【課題】高い導電性を有しかつ繰り返し動作しても機械的な物性の変化が抑制される可動部を備えたＭＥＭＳデバイスを提供すること。
【解決手段】基板１１と、基板１１上に設けられる支持層１４ａ、１４ｂと、基板１１上に設けられる固定電極１２と、支持層１４ａ、１４ｂによって支持されており、固定電極１２と対向して設けられる可動電極１３と、を備え、可動電極１３は、導電性を有する材料からなる電気的機能層１３１と、電気的機能層１３１よりも強度が高い材料または電気的機能層１３１よりも脆性が高い材料からなる補強材料層１３２と、を含む。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ機構を用いて、より小型化が容易な高周波スイッチモジュールを実現する。
【解決手段】ＭＥＭＳ機構部１０は、平板状の可動電極１１と、固定電極１３Ａ，１３Ｂおよび固定電極１４Ａ，１４Ｂを備える。固定電極１３Ａ，１３Ｂは、可動電極１１を基準として、固定電極１４Ａ，１４Ｂと対称の位置に形成されている。可動電極１１と固定電極１３Ａ，１３Ｂとの間に「０」でない電圧が印加されると、可動電極１１と固定電極１３Ａ，１３Ｂが当接して導通となり、可動電極１１と固定電極１４Ａ，１４Ｂが大きく離間して開放となる。可動電極１１と固定電極１４Ａ，１４Ｂとの間に「０」でない電圧が印加されると、可動電極１１と固定電極１４Ａ，１４Ｂが当接して導通となり、可動電極１１と固定電極１３Ａ，１３Ｂが大きく離間して開放となる。 （もっと読む）

【課題】静電型アクチュエータのスイッチング時間を短縮する。
【解決手段】基板２０上に設けられた第１の電極２１と、第１の電極２１の上方に配置されかつ上下に可動な第２の電極２３と、第１の電極２１及び第２の電極間に設けられた絶縁膜２２とを有する静電型アクチュエータ１６の駆動方法であって、電源電圧を昇圧して静電型アクチュエータ１６の駆動電圧を生成するステップと、静電型アクチュエータ１６をアップ状態に設定する場合に、第１及び第２の電極２１，２３にそれぞれ駆動電圧を印加するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】接触抵抗を低減して挿入損失を抑制することが可能な有接点スイッチを提供する。
【解決手段】有接点スイッチ１は、基板１１に並列配置された複数の固定接点電極１４と、複数の固定接点電極１４に対向して複数の接点梁１２ａを有すると共に、基板１１面内を固定接点電極１４の配列方向に沿って摺動可能なプッシュロッド１２と、接点梁１２ａに設けられた可動接点電極１３とを備える。プッシュロッド１２の摺動動作により、固定接点電極１４と可動接点電極１３との接触状態および非接触状態が切り替えられ、伝送線路１５を機械的に継断する。固定接点電極１４および可動接点電極１３の組（接点対１０）が並列化した接点構造が実現され、全ての接点対１０における接触が同時に一括して行われつつも、各接点対１０における接触は互いに独立なものとなる。各接点同士は十分な接触圧で略均等に接触し易くなる。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳが搭載される半導体基板と高周波動作で使用される電子部品との電磁的な結合を低減しつつ、そのような電子部品をその半導体基板上に形成する。
【解決手段】可動電極１２を覆うようにして可動電極１２と間隔を空けて配置された絶縁層１３およびキャップ膜１４を層間絶縁層８上に形成し、可動電極１２の周囲には空洞Ｕを形成し、キャップ膜１４上には導電層１５ａを形成するとともに、層間絶縁層８上には再配線１５ｂが形成され、導電層１５ａにて伝送線路を構成する。 （もっと読む）

【課題】電力コストの低い電気機械装置を提供すること。
【解決手段】本発明の電気機械装置はメカニカルスイッチを含む。メカニカルスイッチは第１及び第２の安定湾曲状態を持つバイレイヤーを含む。第１の状態から第２の状態へのバイレイヤーの変形によってスイッチが閉じる。 （もっと読む）

【課題】スイッチモジュールを提供する。
【解決手段】装置は、特性時間にわたって開放構成と完全閉鎖構成（最低特性抵抗に関連）との間で移動するように構成された電気機械スイッチ構造体１０２を有する。転流回路１２０は、電気機械スイッチ構造体と並列接続されており、電気機械スイッチ構造体の接点間のアーク形成を抑制するように構成された平衡ダイオードブリッジ１２２と、平衡ダイオードブリッジを通るパルス電流の流れを発生させるために（電気機械スイッチ構造体の切り替え事象に関連して）パルス信号を形成するように構成されたパルスキャパシタ１４６を含むパルス回路１４２とを有する。電気機械スイッチ構造体及び平衡ダイオードブリッジは、転流回路に関する合計インダクタンスが特性時間と最低特性抵抗との積以下になるように配置される。 （もっと読む）

【課題】ミクロ電気機械システム（ＭＥＭＳ）構造体のスイッチ装置が提供される。
【解決手段】スイッチ構造体は基板１０８上に各々それぞれの配置を含む導電性要素１０４を含むことができる。導電性要素１０４は、実質的に金属性材料からなることができ、導電性要素１０４がある分離間隔で接点１０２から離れている第１の位置と、導電性要素１０４が接点１０２と接触し機械的エネルギーを蓄積する第２の位置との間で変形可能であるように構成することができる。導電性要素１０４はさらに、ほぼ室温〜金属性材料の融解温度のほぼ半分の温度において少なくとも１０⁷秒の累積時間で第２の位置に変形された後外力の不在下での分離間隔が累積時間の間２０パーセント未満変化するように構成することができる。 （もっと読む）

【課題】漏れ電流を抑制し、漏れ電流による電力消費を低減すること。
【解決手段】活性層１１ｃを含む基板１１と、活性層の表面に形成される信号電極ＳＬと、活性層の表面に形成され、グランド接続される第１の駆動電極１４と、活性層の表面に形成される第１の部分１５ａ，１５ｃと、第１の部分に接続され、第１の駆動電極の上方に位置する第２の部分１５ｂと、を含む第２の駆動電極１５と、を備え、基板１１には、活性層１１ｃを貫通し且つ第１の部分１５ａ，１５ｃを包囲する環状の溝部２２，２３が形成される。 （もっと読む）

【課題】接点間の閉成時に可動接点が伝送線路の中心導体と接地導体とに跨って接触するのを防止することができる接点装置及びそれを用いたリレー、並びにマイクロリレーを提供する。
【解決手段】信号線を成す中心導体１０、及び中心導体１０の両側に中心導体１０と一定間隔を空けて同一面上に配置された接地導体１１からコプレーナ線路を構成する伝送線路１と、伝送線路１の中心導体１０に設けられた固定接点１０ａと、固定接点１０ａに接離自在な可動接点２０と、可動接点２０を有するとともに可動接点２０が固定接点１０ａと接触する位置と開離する位置との間で揺動自在な可動部２とを備え、伝送線路１は、接地導体１１において中心導体１０と可動接点２０とが接触する部位近傍を中心導体１０よりも薄くなるように形成した。 （もっと読む）