【課題】低コストで分割数の多い偏光ビームに変換することができる偏光ビーム変換素子、及びそれを用いた偏光ビーム変換方法、電子銃、ビーム測定装置、電子発生方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様にかかる偏光ビーム変換素子は、第１の波長板１０には、４分割された分割領域１１〜１４が設けられ、分割領域１１〜１４のそれぞれにλ／８板が設けられ、λ／８板の軸方位が、隣接する２つの分割領域では略直交しており、かつ対向する２つの分割領域では略平行であり、第２の波長板２０には、４分割された分割領域２１〜２４が設けられ、分割領域２１〜２４のそれぞれにλ／４板が配置され、λ／４板の軸方位が、隣接する２つの分割領域では略直交しており、かつ対向する２つの分割領域では略平行であり、分割領域のそれぞれがずれて配置され、λ／８板とλ／４板の軸方位がずれているものである。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビーム装置の分解能を高める。
【解決手段】荷電粒子ビームを光軸に沿って放出するエミッタ組立体が提供される。ガンチャンバ（２０）内に収納されたエミッタ組立体は、エミッタ先端部（１５）を備えたエミッタ（５）を含み、エミッタ先端部は、光軸に垂直な第１の平面のところに位置決めされ、エミッタは、第１の電位まで付勢されるよう構成され、エミッタ組立体は、開口部を備えたエクストラクタ（１１２）を更に有し、開口部は、光軸に垂直な第２の平面のところに位置決めされ、エクストラクタは、第２の電位まで付勢されるよう構成され、第２の平面は、第１の平面から２．２５ｍｍ以上の第１の距離を有する。 （もっと読む）

【課題】引出電極との電位差によって電子線を放出させる電子源を備えた電子銃において、引出電極と絶縁碍子の接合部に生じる電界集中に起因して発生する微小放電を抑制し、絶縁耐力を向上する。
【解決手段】絶縁碍子４の固定ねじの通し穴の面と、絶縁碍子４の引出電極３と金属リング１６が接触する面に、導電性の金属被膜を形成するメタライズ部１３を施すことによって、固定ねじ５の周囲を均一な等電位の領域を形成し、微小放電の原因となる異物や、固定ねじのねじ山の先端部に強電界がかからない構造とした。 （もっと読む）

【課題】電子ビームの時間幅を容易に変更することができる光陰極高周波電子銃、および、当該光陰極高周波電子銃を備えた電子線装置を提供する。
【解決手段】カソード部３と、前記カソード部３にレーザー光８を照射するレーザー照射口４と、前記カソード部３から放出された電子９を加速する加速空胴部５と、前記加速空胴部５の内部に高周波を導入する高周波導入部１５とを備える光陰極高周波電子銃１において、前記加速空胴部５は、二以上の基本セル１０と、前記基本セル１０同士の間に設けられる基本アイリス１２と、前記基本セル１０の出口に最終アイリス１３を挟んで連通された最終セル１１とを有し、前記最終アイリス１３の厚さは、前記第２アイリス１２の厚さと異なることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 電子放出性能を向上可能な突起構造体を提供する。
【解決手段】 突起構造体１は、基体部２と突起部３とからなる。突起部３は、基体部２上に設けられている。基体部２及び突起部３はダイヤモンド結晶を含む。突起部３の先端３２から基体部２と突起部３との境界面Ｓまでの距離ｈ３は、１０μｍ以上１０００μｍ以下である。突起部３は、境界面Ｓから先端３２に向けて先細る形状を有している。突起部３の側面３１は、突起部３の内側に湾曲している。突起部３の先端径は、１０ｎｍ以上３０μｍである。 （もっと読む）

【課題】磁場界浸型Cold-FE電子銃において、長時間の観察においても電子銃や電子光学系の再調整の必要が無く、効率のよい観察を可能とする。
【解決手段】永久磁石を備えた磁路を持ち収束作用を有する磁石レンズ１２０と電子源１０１を備える電子銃１の周辺または内部にゲッターポンプ１６aを備えることで電源を必要とする真空ポンプの設置を不要とし、電子銃１内部の真空度を高く維持する事により、電子源１０１を清浄化しプローブ電流の回復機能を持たせ、電子光学系の再調整を不要とする。 （もっと読む）

【課題】本発明はエミッタアレイを用いた電子プローブ装置に関し、プローブの径を保持したままでプローブ電流を増加させる電子プローブ装置を提供することを目的としている。
【解決手段】リング状に並べられたＦＥエミッタアレイ１と、該ＦＥエミッタアレイ１のビームを回折面に集束させるためのレンズ２と、回折面に配置された絞り３と、該絞り３の絞り面の縮小像を試料６に照射させるための光学系５とからなり、装置のプローブ径を保ったままでプローブ電流値を増大させるように構成される。 （もっと読む）

【課題】 安全性が高く、コンパクトにでき、ＮＯｘを効率よく分解できる排ガス処理装置を提供する。
【解決手段】 上記課題は、窒素酸化物を含有する排ガスの処理装置であって、電界放出型素子よりなる電子放出部が形成された陰極と、陽極と、電子線取出窓と、電子線を発生させる真空チャンバーとを備えた電子線照射装置と、前記電子線取出窓を介して前記電子線照射装置が接続された前記排ガスの流路と、前記排ガスの流路に還元剤を供給する装置を有する脱硝装置を備えたことを特徴とする窒素酸化物を含有する排ガスの処理装置によって解決できる。 （もっと読む）

【課題】ブランカを用いない光スイッチング電子源及びそれを用いた電子線描画装置を提供する。
【解決手段】光スイッチング電子源１は、光源２と、光源２からの断続光が照射されることで電子を発生する電子発生部３と、を備え、電子発生部３は、光励起によって電子を発生する電子源９と、電子源から電子を引き出す電極７と、電子を引き出す電源８と、を備えている。電子源９は、ｐｎ接合又はｐｉｎ接合９ａ等を用いることができ、ｐｎ接合９ａｐ層６ａ又はｎ層６ｂが突起形状を有していてもよい。ｐｎ接合９ａがアレイ状に配設されていれば、複数の電子線１２を発生することができる。さらに、電子発生部３の電子出射側に電子線整形部４が配設されていてもよい。電子線整形部４は、アインツェルレンズ４１と、アインツェルレンズ用電源１１と、から構成することができる。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム発生装置及びこれを製造する方法を提供する。
【解決手段】本発明による電子ビーム発生装置方法は、カソード；カソードが一側開口部に結合されて内側に共振空洞が設けられたハウジング；及び、カソードとハウジングとの間に設けられ、カソードとハウジングとの間の結合強度に応じて圧縮され、共振空洞を外部と遮断するガスケット；を含む。前記共振空洞は、互いに連結されている第１の共振空洞と第２の共振空洞を含み、前記第１の共振空洞と前記第２の共振空洞は、前記カソードで発生された電子ビームが放出される方向に配列される。 （もっと読む）