【課題】流量センサを用いずとも、供給流路からの流量を所定の比率で分割することができ、且つ低価格化を実現できる流量比率制御装置Ａを提供する。
【解決手段】混合プロセスガスＧが流れる一つの供給パイプＰＸをその下流側で分流させた第１の分流路１ａ及び第２の分流路１ｂと、前記各分流路上にそれぞれ設けられ、且つ、導入口及び導出口を有しこれら導入出口間に各々の抵抗値と対応する差圧を発生させるとともにその抵抗値比が所定比の第１の抵抗体２ａ及び第２の抵抗体２ｂと、前記第１の分流路１ａ上にある前記第１の抵抗体２ａの下流側に設けられ該第１の分流路１ａを流れる流体の流量を制御するコントロールバルブ３と、前記第１の抵抗体２ａの導出口２ａ１の圧力値と前記第２の抵抗体２ｂの導出口２ｂ１の圧力値との差がゼロとなるように、前記コントロールバルブ３を開閉制御する制御部６と、を具備するようにした。 （もっと読む）

【課題】電源電圧が定格電圧を超える場合でも良好な流量制御精度が得られる流量コントローラ、流量制御システム、及び、流量コントローラ制御プログラムを提供すること。
【解決手段】全開時Ｄｕｔｙ算出プログラム４３を実行することにより、比例電磁弁２を全開させる場合にコイル２１に印加されるバルブ全開時コイル印加電圧が、比例電磁弁の定格電圧より高圧である場合に、比例電磁弁の定格電圧をバルブ全開時コイル印加電圧で割ることにより、比例電磁弁を全開状態とする場合における全開時のＤｕｔｙの値を算出し、制御動作時流量制御プログラム４４を実行することにより、算出された全開時のＤｕｔｙの値を上限として、比例電磁弁のコイル２１に印加する電圧のＤｕｔｙを可変させることにより、比例電磁弁の開度を制御する。 （もっと読む）

【課題】マスフローコントローラにおけるＰＩ性能を向上させる。
【解決手段】流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部２と、当該流量センサ部２の上流側又は下流側に設けた流量制御バルブ３と、前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値との偏差にＰＩＤ演算を施して流量制御バルブ３へのフィードバック制御値を算出する算出部７と、前記フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブに出力する開度制御信号出力部８と、を備え、前記算出部７が、安定状態におけるＰＩＤ演算に用いる比例係数、積分係数及び微分係数を、一次側圧力又は流量設定値の少なくとも１つと、前記一次側圧力の時間変化量と、に基づいて変更する。 （もっと読む）

【課題】精鉱装入量を脈動を防止し、計量スクリューコンベアの先端部に発生する精鉱の居着きを安定的に除去し、精鉱装入量の精度を向上させる。
【解決手段】インバータ１０およびモータ１２駆動の切出スクリューコンベア１と、重量測定装置３を有し、インバータ９およびモータ１１駆動の計量スクリューコンベア２とを備え、切出スクリューコンベア１により精鉱１３を切出し、切出した精鉱１３を計量スクリューコンベア２により製錬炉に装入し、重量測定装置３により装入する精鉱１３の重量を連続的に測定する精鉱装入装置（設備）において、切出スクリューコンベア１の回転数をＰＩＤ制御器７により制御し、精鉱装入量ｚを制御し、計量スクリューコンベア２の回転数をモータ１１の１００パーセントの全速運転とすることにより、両者のスクリューコンベア１、２を分散型制御とする。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で特別な調整を必要とせず容易に定流量化が図れる流量調整装置を提供する。
【解決手段】流路３を流れる液体の流量を設定流量に調整する流量調整装置であり、流路３に設けられるベンチュリ管１を備えている。ベンチュリ管１を通過する液体が設定流量を超える場合、キャビテーションによる気泡の発生に伴う圧力損失によりその流量が抑えられて設定流量に略定流量化されるように、ベンチュリ管１のスロート部６の流路断面積が設定されている。 （もっと読む）

