【課題】 エネルギー拡散を低減した電子源及び電子顕微鏡又は電子ビームリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、荷電粒子を使用するために適切である電子源であって、その電子源において電子ビームが、電位、熱励起及び光励起の少なくとも１つの影響下にある電極から引き出されることができ、少なくとも電極の一部は離散的エネルギーレベルに量子化された伝導帯を有する半導体材料から構成される、電子源を提供する。そのような電子源は、比較的小さいエネルギー拡散であって、典型的には、冷電界放出銃（ＣＦＥＧ）のエネルギー拡散に比べて非常に小さいエネルギー拡散を享受している。前記半導体材料は、例えば、半導体なのウェーブから構成されることが可能である。そのようなナノワイヤのための適切な半導体材料の例にはＩｎＡｓ及びＧａＩｎＡｓがある。 （もっと読む）

【課題】高輝度かつ狭エネルギー幅の電子ビームが得られる電界放出型電子銃と、電界放出型電子銃を搭載した電子ビーム応用装置を提供する。
【解決手段】繊維状炭素物質とそれを支持する導電性基材から構成される電界放出型陰極と、電子を電界放出させる引出装置と、電子を加速させる加速装置を有する電界放出型電子銃において、繊維状炭素物質に原子価が３価および５価の元素のうち少なくとも１種が含有されている。特に、３価および５価の元素はそれぞれホウ素および窒素である。さらに、繊維状炭素物質へのホウ素および窒素のうち少なくとも１種の含有量が、炭素に対する原子重量比として０.１ 〜５％であり、該繊維状炭素物質の直径は、２０〜200ｎｍである。さらに、この電界放出型電子銃を各種電子ビーム応用装置に適用する。 （もっと読む）

【課題】平面型電子ビーム源を有する電子ビーム照射装置において、電子ビームのロスを少なくし、電子ビーム密度を高め、コンパクト化し、高速処理を可能にする。
【解決手段】強誘電体層２の各面に、共通電極１と、電子発生用開口部31のある電子発生電極３を設ける。所定距離はなして、電子収束用開口部41がある加速電極４を設ける。電子ビーム源の電子発生電極３の開口率よりも、加速電極４の開口率を大きくして、電子ビームのロスを少なくする。さらに、電子ビーム源である強誘電体層２の表面に、二次電子放出能力の高いＭgＯ膜や窒化アルミニウム膜等を積層して、電子ビーム放出密度を高める。電子集束部として、金属メッシュ電極と誘電体メッシュの複数層から構成される電子ビーム集束板を設けると、電子ビーム密度を高めてもコンパクト化できる。また、電子ビームの照射面を両面とすることで、電子照射効率を２倍にできる。 （もっと読む）

【課題】高スループット、高解像度、広い焦点深度が要求される電子線露光装置に用いることができる電子線露光用電子源を提供する。
【解決手段】電子線露光用電子源１は、面電子源部１０と、面電子源部１０の電子を収束する収束電極８とが、同一の素子形成基板１１に設けられている。面電子源部１０は、弾道電子面放出型の電子源により構成されている。収束電極８は、絶縁層９に埋設されており、表面電極７の側方に位置している。絶縁層９は、強電界ドリフト層６上と素子分離層３ｂ上とに跨ってパターン形成されたシリコン酸化膜からなる第１の絶縁膜９ａと、第１の絶縁膜９ａと第１の絶縁膜９ａ上の収束電極８とを覆うようにパターン形成されたシリコン酸化膜からなる第２の絶縁膜９ｂとで構成されている。 （もっと読む）

【課題】 カーボンナノ材料と陰極部材との接合強度を上げることで、電子源としての寿命が長く、また、製作時の歩留まりがよい電界放射電子源を提供する。さらに、カーボンナノ材料の軸方向と電子光学系の軸方向の一致度をたかめ、光学調整が容易な電界放射電子源を提供する。
【解決手段】 陰極部材１の先端にカーボンナノ材料からなる細線部材２が接合され、細線部材２の先端から電子が放射するように形成された電界放射電子源において、細線部材２が陰極部材１先端に形成された平坦面１ａ上で接合されるようにして、接合により生じる細線部材２の応力を低減する。また、平坦面１aの方向と光軸の方向を略直行させることで、細線部材２の軸方向と電子光学系の光軸37の方向の一致度が向上し、簡便な光学調整で電子ビームを効率よく輸送でき、かつ収差を小さくできる。 （もっと読む）

本発明は、複数の電子ビーム（５９）を放出する電子放出デバイス（５０）に関するものである。本発明によるデバイスは、電子ビーム（６９）を放出する複数の放出源（６１）を備えている第１構造（６）と、複数のダイヤフラム開口（８）を備えている第２構造（７）と、を具備し、第１構造と第２構造とが、ハイブリッド化手段（９）によってハイブリッド化されている。
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【目的】 真空マイクロデバイス等に用いるにおいて、電界放出陰極材料として、金属が使え、特性がよく、かつ形状制御の容易な電界放出陰極が形成でき、また、アノードとの距離を一定にするスペーサも簡単に形成できる電界放出陰極の作成方法を得る。
【構成】 角錐型あるいは円錐型の凹みを基板上に設け、その上に電界放出陰極材料をスパッタ等で形成する。その後基板を除去する時スペーサ形成部分にマスクをかけてエッチングを行うことによりスペーサと電界放出陰極を形成する。
【効果】 性能、信頼性が高く製造コストの安い電界放出陰極が製造できる。 （もっと読む）