【課題】１基の流量制御装置によってより広い流量域の流体の高精度な流量制御を可能とすることにより、流量制御装置の小型化と設備費の削減を図る。
【解決手段】オリフィス上流側圧力Ｐ_１及びオリフィス下流側圧力の少なくともオリフィス上流側圧力Ｐ_１を用い、オリフィスを流通する流体の流量を演算するようにした圧力式流量制御装置において、当該圧力式流量制御装置の第一のバルブ２の下流側と流体供給用管路５との間の流体通路を二つの並列状の流体通路とすると共に、一方の流体通路５cには第二のバルブ３４と第一のオリフィス８cを設け、他方の流体通路５gにはバルブを設けずに第二のオリフィス８aを設け、前記一方の流体通路５cは、前記第二のバルブ３４の開閉によって制御され、前記第一のオリフィス８cへ大流量域の流体を流通させ、前記他方の流体通路５gは常時連通され、前記第二のオリフィス８aへ小流量域の流体を流通させる構成とした。 （もっと読む）

【課題】小型化された校正ユニットにより、より迅速且つ高精度で行える、ビルドアップ（又はＲＯＲ）法による流量制御器の流量校正方法を提供する。
【解決手段】ガス供給路ＬにビルドアップタンクＢＴと開閉弁Ｖ_１及び開閉弁Ｖ_２と温度検出器Ｐｄ及び圧力検出器Ｔｄとから成る校正ユニット５を分岐状に連結し開閉弁Ｖ_２を真空排気装置に接続し、先ず各流量制御器の開閉弁Ｖｏ_１〜Ｖｏ_ｎ及びガス使用箇所の開閉弁Ｖ_０を閉鎖して開閉弁Ｖ_２及び開閉弁Ｖ_１を開放、次に被校正流量制御器の開閉弁のみを開放して設定流量のガスを校正ユニット５へ流入させ、時刻ｔ_０に於いてタンク内のガス温度及びガス圧力を計測し、その後開閉弁Ｖ_２を閉鎖してタンクＢＴ内のガスのビルドアップを行い、時刻ｔ_１に開閉弁Ｖ_１を閉鎖し、時刻ｔ_２にガス温度及びガス圧力を計測して各計測値からガス流量Ｑを演算して設定ガス流量と演算ガス流量Ｑとの対比により流量校正を行う。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化と腐食性ガスに対する耐腐食性を兼ね備えたマスフローコントローラシステムを提供する。
【解決手段】実施形態のマスフローコントローラシステム５００は、腐食性ガスが導入され、前記腐食性ガスに対する耐腐食性処理が施された第１マスフローコントローラ１００と、非腐食性ガスが導入される第２マスフローコントローラ２００と、前記第１マスフローコントローラに複数種類の腐食性ガスをそれぞれ供給する複数の第１ガス配管３１、３２、３３と、前記第２マスフローコントローラに複数種類の非腐食性ガスをそれぞれ供給する複数の第２ガス配管３４、３５、３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】弁体の動作速度をさらに高速にでき、かつ大流量を制御できる電動バルブを提供すること。
【解決手段】流路１３を流れる流体の流量を制御する目的で、流路１３に開度を可変可能な弁構造３５を設け、この弁構造３５の弁体３７と弁体３７のアクチュエータであるピエゾ素子４２との間に、ピエゾ素子４２の伸縮を拡大して弁体３７に伝達する変位拡大機構（ストローク拡大機構）５０を設けた。 （もっと読む）

【課題】
連通管で結合して水位を同一にすることができない複数の水槽に対して、共通のポンプにより水を循環させること。
【解決手段】
ポンプ１５は、複数の水槽１００、１０１からの水を合流して吸い込み、吐出した水を分岐して複数の水槽内に供給する。水槽１００、１０１からポンプ１５への還流路１４には各水槽毎に循環水量が設定された仕切弁２０ａ、２０ｂが設けられている。ポンプ１５から水槽１０１への流路には、水槽１０１に対して設定されている循環水量よりも大きな流量で供給する「開状態」或いは、小さい流量で供給する「閉状態」のいずれかをとるように設定された制御弁２３ｂが設けられ、水槽１０１の水位が予定された水位範囲内を下回るとき「開状態」に制御弁２３ｂを設定し、上回るとき「閉状態」に制御弁２３ｂを設定する。 （もっと読む）

