【課題】
本発明では、長寿命で、高輝度狭エネルギー幅の電子放出素子および電子銃を実現することを目的とする。さらに、該電子放出素子および電子銃を搭載した、高輝度かつ高分解能の電子顕微鏡および電子線描画装置を実現することを目的とする。
【解決手段】
炭素を主成分とするチューブ状物質を用いた電子放出素子であって、チューブの肉厚を薄く、チューブ中空部へ適切な物質を充填したことを特徴とする。その結果、安定な構造の太径チューブ構造を実現し、かつエネルギー分散効果を低減する。よって、エネルギー幅が小さく長寿命の電子銃を提供できる。 （もっと読む）

【課題】 既存の電子カラムに使用される電子放出源と異なり、電子を安定的に放出することができるＣＮＴを用いる電子放出源と、ＣＮＴを容易に整列付着または蒸着するための方法と、これを用いる電子カラムを提供する。
【解決手段】図４は、図２のチップ先端１１にＣＮＴチップ５０が付着された電子放出源１０がチップ先端１１を基準としてソースレンズ２０と整列結合された状態を示し、このように整列された状態で、イオンビームソース１１０からイオンビームがソースレンズ２０のホールを通過してＣＮＴチップ５０に走査され、このイオンビーム（Ｉ）によってＣＮＴチップ５０が垂直に整列され、既存の電子カラムにおいて電子ビームが放出される方向の逆方向にイオンビームを走査し、この際、イオンビームは平行にチップに向かって平行ビームとして進行することもでき、あるいはフォーカシングされてチップ先端１１に向かって走査される。 （もっと読む）

【課題】高分解能、高スループットのマルチビーム検査装置を実現するために、ラングミュア限界を越える高輝度、かつ高エミッタンスのビームを得る。
【解決手段】電子銃は光陰極のカソード、平面の一部の形状の引出し電極又はアノード、及び円錐台形状のウエーネルト電極を有し、カソード電流Ieとカソード半径Rcの単位をそれぞれmAとμｍとしたとき、カソード電流をシミュレーション結果に基づいて、0.5＋0.0098Rc＜Ie＜2.4＋0.026Rcとする。輝度Ｂとカソード電流密度Ｊｃの関係は、シミュレーション値５７１（破線）と実測値５７２は比較的良く一致し、かつ輝度はラングミュア限界５７３を超えている。 （もっと読む）

【課題】タングステン単結晶線を用いたナノチップ電界放射電子源を提供すること。
【解決手段】タングステンの単結晶線の先端部分を集束イオンビームによってナノチップの径が５０ｎｍ以下になるように切削加工して、タングステンの単結晶線と一体的にナノチップを形成する。 （もっと読む）

【課題】
エネルギー幅の狭い電子放出素子を提供する。また、当該電子放出素子を用いて高輝度・高分解能の電子顕微鏡および電子線描画装置を提供する。
【解決手段】
先端部に閉構造領域を有するカーボンナノチューブであって、閉構造領域に存在する五員環の距離が３０ｎｍ以上のものを用いて電子線放出素子とすることを特徴とする。また、先端部に閉構造領域を有するカーボンナノチューブであって、閉構造領域に存在する五員環を頂点とする頂角を７０°以上のものを用いて電子線放出素子とすることを特徴とする。また、各電子線放出素子を用いて電子銃，電子顕微鏡及び電子線描画装置とすることを特徴とする。
【効果】
本発明により、高輝度かつ高分解能の電子顕微鏡および電子線描画装置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】先端を原子レベルにまで先鋭化した棒状の単結晶を得る。
【解決手段】単結晶タングステンエミッターを例にすると、はじめは高温（Ｔ_r＝２３００°Ｋ）下で処理電圧Ｖ_rを徐々に上げていくと段階（Ｄ）の直後にフィールドエミッション電圧Ｖ_extが急激に低下するとともに、＜１１１＞頂点が（１１０）面で囲まれた状態になる。ここで電圧を保ったまま処理温度を徐々に下げ、Ｔ_r＝１７００°Ｋとする。その後、温度Ｔ_rを１７００°Ｋという低温に保ったままリモルディング法による熱電界処理を続け、ＦＥパターンが先端数原子からの電子放出を示した時点で処理を停止する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、カーボンナノ材料を陰極に使用する電界放射電子銃に於いて、長時間安定したビーム放射方向を維持し軸ずれのない構造を提供することにある。
【解決手段】カーボンナノ材料を先端に接合した陰極と対向するように先端を先鋭化した導電性針を引出電極の開口部に陰極に突き出すように配置し、電位は引出電極と同一とする。電界放射された電子は電界集中した導電性針に向かって軌道を描き、長時間安定した電子ビームを得ることができる。電界放射された電子は、徐々にエネルギーが与えられるので全ての電子が導電性針に吸収されることはなく多くは電子ビームとして取り出せる。 （もっと読む）

【課題】医療用、工業用、分析用等における新規な構造の電界放射型の電子源を提供すること。
【解決手段】軸状に延びる陽極１２と、この陽極１２周囲に環状に配置される電界放射型の陰極１４と、を備える。さらに陽極１２周囲に陰極１４からの電子を遮蔽する部材２４を、備えた構成。 （もっと読む）

【課題】 電子顕微鏡などの電子線機器に用いられる電子放射点として、微細加工プロセスにおいてレジスト塗布が困難なサイズの柱状ダイヤモンド単結晶の片端に、一ヶ所の先鋭部を形成したダイヤモンド電子源及びその方法を提供する。
【解決手段】 柱状ダイヤモンド単結晶１０片端を研磨して滑らかな平面１１を形成し、滑らかな平面１１上にセラミック層１２を形成する。このセラミック層１２上に、集束イオンビーム装置を用いて所定形状の薄膜層１４を堆積した後、この薄膜層１４をマスクとして、エッチングによりセラミック層１２をパターニングする。得られたセラミックマスクを用いてドライエッチングにより、柱状ダイヤモンド単結晶１０の片端に一ヶ所の先鋭部を形成する。 （もっと読む）

本発明は、粒子を放出するための少なくとも１個の電界放出尖端部（４）を有する、真空室（２）内に配置されているかまたは真空室（２）内に向いている少なくとも１個の粒子エミッタ（３）と、少なくとも１個の粒子エミッタ（３）に付設された、放出された粒子流（５）を集束するための磁界発生器（６）とを備え、粒子エミッタ（３）の電界放出尖端部（４）が、磁界発生器（６）とは反対の基板（８）の側の表面（７）上または表面内に製作されたエミッタ構造体（９）によって形成され、基板（８）が真空室（２）と真空室（２）の外側にある大気室（１０）との間の隔壁として形成され、磁界発生器（６）が真空室（２）の外側で、エミッタ構造体（９）とは反対の基板（８）の側（１４）に配置されている、特に電子顕微鏡またはイオン顕微鏡のような粒子光学的機器のための粒子を熱誘導電界放出するための装置と、装置を製作する方法に関する。
（もっと読む）