構成可能なマルチゲートスイッチ回路を伴う集積回路を提供する。スイッチ回路は、スイッチ制御回路と、マルチゲートスイッチのアレイとを含んでもよい。各マルチゲートスイッチは、第１および第２の端子と、第１および第２のゲートと、金属ブリッジとを有してもよい。金属ブリッジは、第１の端子に取り付けられる。金属ブリッジは、ゲートを越えて延在してもよく、オフ状態で第２の端子に覆いかぶさってもよい。金属ブリッジは、オン状態で第２の端子と物理的に接触するように下方に曲がる先端を有してもよい。スイッチ制御回路は、スイッチアレイに所望のスイッチ状態をロードするように、行および列制御信号を提供してもよい。スイッチアレイは、マルチプレクサを形成するスイッチのグループに分割されてもよい。マルチプレクサは、プログラム可能論理デバイス回路等のプログラム可能回路において使用されてもよい。
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本発明は、一般に、ホット・スイッチング(hot switching)が可能なＲＦ ＭＥＭＳデバイスに関する。ＲＦ ＭＥＭＳデバイスは、１つ又はそれ以上のスプリング機構を利用することによって、ホット・スイッチングが可能である。ある実施形態では、２つ又はそれ以上のスプリングセットが使用でき、ＭＥＭＳデバイスのカンチレバーの変位における特定ポイントにおいて関与する。スプリングは、所定の引き込み(pull in)着地電圧で、解放電圧の著しい増加を可能にする。
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【課題】スイッチを切り替えるための駆動力を低減し、小型化、低コスト化を図ることができ、加えて、長寿命化を図り、耐久性を向上させることができるようにする。
【解決手段】マイクロマシニング技術を用いて製作され、内部に空洞１６が形成された構造部材１２、１３、１４を備え、構造部材１２の空洞１６に面する面において、互いに離間されて２つの信号用接点２２ａ、２３ａが形成される。空洞１６内には、空洞１６内において構造部材のいずれの部分とも連結されない可動部材２０が配置される。可動部材２０は空洞１６内で移動駆動され、可動部材２０の導体２０ａが２つの信号用接点２２ａ、２３ａに対して接触した第１スイッチ切替状態と、２つの信号用接点２２ａ、２３ａに対して離反した第２スイッチ切替状態とに、切替可能となっている。 （もっと読む）

【課題】封止枠と蓋を含む封止部を有する微小機械素子（ＭＥＭＳ）において、封止の密閉度および信頼性を向上させる。
【解決手段】基板１１０上に絶縁層１０９および保護層１０７を形成し、保護層１０７上に形成された、例えばスイッチのような微小電気機械素子１００であって、蓋１１００および封止枠１０９０からなる封止部によって気密封止されており、封止部をまたぐ配線１０４が、絶縁層内に形成され、配線１０４と、保護層１０７上に形成された配線１０２、１０３とをつなぐ、前記保護層１０７を貫通するビア配線１０５が形成されている素子である。封止部をまたぐ配線１０４が絶縁層１０９内に埋め込まれているため、封止枠１０９０を平坦な面に形成することができ、信頼性の高い気密封止が実現される。 （もっと読む）

【課題】クリープ現象による特性劣化を抑制するＭＥＭＳデバイスを実現する。
【解決手段】本発明の例に関わるＭＥＭＳデバイスは、基板９上に設けられる電極１１，１２と、基板９上に設けられた第１及び第２のアンカー部によって、電極１１，１２上方に中空に支持され、電極１１，１２に向かって動く可動構造２と、アンカー部と可動構造２とを接続し、延性材料が用いられるばね構造と、アンカー部５２と上部電極２とを接続し、脆性材料が用いられるばね構造４５とを、具備する。 （もっと読む）

【課題】相互嵌合電極を備えた電気機械アクチュエータを提供する。
【解決手段】静電気的に作動する電気スイッチのようなアクチュエータが提供される。このスイッチは、そのスイッチの可動要素の一部分を形成する第１組の導電プレートＰＭを含み、この第１組の導電プレートＰＭは、基板の一部を形成する１組の導電プレートＰＦと相互に嵌合される。第１組の導電プレートＰＭ、ＰＦとは原則として基板１０の表面に対して垂直である。第１組の導電プレートＰＭ、ＰＦは高さ方向において部分的に重なり合い、第１組の導電プレートＰＭ、ＰＦの間に制御電圧を印加すると、可動要素の導電プレートＰＭを基板１０に近接するように動かす垂直力が生じる。可動要素の導電プレートＰＭは、これらの導電プレートＰＭの端部を結合する導電性の端部クロス部材２２、２４によって相互に連結され、それによって、定置の導電プレートＰＦを側面から囲繞する形になる。 （もっと読む）

【課題】 集積ＭＥＭＳスイッチ、設計構造体、及びそうしたスイッチの製造方法を提供する。
【解決手段】 本方法は、犠牲材料（３６）の少なくとも１つのタブ（３２ａ）を、犠牲材料内に埋め込まれたスイッチング・デバイス（３４）の側部に形成することを含む。本方法は、スイッチング・デバイスの側部にある少なくとも１つのタブの上に形成された少なくとも１つの開口部（４０）を通って犠牲材料を剥離することと、少なくとも１つの開口部をキャッピング材料（４２）で密封することとをさらに含む。 （もっと読む）

【課題】微細構造体の接点に働く接着力を精度よく推定することができる接着力推定方法および接着力推定装置を提供する。
【解決手段】推定装置１７０は、接触部１１４が接点部材１２０に接触した状態から接点部材１２０から離間するまでに変化する容量を取得し、この容量量に基づいて接着力を推定する。これにより、実際の微細構造体１を同じ状態で接着力を推定することができるので、結果として、微細構造体１の接点に働く接着力を精度良く推定することができる。 （もっと読む）

【課題】プログラム機能を有する静電型ＭＥＭＳアクチュエータを実現する。
【解決手段】本発明の例に係るプログラマブルアクチュエータは、第１駆動電極３Ａを含む可動部１と、第１駆動電極３Ａに対向し、第１及び第２部分５ａ，５ｂから構成される第２駆動電極３Ｂと、第２駆動電極３Ｂの第１部分５ａと第１駆動電極３Ａとの間に第１電位差を発生させることにより両電極を電気的に接触させない状態で可動部１を複数回動作可能にする第１駆動回路６ａと、第２駆動電極３Ｂの第２部分５ｂと第１駆動電極３Ａとの間に第２電位差を発生させることにより両電極を電気的に接触させた状態で可動部１を固定可能にする第２駆動回路６ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】二方向への動作を行い、スイッチの小型化を実現できる駆動装置およびこれを備えたスイッチを提供する。
【解決手段】第２の駆動部２Ｂにより、第１可動電極５２の初期位置を、第１初期位置Ｐ１と第２初期位置Ｐ２とに設定可能とする。オフ動作時には第１可動電極５２が第１初期位置Ｐ１にある。第２固定電極６１の電位を５Ｖとすると、静電力により第２可動電極６２が第２固定電極６１側に吸引されて杆４０が左へ小さく移動し、第１可動電極５２が第２初期位置Ｐ２に変位する。更に、第１固定電極５１および第２固定電極６１の電位を５Ｖとすると、第１可動電極５２が第１固定電極５１Ａ側に吸引されて杆４０が左へ大きく移動する。一方、オフ状態で第１固定電極５１の電位を５Ｖとすると、静電力により第１可動電極５２が第１固定電極５１Ｂ側に吸引され、杆４０が右へ大きく移動する。 （もっと読む）