【課題】流量制御弁の制御装置に関し、簡素な構成で、流量制御弁の中立位置を学習するとともに、学習値を補正する。
【解決手段】作動流体によって作動するアクチュエータ１２と、作動流体を供給する作動流体供給源１１と、アクチュエータ１２のストローク量を検出するストロークセンサ１４と、弁体１９を有するとともに、弁体１９の移動によってアクチュエータ１２と連通もしくは遮断される流量制御弁１５と、ストロークセンサ１４の検出値に応じて弁体１９を制御する制御部２０とを備え、制御部２０は、中立位置を学習する学習部２２と、中立位置におけるストロークセンサ１４の検出値と中立位置における目標ストローク量とのずれ量に応じて予め作成したマップに基づいて、学習部２２による学習値を補正する学習値補正部２３とを有するようにした。 （もっと読む）

【課題】流量制御弁の制御の安定性を向上させ、それに伴い油圧アクチュエータの駆動制御を安定化させると共に、油圧アクチュエータの応答性を確保できる制御装置を提供すること。
【解決手段】流量制御弁１０の目標開度は、油圧アクチュエータ１１の駆動量と目標駆動量とに基づいて設定されるので、流量制御弁１０の開度と油圧アクチュエータ１１の駆動量とを関連付けられる。さらに、流量制御弁１０の開度をフィードバックして流量制御弁１０の開度を調整するので、流量制御弁１０の制御の安定性を向上させ、それに伴い油圧アクチュエータ１１の駆動制御を安定化させると共に、油圧アクチュエータ１１の応答性を確保できる。 （もっと読む）

【課題】流量制御弁の制御装置に関し、簡素な構成で、流量制御弁の中立位置を正確に学習する。
【解決手段】アクチュエータ１２と、作動流体供給源１１と、ストロークセンサ１４と、弁体１９を有するとともに作動流体供給源１１に連絡する供給部１７ａと作動流体を排出する排出部１８ａとアクチュエータ１２に連通する連通部１６ａとを備えた流量制御弁１５と、ストロークセンサ１４の検出値に応じて弁体１９を制御する制御部２０とを備え、制御部２０は、ストロークセンサ１４の検出値により弁体１９が排出部１８ａ側から移動して連通部１６ａを遮断する中立位置と判断されたときの弁体１９の移動量と、弁体１９が供給部１７ａ側から移動して連通部１６ａを遮断する中立位置と判断されたときの弁体１９の移動量とから、弁体１９の中立位置としての移動量を学習する中立位置学習部２２を有するようにした。 （もっと読む）

【課題】非製造調整ガスについての正確な質量流量コントローラ流量データを提供する方法を提供すること。
【解決手段】質量流量コントローラは、５０％超の設定点において動作させてもよい。データは、質量流量コントローラメモリに記録されてもよい。設定点は次いで、０％に変えられてもよい。記録されたデータは次いで、分析され、１つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータが、計算されてもよい。１つまたは複数の非製造調整ガス補正アルゴリズムパラメータは、質量流量コントローラメモリに保存されてもよく、その後に非製造調整ガスを伴う少なくとも１つの将来の質量流量コントローラ動作において使用されてもよい。 （もっと読む）

【課題】所望の非線形性の大部分を失うことなく、圧力低下が小さいフローリストリクタを提供する。
【解決手段】少なくとも１つの導入部、少なくとも１つの導出部、及び流路を有する第１のディスクと、流路を有さない第２のディスクとを備えるフローリストリクタであって、第１のディスク及び第２のディスクは互いに積み重ねられる。また、マスフローコントローラは、入力部、出力部、流路、圧力トランスデューサ及び上記フローリストリクタを備えている。 （もっと読む）