【課題】全閉状態における外部出力流量値に起因する種々の問題を解決することができるマスフローコントローラを提供する
【解決手段】流路１内を流れる流体の流量を測定し、その測定流量値を出力する流量測定部２と、制御バルブ３と、前記制御バルブ３を強制的に全閉させる全閉指令、又は、目標値として設定される設定流量値に基づいて前記制御バルブ３の開度を制御するバルブ制御部４２と、前記測定流量値に基づいた外部出力流量値を外部に出力する外部出力部４１と、を備えたマスフローコントローラ１００であって、前記バルブ制御部４２が、前記全閉指令又は前記設定流量値としてゼロを受け付けてから、前記外部出力部４１が、前記外部出力流量値を前記測定流量値に関わりなくゼロと出力するようにした。 （もっと読む）

【課題】電磁弁からの放熱を適切に行うことのできるガス供給ユニット及びガス供給装置を提供する。
【解決手段】ガス供給ユニット１１は、内部に流路の設けられた流路ブロック２０と、流路を流通するガスの流通状態を変更する複数の電磁弁５０（５０Ａ）とを備えている。各電磁弁５０はコイル５２とコイル５２の外周に配置されたケース５３とを有している。流路ブロック２０は、長尺状に延びる直方体状に形成され、複数の電磁弁５０が搭載された上面２０ａを有している。複数の電磁弁５０は、上面２０ａの長手方向に沿って直列に配置されている。ガス供給ユニット１１は、複数の電磁弁５０の各ケース５３に跨るようにして上面２０ａの長手方向に沿って延びて各ケース５３に当接される平板部３１と、流路ブロック２０の上面２０ａに平板部３１を繋ぐ固定部３２とを有する伝熱プレート３０を備えている。 （もっと読む）

【課題】添加ガスを一方のサブラインに供給する前後で、メインラインから第１及び第２サブラインへ分流されるメインガスの分流比を維持できる流体制御方法を提供すること。
【解決手段】メインライン１７から第１及び第２サブライン１９，２０にメインガスを分流させてチャンバ３１に供給するときに、第２サブライン２０に添加ガスを供給する場合に、第１及び第２サブライン１９，２０からチャンバ３１に供給されるメインガスの流量を第１及び第２サブライン１９，２０の圧力に基づいて制御する流体制御方法において、添加ガスを供給されない第１サブライン１９の圧力を一定にするように、第１サブライン１９の圧力を制御しながら、第２サブライン２０に添加ガスを供給する。 （もっと読む）

供給ライン、ドレンライン、出力ライン、及び、その供給ラインをその出力ラインに選択的に接続する、或いは、その出力ラインをそのドレンラインに接続する個別に切換可能な複数のオン／オフバルブを有するデジタル液圧制御装置の制御方法を説明する。その方法は、その出力ラインにおける流体の圧力及び／又は流量を含む制御量を検出するステップと、それら複数のバルブのうちの少なくとも１つを選択するステップであり、それら複数のバルブのうちの少なくとも１つは、その制御量が目標値に近づくようにその制御量を制御するための少なくとも１つのその選択されるバルブを通過する流体の量及び方向を制御するために切り換えられるところのステップとを含む。さらに、その方法は、個々のバルブのキャリブレーション、及び／又は、条件監視を含むテストシーケンスを実行するステップを含む。個々のバルブのキャリブレーションは、それらバルブのうちの２つであり、一方が供給ラインを出力ラインに接続し、他方が出力ラインをドレンラインに接続するところの２つのバルブを交互に開くこと、及び、その制御装置における検出された流量及び圧力の値にしたがって個々のバルブのためのキャリブレーション値を算出して設定することによる。条件監視では、それらバルブのそれぞれが順番に切り換えられ、そのバルブの切り換えに応じて、検出された流量及び圧力の値から、個々のバルブのバルブ開条件が推定される。
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流量制御デバイスが開示される。流量制御デバイスは、アーマチュアを含むソレノイドを含む。同様に、アーマチュアにはピストンが接続される。ピストンは一次オリフィスを含む。ピストンは開放位置および閉鎖位置を有する。ピストンに接続されるピストンばねが同様におよび少なくとも１つの二次オリフィスを含む。ピストンの、開放位置への運動は少なくとも１つの二次オリフィスを少なくとも部分的に開放し、ピストンの、閉鎖位置への運動は少なくとも１つの二次オリフィスを少なくとも部分的に閉鎖する。アーマチュアの運動はピストンの運動を作動させ、一次オリフィスから少なくとも１つの二次オリフィスを通じた流体の流れを制御する。 （もっと読む）

