可動式流体輸送機（１０６）を使用して現場（１００）に流体を輸送するシステム及び方法が開示される。本方法は、センサ（５００）を使用して現場に関連するパラメータの値を特定すること、及び現場パラメータの値に基づいて流体輸送率を決定することを含む。本方法は、決定された流体輸送率で、可動式流体輸送機の位置での現場表面に流体を輸送することをさらに含む。
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【課題】制限フロー構成要素によって生成される圧力低下に基づいて、フロー速度を測定するための流体フロー測定および制御デバイスを提供する。
【解決手段】本発明のデバイスは、流体入り口および流体出口を有する比例フローバルブ１０、ならびにこの比例バルブ１０を調節するためのアクチュエータ１７を備える。この制限フロー要素１５は、この比例フローバルブ１０と連絡状態にある流体入り口および流体出口を備え、制限フロー構成要素の流体入り口と出口との間での圧力低下を生成する。このデバイスはまた、圧力低下を測定するための手段２４，２５、圧力低下に基づいてフロー速度を計算するための手段１６、ならびに測定された圧力低下に応じて比例フローバルブ１０を通じて流体のフローを制御するために圧力低下測定手段２４，２５、およびアクチュエータ１７と連絡する制御手段（示さず）を備える。 （もっと読む）

パイロット流体供給源（２０９）とプロセス流体供給源（２２２）とを有する多段式弁システム（２００）が提供される。多段式弁システムは、パイロット流体供給源と連通する第一のポート（２０６）と、この第一のポートと選択的に連通する第二のポート（２０７）と有する第一のパイロット弁（２０１）を備えている。また、多段式弁システムは、第二のパイロット弁（２０２）をさらに備えている。第二のパイロット弁は、プロセス流体供給源と連通する第一のポート（２１３）と、この第一のポートと選択的に連通する第二のポート（２１４）と有しうる。第二のパイロット弁は、プロセス流体供給源と連通する第一の圧力駆動付勢部材（２１７）と、第一のパイロット弁の第二のポートと連通する第二の圧力駆動付勢部材（２１８）とをさらに有している。また、多段式弁システムは主制御弁（２０３）をさらに備えている。主制御弁は、プロセス流体供給源と連通する第一のポート（２２０）と、この第一のポートと選択的に連通する第二のポート（２２１）とを有しうる。また、主制御弁は、プロセス流体供給源と連通する第一の圧力駆動付勢部材（２２５）と、第二のパイロット弁の第二のポートと連通する第二の圧力駆動付勢（２２６）部材とを有しうる。
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【課題】コストを低減した制御装置により、粘性の低い液体と粘性の高い液体とを混合する場合であっても所望の比率で混合することができる。
【解決手段】複数の液体供給源Ｔ１，Ｔ２に接続する給液配管ＳＰ１，ＳＰ２を分岐させ、分岐管路を複数の混合タンクＭＴ１，ＭＴ２に接続して第１液体と混合用液体とからなる液体を供給可能とし、混合タンクに供給された第１液体の積算流量を測定し、この測定値から混合タンクに供給することが必要な液体の積算流量を算出し混合用液体の理論上の必要量を求め、混合タンクに供給された混合用液体の積算流量を測定し、この測定値と混合用液体の理論上の必要量とから混合用液体の不足量を算出し、混合用液体の積算流量の測定値が混合用液体の理論上の必要量に対し不足する場合には、予め求めておいた混合用液体の不足量に対する流量制御弁の弁開度に基づいて流量制御弁の弁開度を制御し混合用液体を混合タンクに供給する。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置のガスの流量制御は、マスフローコントローラによって行われている。ここで使用される流量調整バルブは、流量を調整することに重点が置かれているため、閉鎖時にも微小ながらガスが流出する。このため、流量調整バルブの出力側に閉鎖特性の良好な開閉バルブが挿入されている。しかし、流量調整バルブと開閉バルブ間の流路系には、一定の容量を有するため、流量調整バルブが閉鎖されている間に、この流路系の圧力が流量調整バルブのリークを介して、上昇するという問題がある。このような出力側バルブ間空間の圧力上昇は、次に、開閉バルブが開いたときに、ガス被供給系への余剰のガス供給の原因となる。
【解決手段】本願発明は、マスフローコントローラのガス排出側の流量制御バルブと開閉バルブ間の圧力を計測することで、流量制御バルブの閉鎖時のリークガス流量を検知可能とした半導体製造装置である。 （もっと読む）

