【課題】マスフローコントローラにおけるＰＩ性能を向上させる。
【解決手段】マスフローコントローラにおいて、安定状態におけるＰＩＤ演算に用いる比例係数、積分係数及び微分係数を、一次側圧力、当該一次側圧力の時間変化量、及び流量設定値の少なくとも２つに基づいて変更させる。 （もっと読む）

【課題】実流量に合わせて適切な測定範囲を選択可能な流量計を提供する。
【解決手段】主流路11、主流路11に通じる少なくとも三以上の複数の孔4a, 4b, 6a, 6b、及び前記複数の孔4a, 4b, 6a, 6bを介して前記主流路11と連通する分流路25が設けられた流路保持体10と、複数の孔4a, 4b, 6a, 6bから選択された二つの被選択孔6a, 6b以外の複数の孔4a, 4bを閉塞する閉塞部材21Aと、分流路25を流れる流体の流量を検出する流れセンサ8と、被選択孔を検出する被選択孔検出機構9A, 9Bと、被選択孔に応じた、分流路25と主流路11の分流比に関する情報を保存する分流比記憶装置400と、分流路25を流れる流体の流量、及び検出された被選択孔に応じた分流比に関する情報に基づいて、主流路11を流れる流体の流量を算出する算出モジュール300と、を備える。 （もっと読む）

【課題】一次側の圧力が急激に変動しても、二次側の流量に影響が及びにくいマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部と、その流量センサ部の上流側又は下流側に設けた流量制御バルブと、前記流量制御バルブへの制御値を算出する算出部と、を備えたものであって、マスフローコントローラの上流側における前記流体の圧力の測定値である一次側圧力測定値が所定量以上変化した期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間と、において、前記算出部は、前記安定期間では、前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に所定の演算処理を施して安定時制御値を算出し、前記変化期間では、前記一次側圧力測定値と前記一次側圧力測定値の変化量とに所定の演算処理を施して変化時制御値を算出するようにした。 （もっと読む）

【課題】流量操作部の操作速度に応じて流調弁の駆動速度を設定する一方、止水操作時におけるウォータハンマーの発生を防止することができる水栓装置を提供する。
【解決手段】流調弁３３ａと、操作ハンドル２０ａの移動により吐水開始，吐水流量増加，吐水流量減少，止水を指示する流量操作部２０と、操作ハンドル２０ａの移動位置に応じて目標吐水流量を演算すると共に、移動速度に応じて流調弁３３ａの駆動速度を演算し、流調弁３３ａを駆動するコントローラ３５を備えた水栓装置１において、コントローラ３５は、吐水流量減少方向に駆動するとき、演算した駆動速度Ｖが上限駆動速度Ｖ２（Ｖ３，Ｖ４）より大きい場合には、駆動速度Ｖを上限駆動速度Ｖ２（Ｖ３，Ｖ４）に制限し、上限駆動速度Ｖ３，Ｖ４は、通常流量領域内にあるときよりも、低流量領域内にあるときの方が、小さな値に設定されている。 （もっと読む）

【課題】止水状態で使用者が操作部を操作するときに、操作方向を迷うことなく意図した操作方向で必ず増流量方向に操作することができる操作が容易な水栓装置を提供する。
【解決手段】水栓本体１０と、流調弁３３ａを有する流調調整手段３３と、第１操作方向及び第２操作方向に操作可能である流量操作部２０と、流量操作部２０の操作方向及び操作量を検知し、検知した操作方向に応じて吐水温度を変化させることなく、検知した操作方向及び操作量に基づいて、吐水流量を調整するために流量調整手段３３を制御するコントローラ３５と、を備えた水栓装置１であって、コントローラ３５は、止水状態において流量操作部２０が第１操作方向及び第２操作方向のいずれかの操作方向に操作された場合、操作された操作方向を吐水流量を増加させる増流量方向に設定し、他方の操作方向を吐水流量を減少させる減流量方向に設定する。 （もっと読む）

