【課題】縁や孔がある誘電体に対して効率よく荷電する。
【解決手段】突起部１１０が冷却されると突起部１１０が収縮し、突起部１１０の直径が孔２の直径より小さくなる。そして、突起部１１０が孔２に嵌められて板部１２０が固定電極２０に密着させられた後、突起部１１０の温度が上昇すると、突起部１１０が膨張し、突起部１１０が孔２に密着して隙間なく孔２を塞ぐ。そして、突起部１１０で孔２が塞がれた高分子材料層４１へコロナ放電によるコロナイオンが到達すると、絶縁体である突起部１１０が孔２に嵌められているため、コロナイオン２５０が孔２から固定電極２０や支持電極２４０に流れることがなく、高分子材料層４１に溜まって高電圧のエレクトレット４０となる。 （もっと読む）

【課題】表面電位が向上したエレクトレットおよびその製造方法、ならびに該エレクトレットを備える静電誘導型変換素子の提供。
【解決手段】キシレン（２５℃）に対して５質量％以上の濃度で溶解する溶解度を有するシクロオレフィンポリマーを含有するコーティング膜であることを特徴とするエレクトレット。該エレクトレットを備える静電誘導型変換素子。 （もっと読む）

【課題】エレクトレットを使用した機械電気エネルギー変換装置の変換効率を向上する。
【解決手段】エレクトレット機械電気エネルギー変換装置１０においては、例えばエレクトレット支持体１１にエレクトレット膜１２を塗布してこれを動作電極１３，１４に向き合わせ、その表面にエレクトレット表面電荷と反対符号の電荷を誘起する。従って支持体１１が左右に運動すると電流が負荷１５に発生する。本発明においては、エレクトレット膜１０の帯電工程においてはエレクトレット膜１０に従来通り金属体を密着させ表面電荷密度を高くするが、機械電気エネルギー変換を行うために使用する段階でこれを自立膜として支持するかあるいは絶縁支持体１１上に支持することにより、動作電極１３，１４の表面に誘起される有効電荷量を向上させる。 （もっと読む）

【課題】固定極に一体的に設けられているエレクトレット膜の表面電圧を測定する際、エレクトレット膜や測定電極板から自動的にゴミを除去する。
【解決手段】固定極２１に一体的に設けられているエレクトレット膜２２に対し、表面電圧計４０の測定電極板４１を所定の間隔をもって配置して、エレクトレット膜２２に帯電されている表面電圧を測定するバックエレクトレット型コンデンサマイクロホンユニットにおけるエレクトレット膜の表面電圧測定方法において、測定電極板４１に圧搾空気供給源５０に接続される開口部４１０を形成し、開口部４１０よりエレクトレット膜２２と測定電極板４１との間に圧搾空気供給源５０からの圧搾空気を供給する。 （もっと読む）

【課題】 エレクトレットコンデンサの２極間の電位を、エレクトレットコンデンサが組みあがった状態で、かつ、非破壊で測定することを可能とする。
【解決手段】 振動板３０６と、この振動板３０６に対向して配置される固定極３０２とを備え、かつ、振動板３０６および固定極３０２のいずれかがエレクトレット化されたエレクトレット材であるエレクトレットコンデンサ３００の両極間電位の測定方法であって、振動板３０６と固定極３０２との間にバイアス電圧を掃引印加しながら、振動板３０６と固定極３０２との間の静電容量および損失を測定する第１のステップと、その測定された静電容量および損失とバイアス電圧値との関係に基づいて、振動板３０６と固定極３０２との間の電位を同定する第２のステップと、を含む測定方法とした。 （もっと読む）

【課題】無機エレクトレット部材の厚さに関わらず、その耐湿性を確実に確保することができるエレクトレット構造及びその形成方法並びにエレクトレット型静電容量センサを提供すること。
【解決手段】シリコンマイクロホン１００は、背面電極基板２００と、背面電極基板２００に対向配置された可動電極基板３００と、背面電極基板２００と可動電極基板３００との間に設けられた絶縁体４００とを備え、背面電極基板２００は、シリコン基板２０１と、シリコン基板２０１に形成された貫通孔２０４と、貫通孔２０４を避けるようパターニングされて形成された凹部に埋め込まれたシリコン酸化膜２０２と、シリコン基板２０１及びシリコン酸化膜２０２の表面を覆うように形成されたシリコン窒化膜２０３と、電極２０５とを備える。 （もっと読む）

【課題】安価で構造も簡単な製造設備を用いてＭＥＭＳマイクチップの誘電体膜のエレクトレット化工程を実現することができ、生産性を向上させることができる微小コンデンサマイクロホンの製造方法を提供する。
【解決手段】複数のＭＥＭＳマイクが形成された半導体基板は、シート８０に貼り付けられた状態で放電電極５１と対向して設置される。半導体基板上のＭＥＭＳマイク４３ａが備える誘電体膜のエレクトレット化は、ＭＥＭＳマイク４３ａが備える固定電極と振動膜との間に所定の電位差を付与した状態で、当該固定電極と振動膜との間の誘電体膜に放電電極５１のコロナ放電により発生したイオンを入射させ、当該イオンに基づく電荷を当該誘電体膜に固定することで実施される。当該エレクトレット化は、半導体基板と放電電極とを相対的に移動させることにより、半導体基板上の各ＭＥＭＳマイクに対して順次実施される。 （もっと読む）

【課題】金属基材との密着性に優れ、高い耐熱電荷保持率を有するエレクトレット用材料及びこれを用いたエレクトレット部品を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明のエレクトレット用材料１０は、金属基材１と、金属基材１の表面１１に一体的に形成され、分子末端に活性官能基を有するパーフルオロビニールエーテル／テトラフルオロエチレン共重合体からなる下地樹脂層２と、下地樹脂層２の表面２１に一体に形成され、分子末端に活性官能基の数が所定範囲に抑えられたパーフルオロ樹脂からなるトップ樹脂層３と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表面電荷密度が大きなエレクトレットおよび該エレクトレットを備えるエレクトレットコンデンサマイクロフォンの提供。
【解決手段】含フッ素芳香族ポリマーを主成分として含む含フッ素芳香族系樹脂を含有することを特徴とするエレクトレット。該エレクトレットを備えるエレクトレットコンデンサマイクロフォン。前記含フッ素芳香族ポリマーは、フッ素原子が芳香環に直接結合した分子構造を有する含フッ素芳香族ポリマーを含むことが好ましい。前記含フッ素芳香族ポリマーは、含フッ素ポリアリーレンおよび／または含フッ素ポリアリーレンエーテルであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】第１電極部と第２電極部とが接触するのを抑制しながら、電極に誘導された電荷がスペーサ（凸部）を介して放電してしまうのを抑制することが可能な静電動作装置を提供する。
【解決手段】この静電動作装置１は、集電電極２２を含む可動電極部２０と、可動電極部２０の電極２２と対向するように配置されたエレクトレット膜１２を含む固定電極部１０と、固定電極部１０から可動電極部２０側に突出するように設けられたスペーサ１１ａと、スペーサ１１ａの少なくとも側面１１ｂを覆うように形成されたエレクトレット膜１２ａとを備えている。 （もっと読む）