【課題】電子線及び電子ビーム機器や真空管、特に、電子顕微鏡に使用される、高輝度高安定性を有する電子ビームが得られる電子銃を提供することを課題とする。
【解決手段】上記課題を解決するため本発明に係る電子銃は、電子光学機器に使用される冷陰極電界放出電子銃であって、１０００℃以下で動作し、得られる電子放出特性として、エミッション電流安定性が５％未満で且つ角電流密度が５０μＡ／ｓｒより大きいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電子源の拡散源の経時的な蒸発消耗に起因した温度上昇を抑制し、安定した電子線を与える電子源を提供する。
【解決手段】電子源を、タングステン又はモリブデンの＜１００＞方位の単結晶からなる陰極と、陰極の中腹部に設けられた拡散源と、拡散源の外周に設けられた高融点金属で形成する。他の発明は、タングステン又はモリブデンの＜１００＞方位の単結晶からなる陰極と、陰極の中腹部に設けられた高融点金属の多孔質体中に含有された拡散源を有する電子源である。 （もっと読む）

【課題】電子線及び電子ビーム機器や真空管、特に、電子顕微鏡や電子ビーム描画装置等の電子光学機器に使用される、高輝度高安定性を有する電子ビームが得られる電子銃を提供する。
【解決手段】電子光学機器に使用される電子銃であって、電子放出部分がダイヤモンドであり、総電子放出電流が５０μＡ以下の時、電子放出の立体角０．０００２ｓｒの範囲内の電流が総電子放出電流の０．０２５％以上であることを特徴とする電子銃により解決される。 （もっと読む）

【課題】偏極電子ビームを簡便に発生させることができる偏極電子銃、偏極電子線の発生方法、電子銃の評価方法、及び逆光電子分光方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる偏極電子銃は、レーザ光源１１と、レーザ光源からの光を分岐する光分岐手段１２と、光分岐手段１２で分岐された一方のレーザ光に入射位置に応じた位相差を与える偏光変換素子３６と、偏光変換素子３６を介して入射した一方のレーザ光を集光するレンズ１８と、レンズ１８によって集光された一方のレーザ光が他方のレーザ光と同期して入射する半導体のフォトカソード２１と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は冷陰極電子銃の自動入射軸合わせ方法に関し、電子ビームのアノード電極Ａ２に対する入射軸を自動で最適化することができる冷陰極電子銃の自動入射軸合わせ方法を提供することを目的としている。
【解決手段】集束レンズ群と、対物レンズ群と、中間レンズ群と、投影レンズ群と、１個以上の対物絞りを備え、電子銃の第１のアノード電極Ａ１及び第２のアノード電極Ａ２に電界を印加することによってエミッタから電子ビームを発生させる冷陰極電子銃を備え、該電子銃のアノード電極Ａ２に対する機械的位置を調整するためのモータを備えた透過型電子顕微鏡において、前記モータを駆動して電子銃を機械的に走査させ、環状のアノード電極Ａ２の開口に対する電子ビームの入射軸を調整し、アノード電極Ａ２の開口を通過する電流量が最大となる時の前記電子銃の最適な機械的位置を自動的に取得するように構成する。 （もっと読む）

【課題】不連続的放出パターンを有する荷電粒子エミッタによる荷電粒子装置及び方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビーム装置及び方法。装置は、少なくとも２つの放出ピークを含む放出パターンを有するエミッタ（１０２）と、ガンレンズ（１１９、５１９、９１９）と、ダイヤフラム（１２０）とを含み、ガンレンズは、デフレクタ・ユニット（１１０）を含み、デフレクタ・ユニットは、少なくとも２つの放出ピークのうちの放出ピークをダイヤフラムの開口部に向け、それによって少なくとも２つの放出パターンから放出ピークのうちの放出ピークを選択するようになっている。 （もっと読む）

本発明は、ＴＥＭ中において超高速時間分解でその場でイメージングする四次元超高速電子顕微鏡（ＵＥＭ）に関する。単電子イメージングが四次元ＵＥＭ技術の要素技術として使用されて、従来の技術では得ることができない高空間および時間分解能が得られる。本発明の他の実施形態は、電子ビームを試料に収束して、三次元での構造的な特徴を時間の関数として測定する収束ビーム型のＵＥＭについての方法およびシステムに関する。また、実施形態によって、試料の四次元イメージングだけでなく、電子エネルギーのキャラクタリゼーションが得られて、時間分解電子エネルギー損失分光法（ＥＥＬＳ）が実行される。 （もっと読む）

【課題】取付易く、耐用寿命が長い電子ビーム源を提案する。
【解決手段】ビーム電子源は、ベースと、ベースに固定され、ベースから離れて延在するチップし、第１材料からなる表面および第２材料からなる被覆層を塗布されたコアを備え、第２材料がチップの表面を提供するチップと、被覆層に電気的に接続された第１電気端子と、チップに向かい合う間隙を有する抽出電極と、抽出電極に電気的に接続された第２電気端子とを備える。第１材料の電気伝導率が、１０^５Ｓ／ｍ、１０^３Ｓ／ｍ、１０Ｓ／ｍ、１０^−１Ｓ／ｍ、１０^−３Ｓ／ｍ、１０^−５Ｓ／ｍまたは１０^−７Ｓ／ｍよりも低いか、第２材料の電気伝導率が、１０^−７Ｓ／ｍ、１０^−５Ｓ／ｍ、１０^−３Ｓ／ｍ、１０^−１Ｓ／ｍ、１０^２Ｓ／ｍ、１０^４Ｓ／ｍまたは１０^６Ｓ／ｍよりも高いか、第２材料と第１材料の電気伝導率との比率が、１０：１、１００：１、１０^４、１０^６または１０^８よりも大きいかの少なくとも１つの条件を満たす。 （もっと読む）

【課題】放熱性を十分に確保しつつ、電子親和力が低いことにより、高輝度を達成するとともに加熱温度を抑えてエネルギー幅を抑制することが可能な電子放射陰極、当該電子放射陰極を備えた電子顕微鏡および電子ビーム露光機を提供する。
【解決手段】引出電極との間に電圧が印加されることにより、電子を放出する電子放射陰極９１は、本体部９６と、本体部９６から突出する先細形状の先鋭部９７とを備えている。本体部９６および先鋭部９７はダイヤモンド単結晶からなっている。そして、先鋭部９７の表面上には、Ａｌ_ｘＧａ_１−ｘＮ（０＜ｘ≦１）で表され、ドナー不純物を含むｎ型ＡｌＧａＮ層９８が形成されている。 （もっと読む）

【課題】電子源及び電子源を利用した機器において、より低温で動作し、よりエネルギー幅が小さい低仕事関数を有し、さらに高い角電流密度で長時間安定動作するようにする。
【解決手段】絶縁碍子と、絶縁碍子に取り付けられた２つの導電端子と、導電端子同士を渡るように取り付けられたフィラメントと、フィラメントに取り付けられた棒状のロッドと、ロッドの中腹に取り付けられた拡散源を有し、ロッドがタングステン、モリブデン、タンタル、レニウムからなる群から選ばれる少なくとも１種以上からなる金属の＜１００＞方位単結晶で形成され、ロッドの先端部には｛１００｝結晶面を露出した電子放出面が形成され、拡散源は酸化バリウム、酸化カルシウム、酸化アルミニウムの複合酸化物からなる電子源である。 （もっと読む）