【課題】複数の蓄熱タンクおよび循環ポンプを備えた温調ユニットの並設と、タンク内の液体を循環させる循環路を形成した、より安定した温度制御が可能な温度制御システムを提供する。
【解決手段】第１温度の液体を貯蔵する低温温調ユニット７４、第１温度より高い第２温度の液体を貯蔵する高温温調ユニット７５、低温温調ユニットからの流体を流す低温流路７６、高温温調ユニットからの流体を流す高温流路７７、流体を循環させるバイパス流路７３、合流部ＰＡにて低温流路、高温流路及びバイパス流路の３流路から合流した流体を流す結合流路７１、結合流路から流体を流し、半導体製造装置１００に用いられる部材を冷却又は加熱する調温部７０、合流部の上流側にて前記３流路に取り付けられた可変バルブ７９の弁開度を制御し、前記３流路の流量分配比率を調整する制御装置９０を有する温度制御システム１が提供される。 （もっと読む）

【課題】ステップ応答制御においてエネルギー使用量が一定値を大幅に超えないように、かつ設定値への追従特性が損なわれないようにする。
【解決手段】電力総和抑制制御装置は、各制御ループの操作量を特定の値にした場合の昇温時間を推定する昇温時間推定部（１２）と、各制御ループの制御量を昇温時間の間に設定値変更に応じた量だけ変化させるのに必要な出力を推定し、この必要出力から各制御アクチュエータの使用電力の総和である使用電力総量を算出し、割当総電力に対する使用電力総量の達成率と最大限度時間に対する昇温時間の確保率とのバランスを表す重み付け評価関数の評価値を最適にする必要出力の組み合わせを探索して、最終的に得られた必要出力を各制御ループの操作量出力上限値として設定する電力抑制部（１６〜１９）と、制御ループ毎に設けられた制御部（２２−ｉ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】主動力源のエンジン冷却回路に使用される冷却液を熱源として、新たな熱源を必要とせずに低温時の暖め機能を付加させてなる、車両及び建設機械に搭載される電気機器或いは電子部品装置の温度制御装置及び温度制御方法を得る。
【解決手段】エンジンを搭載した車両及び建設機械に搭載される電気機器或いは電子部品装置を適正な温度範囲に制御するために、前記電気機器或いは電子部品装置が第一の温度より低温の場合はエンジン冷却液の余熱を利用して前記電気機器或いは電子部品装置を暖め、前記電気機器或いは電子部品装置が第二の温度より高温の場合は、前記電気機器或いは電子部品装置を第一の温度と第二の温度の範囲に制御するために専用の冷却装置により冷却した冷却液で前記電気機器或いは電子部品装置を冷却するために、温度センサの検出した温度に応じて切換弁を切り替えることで、いかなる環境温度下においても適正な温度範囲に制御する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも実用性と一般性に優れたＢ２Ｂ制御システムを提供する。
【解決手段】制御装置は、バッチ反応プロセスを制御するＰＩＤコントローラを実現するカスケード制御実行部６と、反応プロセスモデルを記憶するモデル記憶部１と、モデル調整部７と、反応プロセスモデルを線形近似した伝達関数モデルを用いてＰＩＤコントローラのＰＩＤパラメータを調整する制御パラメータ調整部５とを備える。モデル調整部７は、冷媒入口温度Ｔ_ciの実績データを平滑化して反応プロセスモデルの入力として与え、反応プロセスモデルの出力である反応温度Ｔ_ravの時系列データと反応温度Ｔ_rの実績データとの２乗誤差を算出し、２乗誤差が最小になる、反応プロセスモデルの適応パラメータを非線形最適化により求め、適応パラメータを用いて反応プロセスモデルのモデルパラメータを調整する。 （もっと読む）

