【課題】Ｗ（３１０）面からの放出電流の減衰の仕方の特徴を用いて、電界放出型電子源をより安定して使う方法の開示を目的とする。
【課題手段】本発明では、タングステンの＜３１０＞単結晶からなる電界放出電子源と、当該電子源が配置される真空室と、前記真空室を排気する排気系と、前記電子源と接続され、電流を流して前記電子源を加熱するフィラメントと、当該フィラメントに電流を流す電源と、当該電子源から放出される総電流量を測定する電流計と、を備える荷電粒子線装置であって、前記総電流量を定期的に測定し、当該総電流量が、最初の電子線放出直後の前記電子源からの総電流量、または前記フィラメントに電流を流した直後の前記電子線からの総電流量に対して所定の比率以下になったときに、前記電源が前記フィラメントに電流を流すように制御する制御部を備えることを特徴とする荷電粒子線装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】現用のＺｒ／Ｏ／Ｗ電子源よりも電子放出面の仕事関数を減少させ、狭エネルギー幅かつ高電流密度の放出電子が得られ、長寿命な電子源を提供し、高分解能像が短時間に得られる電子顕微鏡や高スループットな電子線描画装置を実現する。
【解決手段】先端を針状にした金属からなる針状電極１０４と、前記針状電極を加熱する発熱体１０３からなる電子源において、前記電子源は前記発熱体により加熱可能な拡散源を有し、酸素を含むバリウム化合物と炭素粒子の混合物を拡散源１０６とする。 （もっと読む）

【課題】ベローズを用いることなく、光電面を所定の位置まで移動させることができるようにして、光電面の移動可能な距離を長くし、また、コストを低減し、装置の小型化を図ることができる電子線発生装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る電子線発生装置１は、光電面収容カートリッジ２と、膜破り器３２と、カソードプラグ移動用ロッド３とを備えている。光電面収容カートリッジ２は筒状部材であり、この筒状部材の開口部には、封止膜１５，１６が取付けられている。この筒状部材内には、カソードプラグ保持用リング１１が取り付けられていて、光電面を取付けたカソードプラグ１０がカソードプラグ保持用リング１１に保持されている。カソードプラグ１０とカソードプラグ移動用ロッド３には両者を結合する結合手段が設けられていて、カソードプラグ１０はカソードプラグ移動用ロッド３を用いて光電面収容カートリッジ２から取り出すことができる。 （もっと読む）

【課題】 低電圧、低電力で所望の温度に加熱でき、安定した高い電流密度を得ることができる電子源を提供する。
【解決手段】 本発明の電子源は、絶縁性のベースと、該ベースに設けられた支柱と、電子放出部と、該電子放出部を挟持し、且つ前記電子放出部と前記支柱とを電気的に接続するスペーサとを有し、該スペーサが熱分解黒鉛からなるとともに、前記スペーサと、前記電子放出部及び前記支柱との接触面以外のスペーサの面に金属化層が形成されており、前記接触面には金属化層が形成されていないことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低温動作し、小さいエネルギー幅と低仕事関数を有し、さらに高い角電流密度で長時間安定動作する電子源を提供する。
【解決手段】絶縁碍子５と、絶縁碍子に取り付けられた２つの導電端子４と、導電端子同士を渡るように取り付けられたフィラメント３と、フィラメントに取り付けられた棒状のロッド１と、ロッドの中腹に取り付けられた拡散源２を有し、ロッドがタングステン、モリブデン、タンタル、レニウムからなる群から選ばれる少なくとも１種以上からなる金属の＜１００＞方位単結晶で形成され、ロッドの先端部には｛１００｝結晶面を露出した電子放出面が形成され、拡散源は酸化バリウム、酸化スカンジウムの複合酸化物からなり、該複合酸化物の酸化バリウムの組成比が５０ｍｏｌ％以上、酸化スカンジウムの組成比が１０〜５０ｍｏｌ％である。 （もっと読む）

【課題】電子放出性能を向上可能な電子放出素子、及び、そのような電子放出素子の作製方法を提供する。
【解決手段】基材３と、基材３の端部３ａに設けられた突起５と、突起５の表面に設けられ導電性を有する導電性皮膜７と、を備え、突起５は、一辺が１０００μｍである立方体内に収容可能な形状を有し、突起５の先端部５ｂの表面は露出しており、導電性皮膜７の厚さは、突起５の基端部５ａから先端部５ｂへ向かう方向に連続的に減少している。 （もっと読む）

【課題】電子ビームのエミッタンスを減少させることができる電子ビーム発生装置を提供する。
【解決手段】本発明による電子ビーム発生装置は、電子ビームが生成される後面部と、生成された電子ビームが外部に排出されるように電子ビーム排出ホールが形成された前面部と、後面部と前面部を連結する側面部と、を含み、側面部には第１のホールが形成され、第１のホールにより誘発される電場不均衡を減少させるように第１のホールと向かい合う反対側側面部に第２のホールが形成されたハウジング、及び第１のホールを介してハウジング内部に電磁気波を供給するように側面部に設置されるウェーブガードを含み、ハウジング内部に入射されたレーザーによって電子ビームが生成され、ハウジング内部に供給された電磁気波によって電子ビームが加速される。 （もっと読む）

【課題】高価な大型（ｍｍ以上クラス）の単結晶ダイヤモンドを利用することなく、ダイヤモンド電子源を提供する。
【解決手段】基台部と、その先端に位置する電子放出部とを有し、該電子放出部が、最大径が１０μｍ以上で、（１１１）面と（１００）面とを有するダイヤモンド砥粒であって、該砥粒の電子放出面に高さが５μｍ以上のダイヤモンドの突起が形成されているダイヤモンド砥粒でからなることを特徴とするダイヤモンド電子源。また、前記ダイヤモンド砥粒において、少なくとも砥粒の一部にＣＶＤ法でダイヤモンドが合成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】冷陰極電界放出型電子源への希土類六ホウ化物の適用を実現し、輝度や電子源の寿命が向上し、エネルギーの広がりも抑制できる電子源を提供する。
【解決手段】高電界により電子放出する冷陰極電界放出型電子源であって、希土類六ホウ化物単結晶ナノファイバが電子源支持針の表面に取り付けることで、上記課題を達成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、低収差の冷陰極型電子銃を提供することで、大電流においても高輝度の電子銃を提供することを目的とする。
【課題手段】本発明は、電子線を陰極から引き出し、引き出された電子線を収束する電界放出型電子銃において、レンズ磁界中に陰極が配置されるように磁場レンズを備え、陰極から電子を引き出すための引出電極を、絞り構造のない円筒形で構成したことを特徴とする。
【効果】本発明によれば、磁場を用いて電子線を収束する機能を持つ電子銃において、付随して発生する静電レンズ作用を低減し、収差が少なく輝度が高い電子銃を提供することができる。 （もっと読む）