室内を加熱する加熱手段と、処理室内の温度を検出する第一の温度検出手段と、処理室内の温度を検出し、第一の温度検出手段よりも加熱手段に近い位置に配置される第二の温度検出手段とを用い、第一の温度検出手段の検出する温度が昇温開始時の温度から目標温度となるように、積分演算、微分演算、比例演算それぞれによる出力分を含む第一の出力制御パターンを用いて加熱手段を制御した際に、検出された第二の温度検出手段の検出温度から算出される、昇温開始時から最大温度時までの間の熱量の中から比例演算による出力分を差し引いた熱量を用いて加熱手段の操作量の少なくとも一部をパターン化した第二の出力制御パターンを求める工程と、第二の出力制御パターンを用いて、加熱手段を制御しつつ基板を処理する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】温度センサの断線と監視対象の過昇温とを区別して把握することのできる状態監視装置を提供する。
【解決手段】温度値ＰＶの変化率ΔＰＶを求めると共に、正常時における上記変化率ΔＰＶの最大値に基づいて変化率閾値Ｔｈを設定する。そして温度値ＰＶが所定の上限値Ｒｈを超えたか否かを判定すると共に、上限値Ｒｈを超える温度値ＰＶを検出したとき、その直前における前記変化率ΔＰＶが前記変化率閾値Ｔｈを超えているか否かを判定し、変化率閾値Ｔｈを超える変化率ΔＰＶが検出されたときには断線信号を出力し、変化率閾値Ｔｈを超えていないときにはオーバー信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】煩雑な設定作業を必要とされることなく良好に槽内温度を制御できる温度制御方法、温度制御装置および温度制御プログラムを提供する。
【解決手段】処理槽４０内の流動物Ｌの温度が、設定値ＳＶ（ｔ）を超え、さらに、閾値温度「ＳＶ（ｔ）＋α」を超えた場合には、ＰＩＤ演算で得られた制御出力変化量に対して一定の値が差し引かれた値に基づいて、処理槽４０内の流動物Ｌに加えられる熱量が制御される。なお、閾値温度は、流動物Ｌの温度についての許容範囲の上限よりも低い温度とされる。一方、処理槽４０内の流動物Ｌの温度が、閾値温度「ＳＶ（ｔ）＋α」以下の場合には、ＰＩＤ演算の値に基づいて、処理槽４０内の流動物Ｌに加えられる熱量が制御される。 （もっと読む）

【課題】流量の測定を必要とせず呼吸システム内の温度測定に依拠する信頼性のあるPIDフィードバック制御を提供すること。
【解決手段】呼吸システム(10)のために設けられる加熱器システム(16)は、PIDフィードバック制御(100)を有し、PIDフィードバック制御(100)では、ウォームアッププロセスなどの際に係数が調整され、係数は、流量または湿度レベルを直接監視することを必要とせずに、温度目標値に関する熱入力と熱出力の間の差に基づいて、加熱された水(27)のチャンバ(20)を通る気体の推定流量に対応するように調整される。目標値に関する測定された温度の挙動に基づく係数の定常状態調整もまた開示される。 （もっと読む）

【課題】
発熱体の寿命を長くする電気炉等発熱装置内の温度制御システムを提供する。
【解決手段】
本発明の温度制御システムは、同じ最高使用温度の複数個の発熱体６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄを並列に接続した電気炉等発熱装置１内の温度を検知してこれら発熱体６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄへの通電をオンオフ制御する温度制御システムにおいて、これら発熱体６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄへの通電のオン時間と通電のオフ時間との割合から発熱体６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄの使用本数を選定し、これら発熱体６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄへの通電オンオフを連続的に順次繰り返す制御を行って、発熱体６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄの寿命を向上させる。 （もっと読む）