【課題】少しづつ流量が変動する器具を特定し、正確な流量に基づいたガス器具の使用状態を監視することで、ガス使用上の安全性と利便性を向上させる。
【解決手段】流量特性情報を保持する器具判定記憶部１６と、流量計測部１１で検出されたガスの瞬時流量からガス供給管３０を流れるガス使用器具を判別し、流量変化検出部１４で「流量変化あり」を判定したときに器具判別を開始する器具判別部１７と、器具判別部１７が給湯器３３と判別した場合は、給湯器３３の流量を登録流量記憶部１５には登録せずに給湯器３３の流量を給湯器流量記憶部１８に記憶し、器具判別部１７でガスコンロ３１またはガスストーブ３２またはガス器具の特定に至らない場合は、通過している流量を登録流量記憶部１５に記憶し、登録流量記憶部１５と給湯器流量記憶部１８が所定値以上か判断し、所定値以上であれば、遮断弁２４を駆動しガス流路遮断の判断を行う。 （もっと読む）

【課題】搬送流路に取り外し可能な流量調整装置を仮設し、該流量調整装置により搬送流路を流れる流体の流量を目標流量に自動的に調整することができる流体搬送設備を提供する。
【解決手段】流体送出装置から主ダクトに送出された流体の流量を調整すべく分岐ダクトとの分岐部と流体送出装置との間に第１流量調整部材が設置され、主ダクトから分岐された分岐ダクトには第２流量調整部材が取り付けられ、これら流量調整部材を通過する流量が流量調整装置により目標流量に調整され、この流量調整装置が、流量調整部材ごとに設置される流量調整ユニットと、これら各流量調整ユニットを操作する１つの情報処理装置とを備る。流量調整ユニットのそれぞれは、流量検知装置と、流量調整部材の操作部を作動させる作動装置と、操作部の操作力を検知する操作力検知装置と、作動装置に開閉部の開閉量変更値を出力する制御装置とを備えている。 （もっと読む）

【課題】水量管理システムにおいて、無駄な吐水を防ぎ、容易に節水することができるようにする。
【解決手段】水量管理システム１は、一つの供給元から分岐した複数の給水管のそれぞれ流量の設定や表示を行なう設定・表示部３と、流量を検出する流量検出部４と、流量を調整する流量調整部５と、流量調整部５を制御する制御部６を有している。制御部６は、他の給水管に設けられた全ての制御部６と接続されており、他の給水管の流量検出部４が検出した流量を受信する。設定・表示部３は、ユーザによってそれぞれの給水管の流量や合計流量を設定される。設定・表示部３は、設定値をそれぞれの給水管の制御部６に送信する。制御部６は、流量が設定値になるようにそれぞれの流量調整部５を制御する。給水管毎の流量や合計流量を設定することができるので、無駄な吐水が防がれて節水することができる。 （もっと読む）

【課題】流路を流通する流体の流量制御の安定化を図る。
【解決手段】流体が流通する流路の開度を調整可能なバルブ４１と、流体の流量を検出する流量検出部３４と、流量検出部３４の検出結果と流量に関する設定値とに基づいて、バルブ４１に供給される駆動電圧をパルス幅変調するバルブ駆動部５３と、前記駆動電圧の変動に応じて前記パルス幅変調のパルス幅を補正する制御部５７，７１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ガス種等の試料流体の変更にも特別な手間を必要とせずに柔軟に対応することができ、しかも、精度良く流量を測定することができるといった、優れたマスフローメータ等を提供する。
【解決手段】流路１を流れる試料流体Ｇの流量を検知するセンサ部２と、流体ごとに定められ、前記センサ部２からの出力値に基づいて流量を定めるための流量特性関数であって、指定された試料流体に固有の流量特性関数Ｋと、その流量特性関数とは独立した、複数の試料流体に対して共通のパラメータであり、マスフローメータごとの器差を補正するための器差補正パラメータαとを設定する設定部４ｃと、前記流量特性関数Ｋと前記器差補正パラメータαとに基づいて、前記試料流体Ｇの流量を算出する流量算出部４ｄとを具備するように構成した。 （もっと読む）