【課題】
耐久性，歩留まり，電子線放出性能の高い電界放出型電子源を提供する。また、それを用いた電子線応用装置を提供する。
【解決手段】
電極に接続する炭素からなるフィラメント部分と、該フィラメント部分の中心に一体形成された円錐状あるいは角錘状の炭素からなる中実の突起部分から構成される電子源において、少なくとも該突起先端部分の最表面をグラファイト層にすることにある。更には、本発明の電界放出型電子源を各種電子線応用装置に適用することである。少なくとも先端最表面がグラファイト層である中実の突起部分から構成される電子源であり、電界放出部位である前記突起部分の先端形状が制御され、グラファイト層の欠陥が少なく、耐久性，電子放出性能に優れる。 （もっと読む）

【課題】自動チップ形成を備える帯電粒子源を提供する。
【解決手段】帯電粒子デバイスは、エミッタチップ１３を含むエミッタユニットと、エミッタチップに安定な引出電界を生成するための定電圧を供給するように構成された電圧供給ユニット２２２と、安定引出電界に加えてパルス引出電界を生成するためのパルス電圧を供給するように構成されたパルス電圧供給部品２２４と、エミッタ特性を測定するための測定ユニット１４２、１４２’、１４２”と、測定ユニットから信号を受け取るように構成され、かつパルス電圧供給部品を制御するように構成された制御ユニット１３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】像揺れの原因であるカーボンナノチューブと金属母材の界面の幾何学的な不安定性を排除するために、炭素との化学的な変化がほとんど起こらないプラチナなどの炭素脆性や酸化による化学的反応に不活性な金属をカーボンナノチューブを支持する部分に用いた電子源およびその製造方法を提供することにある。
【解決手段】炭素脆性や酸化による化学的反応に不活性なプラチナまたはパラジウムなどの金属フィラメント１に炭素系接着剤を介してカーボンナノチューブ３を接合したことを特徴とする電子源、またはＶ字型の導電性金属フィラメント基材に備え付けられる炭素脆性や酸化による化学的反応に不活性なプラチナまたはパラジウムなどの金属針に炭素系接着剤を介してカーボンナノチューブを接合したことを特徴とする電子源である。 （もっと読む）

【課題】エミッタ表面を有する冷陰極電界エミッタを含む荷電粒子ビーム照射デバイス、特に電子ビーム照射デバイスを動作する方法を提供する。
【解決手段】本方法は、（ａ）所与の引き出し電界下で高い初期照射電流と低い安定平均照射電流とを示す冷陰極電界エミッタを真空中に配置する段階と、（ｂ）エミッタ表面から電子を照射するために冷陰極電界エミッタに引き出し電界を印加して、冷陰極電界エミッタの照射電流が安定平均照射電流よりも高くなるようにする段階と、（ｃ）少なくとも１つの加熱パルスを印加してエミッタ表面を温度にまで加熱することにより清浄化処理を行い、清浄化処理は、冷陰極電界エミッタの照射電流が低い安定平均照射値にまで低下する前に行われるようにする段階と、（ｄ）清浄化処理（ｃ）を繰返して、冷陰極電界エミッタの照射電流が安定平均照射値を連続的に上回るように維持する段階とを含む。 （もっと読む）

【課題】原子レベルで尖ったイリジウムチップを作成する方法を提供する。
【解決手段】本方法は、イリジウムワイヤを針形状にテーパ状にする工程と、酸素雰囲気中で、イリジウム針を加熱する工程とからなる。また、角錐構造を有するイリジウム針を提供し、角錐構造は少数の原子により形成される尖端を有する。 （もっと読む）

【課題】高分解能、高スループットのマルチビーム検査装置を実現するために、ラングミュア限界を越える高輝度、かつ高エミッタンスの電子ビームを得る。
【解決手段】平面カソード、ウェーネルト、引き出し電極（又はアノード）を有する電子銃の後方に、レンズを設けてクロスオーバを形成することにより高輝度でエネルギー幅の小さい電子ビームを実現した。このビームを得るために、カソード電流Ieとカソード半径Rcは、単位をそれぞれmAとμｍとしたとき、シミュレーション結果に基づいて、0.5＋0.0098Rc＜Ie＜2.3＋0.026Rcとし、電子銃の輝度は前記レンズの強さを変えて調整する。輝度Ｂとカソード電流密度Ｊｃの関係を示すシミュレーション値５７１（破線）は実測値５７２と比較的良く一致し、かつ輝度はラングミュア限界５７３を超えている。 （もっと読む）

【課題】
超高真空度を保つために実施される加熱処理により生じる熱歪みによる陽極の位置ずれを抑制し、電子線の軌道がずれるのを防止する構造を持つ電界放射電子銃を提供すること。
【解決手段】
電界放射陰極６から電子線を引出すために設置される引出し電極７を、リング状絶縁碍子１４と同等の先膨張係数をもつ材料にて構成し、両者の接続には、リング状絶縁碍子１４と同等の先膨張係数をもつ材料からなるリング状碍子おさえ１６と引出し電極７でリング状絶縁碍子１４を挟みこみ、リング状絶縁碍子１４と同等の先膨張係数をもつ材料からなる電極固定ネジ１７を用い、それらを共締めにすることによって、真空チャンバ１３に固定する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、加熱フラッシングに耐え得る繊維状炭素物質と導電性基材との接合部の耐熱性を有する電界放出型電子銃およびそれを用いた電子線応用装置を提供することにある。
【解決手段】繊維状炭素物質と、前記繊維状炭素物質を支持する導電性基材と、前記繊維状炭素物質を加熱できる加熱装置と、前記繊維状炭素物質より電子を電界放出させる引出装置と、前記電子を加速する加速装置とを有する電界放出型電子銃において、繊維状炭素物質と導電性基材との接触部分の一部に、炭化物または固溶体を形成する高融点物質である第一の導電性被覆層を形成し、さらに、導電性被覆層と、繊維状炭素物質と導電性基材との接触部分と、繊維状炭素物質の先端部分を除く、前記導電性基材からの突出部分を取囲むように、炭素から構成される第二の被覆層を設けることにある。更には、本発明の電界放出型電子銃を各種電子線応用装置に適用することである。 （もっと読む）

【課題】 ＣＮＴカソードでの放電やＣＮＴ飛散による電子放出特性の劣化が少なく、長寿命で信頼性の高い電子線発生装置を提供する。
【解決手段】 放電や劣化の原因である引出し電極のない２極型構造とし、ウェネルトとカソード、アノード間の相対位置を変えることにより電子ビームの電流値およびビーム径を制御することができる。 （もっと読む）

【課題】
本発明では、高輝度で狭エネルギー幅の電子放出素子および電子銃を実現することを目的とする。さらに、該電子放出素子および電子銃を搭載した、高輝度かつ高分解能の電子顕微鏡および電子線描画装置を実現することを目的とする。
【解決手段】
炭素を主成分とするチューブ状物質を用いた電子放出素子では、その閉構造領域の五員環近傍から電子が放出されると考えられる。五員環間隔を広げて、空間電子反発によるエネルギー分散効果を低減するためには太径のチューブが必要である。本発明では、キャップ構造の力学的歪みを低減することにより、安定な構造の太径チューブ構造を実現する。 （もっと読む）