【課題】作動流体によって駆動されるアクチュエータストロークのフィードバック制御装置において、作動流体を制御する流量制御弁の経年変化等を補償し、簡易な手段によりストロークの正確な制御を実行する。
【解決手段】アクチュエータ１１０のストローク制御装置には、作動流体の供給及び排出を制御する単一の流量制御弁１が設置され、これを操作してストロークのフィードバック制御が実行される。流量制御弁１は、作動流体の供給及び排出を停止する中立位置を備えており、流量制御弁制御装置９には、この中立位置の変動を学習する学習装置９１が設けられる。フィードバック制御においては、ＰＩＤ演算部９４の出力するフィードバック操作量に、学習装置９１で得られた中立位置の学習値を加算して流量制御弁１を操作し、経年変化等による流量特性の変化を補償する。 （もっと読む）

【課題】流量制御弁に出力するＰＷＭ信号の周波数を切り替える際に、その周波数切り替え直後の駆動電流の中央値のずれを抑制して弁体の位置ずれを抑制できるようにする。
【解決手段】流量制御弁に出力するＰＷＭ信号の周波数を切り替える際に、切り替え前後の周波数の変化幅が大きくなるほど、周波数切り替え直後の駆動電流の中央値のずれが大きくなるという特性に着目して、ＰＷＭ信号の周波数を第１の周波数から最終的な目標周波数である第２の周波数に切り替える際に、一旦、第１の周波数と第２の周波数との中間に位置する中間周波数に切り替えてから第２の周波数に切り替える。この際、中間周波数及び第１、第２の周波数は、出力可能な最も高い周波数ｆmax を基準にしてそれを整数Ｎで割り算した周波数（ｆmax ／Ｎ）に設定する。また、中間周波数は、１つであっても良いし、中間周波数を２段階以上に切り替えるようにしても良い。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガスフローメータの追加設置を行わずにシステムの小型化を図りつつ、ガス流量測定部に異常があった場合には、異常を検出して自己診断を行うこができる流量制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】流体を供給する主配管１０と、
該主配管１０に並列に接続されたセンサ管２０と、
該センサ管２０を流れる前記流体の流量を独立して測定する第１の流量測定手段３０及び第２の流量測定手段４０と、
該第１の流量測定手段４０と該第２の流量測定手段４０の測定結果同士を比較し、該測定結果同士が等しいか否かを判定する比較回路５０と、
該測定結果同士が等しいときには、流量制御状態を維持し、該測定結果同士が等しくないときには、流量アラーム信号を出力する制御手段６０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

流体調整器特徴付けシステム１００、２１２が、受け取った制御信号に応答して生じる流体調整器１０８の流量を特徴付けることができる。流体調整器特徴付けシステムは、特徴付けを使用して、流体調整器に関する全動作範囲にわたって（例えば、０パーセント移動から１００パーセント移動まで）、受け取った制御信号に対する線形流体調整器流量ゲインを達成することができる。線形流体調整器流量ゲインは、プロセス制御を改善し、プロセス変動性を低減することができる。
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本発明は、連結部を通る１つ以上の流入流と１つ以上の流出流との間で、連結部を通るガス流量を制御する方法及び装置に関する。本方法は、流入質量流量測定値の総計を流出質量流量測定値の総計と比較して、バイアス成分を加算して、バイアス質量流量不均衡値を供給することにより得られるバイアス質量流量不均衡値を使用する。流入流及び流出流（１２、１４、１６、１８、２０）のうちの少なくとも１つの流量は、バイアス質量流量不均衡値をゼロに向けて移動させるように調整される。更に、連結部圧力測定値（ＰＣ）が供給され、連結部圧力測定値（ＰＣ）は、圧力設定点（ＰＳＰ）からの連結部圧力測定値（ＰＣ）の変化に応答して、圧力設定点（ＰＳＰ）からの連結部圧力測定値（ＰＣ）の変化を軽減するようにバイアス成分を調整するために使用される。 （もっと読む）