【課題】 圧電アクチュエータの使用範囲温度を超える温度の流体でも制御可能な圧電駆動式バルブ及び圧電駆動式流体制御装置を提供する。
【解決手段】 流体流路１ｂを開閉するための弁体２と、圧電素子の伸張を利用して弁体２を開閉駆動するための圧電アクチュエータ１０と、圧電アクチュエータ１０を流体流路１ｂから遠ざけるように持上げ支持するとともに、流体流路１ｂを流れる流体から圧電アクチュエータ１０へ伝わる熱を放熱するための放熱スペーサ４０と、を備え、さらに、好ましくは、圧電アクチュエータ１０及び放熱スペーサ４０の双方を収容して支持する支持筒体２３Ａと、を有し、支持筒体２３Ａは、少なくとも放熱スペーサ４０を収容する部分が放熱スペーサ４０と同じ熱膨張係数を有する材料で形成されていることとした。 （もっと読む）

【課題】自己校正型のガス流量制御のための方法及び装置を提供する。
【解決手段】ガス流量は最初に、流量制限器の開口の量を高い精度に制御することによって設定される。なお、流量制限器を含む装置の設計は高い精度の達成に役立つ。その後、ガス流量は、流量制限器の上流における圧力降下率で測定され、必要なら、流量制限器の開口の量は、正確に所望の流量を得るように調整される。 （もっと読む）

【課題】フロートの流路内壁面への接触によるパーティクルの発生を防止することができる流量計およびマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】ケーシング１１の内側には下方から上方に向けて流体を流す鉛直方向に沿った流路１２が形成される。流路１２の一部はテーパ管１５によってテーパ面１６とされている。流路１２内には棒磁石２１を内蔵するフロート２０が収容される。ケーシング１１の外周面にはリング形状の永久磁石である下部リング磁石３０および上部リング磁石３５が周設される。下部リング磁石３０および上部リング磁石３５の双方からフロート２０の棒磁石２１の下端および上端のそれぞれに同じ磁極の反発力による斥力が及ぼされる。これにより、流体の有無に関わらず、フロート２０が流路内壁面に接触することが常に防止され、その結果パーティクルの発生をも防止することができる。 （もっと読む）

【課題】熱交換ネットワークにおける熱回収を最大にする。
【解決手段】方法及びシステムは、多数の並列経路を有する熱交換器ネットワークからオンライン・プロセス・データを収集することを含む。オンライン・プロセス・データは、経路の低温プロセスストリーム出口温度から生成される。ストリームの流量目標値は、オンライン・プロセス・データに基づいて開発され、各々の低温プロセスストリーム出口温度の等化のために意図された各熱交換器を通る流量を含む。熱交換器ネットワークの１つ又はそれ以上の低温ストリーム流量制御バルブ及び熱交換器ネットワークの１つ又はそれ以上のプロセスストリーム流量制御バルブが、低温プロセスストリーム出口温度の等化をもたらすように流量目標値に基づいて制御される。 （もっと読む）

【課題】洗浄水の節水状況を具体的に確認することが容易な流量制御システムを提供する。
【解決手段】洗浄水を供給する制御弁を制御する制御部１００は、計測部で計測したトイレ使用者の排便にかかる時間が、所定値以上の場合に第１の水量による放流を行うよう制御弁を制御するとともに所定値未満の場合に第１の水量よりも少量の第２の水量による放流を行うよう制御弁を制御し、制御部１００は、第１の水量による放流回数と、第２の水量による放流回数を記憶する記憶部１０６と、記憶部１０６に記憶されたデータを出力する出力部１００ａと、を備えた。 （もっと読む）