【課題】ステップ応答制御においてエネルギー使用量が一定値を大幅に超えないように、かつ設定値への追従特性が損なわれないようにする。
【解決手段】電力総和抑制制御装置は、各制御ループの操作量を特定の値にした場合の昇温時間を推定する昇温時間推定部（１２）と、各制御ループの制御量を昇温時間の間に設定値変更に応じた量だけ変化させるのに必要な出力を推定し、使用電力総量が割当総電力を超えない必要出力を各制御ループの操作量出力上限値とする電力抑制部（１６〜１８）と、昇温時間が最大限度時間以内でない場合に、各制御ループの必要出力を、各制御ループの制御量を最大限度時間の間に設定値変更に応じた量だけ変化させるのに必要な操作量として計算し直し、この必要出力を各制御ループの操作量出力上限値として再設定する補正設定部（２１）と、制御部（２３−ｉ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】光学素子の中心部分の温度を精度よく制御できる温度制御装置を提供する。
【解決手段】第１の主面及び第１の主面と対向する第２の主面を有する光学素子の温度制御装置であって、第１の主面に一定の接触熱抵抗で接する第１の筐体と、第１の筐体と第１の主面とが接する面積と等しい面積で、第２の主面に一定の接触熱抵抗で接する第２の筐体と、第１の筐体の温度を調整する温度調整素子と、第１の筐体の温度を測定する第１の温度測定素子と、第２の筐体の温度を測定する第２の温度測定素子と、第１の温度測定素子により測定された第１の筐体の測定温度と第２の温度測定素子により測定された第２の筐体の測定温度との平均値を光学素子の温度として、平均値が予め設定された設定値であるように温度調整素子を制御して第１の筐体の温度を調整させる制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】温度制御用の温度検出素子が故障しても、被加熱物の温度をほとんど変動させることなく、継続して温度制御可能な温度制御方法を提供する。
【解決手段】各々が互いに異なる位置に設けられた複数の温度検出素子Ａｉ１〜Ａｉ１０が温度を検出した検出値に基づいて、各々が互いに異なる位置に設けられた複数の発熱素子６３−１〜６３−１０を含み、被加熱物を加熱する加熱部６３における発熱素子６３−１〜６３−１０の発熱量を制御することによって、被加熱物の温度を制御する温度制御方法において、複数の温度検出素子Ａｉ１〜Ａｉ１０のいずれかが故障したときに、故障した温度検出素子以外の温度検出素子が検出した検出値に基づいて、複数の温度検出素子Ａｉ１〜Ａｉ１０の各々の温度を推定する第１の推定アルゴリズムにより、複数の温度検出素子Ａｉ１〜Ａｉ１０の各々の温度を推定し、推定した推定値に基づいて、被加熱物の温度を制御する。 （もっと読む）

【課題】電池パックの温度を制御する温度制御装置において、電池パックの温度を制限時間以内に設定温度にする。
【解決手段】温度計測部６により電池パック５の温度を計測して制御部２に出力する。制御部２は、温度計測部６から入力された電池パック５の温度と、予め設定された設定温度との温度差を算出する。また、制御部２は、算出した温度差と電池パック５の熱容量とを乗算することにより、電池パック５を設定温度にするのに必要な熱量を算出する。さらに、制御部２は、電池パック５に必要な熱量を予め設定されている制限時間で除算し、熱電素子４に要求される単位時間あたりの発熱量を算出する。そして、熱電素子４の電流熱量特性を参照して、算出された単位時間あたりの発熱量に対応する電流値の電流を熱電素子４へ供給する。 （もっと読む）

【課題】冷却手段又は加熱手段に大きな冷却能力又は加熱能力を必要とせず、被制御装置の温度を変更するときに高速かつ高精度に温度制御することができる温度制御装置を提供する。
【解決手段】被制御装置１２と、第１及び第２の供給部３０、４０を含む供給装置２０との間に設けられ、流体の温度を制御する温度制御装置５０であって、流体を貯蔵する貯蔵部５１と、被制御装置１２を第１及び第２の供給部３０、４０の一方と接続するとともに貯蔵部５１を第１及び第２の供給部３０、４０の他方と接続するか、又は、被制御装置１２と貯蔵部５１と接続するように、接続を切り替える接続切替部５５とを有する。 （もっと読む）