【課題】サイズを小さくしかつ切換速度を速くしたマイクロメカニカル素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロメカニカル素子５は、２つの接触電極３a、３bを橋絡する可動電極である切替素子６と、この切替素子６を接触電極３a、３bに対して静電力により垂直方向に移動し、接触電極３a、３bに接触した状態と離れた状態の２つの安定した状態に保持するための切換電極２a、２bとを有し、切換電極２a、２bは接触電極３a、３bの間とその上方に配されて構成されている。 （もっと読む）

【課題】マイクロ電気機械システム（ＭＥＭＳ）式熱応動スイッチを提供する。
【解決手段】スイッチは、基板内にソースとドレインを有するＦＥＴと、基板から分離されている梁を含んでいる。梁は、ソースとドレインの上方に配置されており、所定の空隙によって離されている。熱的設定点に達すると、梁が動いてソースをドレインに電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】開口率の向上が図れ、例えばプロジェクターのライトバルブ等に用いて好適なスイッチング素子基板を提供する。
【解決手段】本発明のスイッチング素子基板は、基板本体２４に形成されたソース電極１９、ドレイン電極２１、ゲート電極２０と、一端が固定端としてソース電極１９に支持されるとともに自身の弾性変形により他端が自由端として移動可能とされ、ソース電極１９と電気的に接続された梁部２２と、を有するスイッチング素子を備え、スイッチング素子１８は、ゲート電極２０への印加電圧に応じて梁部２２の自由端をドレイン電極２１に接触させるか否かを切り換えてスイッチング動作を行うものであり、梁部２２の延在方向が基板本体２４の表面に対して略垂直な方向を向くように配置されている。 （もっと読む）

【課題】 マイクロ電気機械システムスイッチを提供する。
【解決手段】 スイッチは、支持面を有する基板を含む。切欠きを有する駆動面及び延出部分を有する電気接触面が設けられる。延出部分は切欠きの中に設けられる。基板にビームが装着される。ビームは、駆動時に撓んで延出部分の少なくとも一部と接触し且つ延出部分を介して電流を搬送するように構成された可動自由端部を含む。 （もっと読む）

【課題】電気経路を有するマイクロ電気機械システムスイッチを提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳスイッチ１０は、第１の部分１２と第２の部分とを含む。スイッチが開位置にある場合（又はスイッチの構造によっては閉位置にある場合）は、第２の部分は第１の部分１２に対して重複しない位置に偏移される。ＭＥＭＳスイッチ１０はさらに、第１の部分１２と第２の部分とを移動して、これらの部分を接触させるアクチュエータ１６を含む。 （もっと読む）

【課題】 デバイスの既存の配線層を用いたハイブリッドＭＥＭＳ ＲＦスイッチを有する構造およびかかる構造を製造する方法を提供する。
【解決手段】 ＭＥＭＳスイッチを製造する方法は、デバイスの下部配線層から強制電極を形成することと、デバイスの上部配線層から下部電極を形成することと、を含む。この方法は、更に、強制電極の上および下部電極の上に可撓性の片持ち梁アームを形成して、強制電極に電圧を印加すると可撓性の片持ち梁アームが下部電極に接触してＭＥＭＳスイッチを閉じるようにすることと、を含む。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い可動部を有する半導体装置の製造方法及び半導体装置を提供する。
【解決手段】支柱２１と接続した上部駆動電極２３及び上部容量電極２５が、シリコン窒化膜２７を介して、梁状に延びている。つまり、離間し相対向した上部駆動電極２３の端部と上部容量電極２５の端部の、それぞれの上面に接して、上部駆動電極２３及び上部容量電極２５にほぼ並行して配設されたシリコン窒化膜２７が形成されている。シリコン窒化膜２７は、上部駆動電極２３及び上部容量電極２５となる導電膜の上面に、連続した工程としてＣＶＤ法により堆積され、その後、ＲＩＥ法でパターニングして形成されたものである。シリコン窒化膜２７は、膜厚や膜質に不連続や不均質な部分が少なく、上部駆動電極２３及び上部容量電極２５と密着性が良好に形成されている。 （もっと読む）

【課題】低消費電力のスイッチ及びＥＳＤ保護素子を提供する。
【解決手段】本発明の例に関わるスイッチは、基板１０上に設けられた第１及び第２の電極１１，１２と、第１の電極１１上に設けられたアンカー１４と、アンカー１４に支持され、アンカー１４から第２の電極１２上方まで延在し、導電体が用いられ、第２の電極１２に対して上下方向に動く可動構造１５と、可動構造１５の端部に設けられ、第２の電極上方に配置される接点部１６と、可動構造１５上に設けられ、可動構造１５を構成する材料と応力差を有し、接点部１６を第２の電極１２に向かって反らせる調整膜１８と、可動構造１６の周囲を取り囲むように基板１０上に設けられ、調整膜１８に接触し、駆動電極として機能するキャップ２０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】所謂スティッキング現象に基づく作動不良の発生を防止可能なＭＥＭＳスイッチを提供することを課題とする。
【解決手段】本発明に係るＭＥＭＳスイッチは、所定の間隔をもって形成された少なくとも２本の平行な可動電極と；前記可動電極に連結され、当該可動電極に連動して移動する第１可動接点と；前記第１可動接点と対向し、前記可動電極の移動によって当該第１可動接点と接触／離間してオン・オフする第１固定接点と；前記少なくとも２本の平行な可動電極の間に形成され、互いに所定の間隔をもって配置された第１及び第２固定電極とを備えている。そして、前記第１及び第２固定電極に印加される電圧によって前記可動電極を駆動する。 （もっと読む）

【課題】信号線と駆動線とが電気的に分離され且つ長い接点開閉寿命を実現するのに適したスイッチング素子、並びにそのようなスイッチング素子を含んで構成される通信機器を提供する。
【解決手段】本発明のスイッチング素子Ｘ１は、固定部１１と、可動ランド部１２ａおよび梁部１２ｂ，１２ｃを有する可動部１２と、可動ランド部１２ａ上、梁部１２ｂ上、および固定部１１上にわたって設けられ且つ可動ランド部１２ａ上において接点部１３ａを有する信号線１３と、接点部１３ａに対向する接点部１４ａを有する信号線１４と、可動ランド部１２ａ上、梁部１２ｃ上、および固定部１１上にわたって設けられ且つ可動ランド部１２ａ上において駆動電極部１５ａを有する駆動線１５と、駆動電極部１５ａに対向する駆動電極部１６ａを有する駆動線１６とを備える。 （もっと読む）