【課題】洗浄等による液体の置換を容易かつ完全に実施できるダメージ軽減対策を施した圧力センサを提供する。
【解決手段】流体主流路１１を流れる液体の圧力を検出する圧力センサ１０において、流体主流路１１の直管部から分岐した位置に圧力計測空間部１２を設けて圧力計測部４を設置し、さらに、流体主流路１１と圧力計測空間部１２との間については、流体主流路１１より管径の細い導入管１３及び流出管１４を介して接続されている。 （もっと読む）

【課題】従来よりも計装コストを低減させる。
【解決手段】ガスが流通する流路１１に配置され、発熱抵抗体、上流側測温抵抗素子および下流側測温抵抗素子を有するセンサ１２と、発熱抵抗体を発熱させたときの上流側測温抵抗素子および下流側測温抵抗素子の検出温度に基づいてガスの物性値を算出する物性値算出部３１１と、上記検出温度に基づいてガスの流量を算出する流量算出部３１２と、ガスの置換時に開閉され、ガスの流量を調節する調節弁４０と、算出された物性値または流量に基づいて調節弁４０の開度を制御する弁制御部３３０と、センサ１２の出力信号を、物性値算出部３１１または流量算出部３１２のいずれか一方への入力に切り替える切替部３２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】マイクロ処理装置の特性や流体の物性に拘わらず閉塞箇所を高精度に検出することができる流体分配装置、及び当該装置を備えることによって安定した長期連続運転が可能なマイクロプラントを提供する。
【解決手段】流体分配装置１は、入力流路１１に供給される流体を３以上の出力流路１３に分配するものであって、複数の枝マイクロ流路Ｒc21〜Ｒc33，Ｒs11〜Ｒs36を組み合わせてなり、入力流路１１に供給された処理対象流体Ｗ１を出力流路１３の数だけ分配する分配流路１２と、分配流路１２をなす複数の枝マイクロ流路Ｒc21〜Ｒc33，Ｒs11〜Ｒs36のうちの２つの枝マイクロ流路（例えば、枝マイクロ流路Ｒc31，Ｒc33）の流量を測定するマイクロ流量計１４ａ，１４ｂとを備える。 （もっと読む）

少なくとも１つのポンプと、質量流量センサと、周囲温度センサと、周囲圧力センサと、前記質量流量センサの温度を測定する温度補償センサと、制御システムとを備える安定した空気流量を維持するための流量調整システムが開示され、前記流量調整システムを用いて流量を測定するための方法、サンプリング装置と、濃縮トラップ１と、較正およびチューニングモジュールと、ブランクモジュールと、前記流量調整システムと、クロマトグラフィーユニットと、検出ユニットとを備える気相と粒子相との両方における空気中に存在する空気により運ばれる化合物を監視するための装置、ならびに前記監視装置を用いて空気流中の空気により運ばれる化合物を検出するための方法も開示される。 （もっと読む）

【課題】流量コントローラにつき、非摺動タイプの比例電磁弁を備えて比較的大流量の制御と安定した流量特性を実現すること。
【解決手段】流量コントローラは流量センサの検出流量が目標流量になるよう制御回路が比例電磁弁2を制御するよう構成される。比例電磁弁2はホルダ24に支持されたコイル21、ボビン22及び固定鉄心23と、可動鉄心25に設けられた弁体26及び板ばね27と、ボディ28に設けられた弁座30、導入通路31、導出通路32及びオリフィス33とを備える。コイル21の励磁による固定鉄心23の吸引力と板ばね27の付勢力との釣り合いにより可動鉄心25を変位させ、弁座30との弁体26の位置を調節し、流体流量を調節する。オリフィス33の内径「φ１以上」の値に設定され、オリフィス33の軸長の内径に対する比は「０．１以上０．６以下」の値に設定され、導出通路32の内径はオリフィス33の内径より大きく設定される。 （もっと読む）