【課題】エミッタ電極の先端面をエッチング加工することによりエミッタ電極の先端に極めて細い針状部を形成することができる電界放出型電子銃の製造方法を提供する。
【解決手段】電子ビームの出射のための複数分割エミッタ電極を備える電界放出型電子銃の製造方法であって、エミッタ電極（２１）の先端部２８に集束イオンビームＩを照射して先端部２８を除去加工することにより、先端部２８に互いに独立しかつ電子ビームの出射方向に伸長する複数の針状部３０を形成する。 （もっと読む）

走査荷電粒子ビーム装置が説明される。走査荷電粒子ビーム装置は、一次電子ビームを放出するためのビームエミッタと、試料上にビームを走査させるための第１の走査段と、一次電子ビームから信号電子ビームを分離するように適応されたアクロマチックビームセパレータと、信号電子を検出するための検出ユニットと、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は改良された安定性を備える冷電界電子エミッタを提供することである。
【解決手段】安定した冷電界電子エミッタは、エミッタ・ベース材料上にコーティングを形成することによって製造される。コーティングは残留気体の吸着およびイオンの衝撃からエミッタを保護するため、冷電界エミッタは、比較的高い圧力における短期および長期の安定性ならびに適度の角電子放出を示すことができる。 （もっと読む）

【課題】選択成長させたカーボンナノチューブ電子放出源を用いた電子放出リソグラフィ装置及びそのリソグラフィ用電子放出エミッタの製造方法を提供する。
【解決手段】 チャンバの内部に配置される電子放出源と、この電子放出源から所定距離、離隔して試料１４を載置させるステージとを含む電子放出リソグラフィ装置であり、前記電子放出源を電子放出能を有するカーボンナノチューブ１１で構成し、リソグラフィ工程の電子放出源としてカーボンナノチューブ１１を使用する。その結果、非常に微細な線幅を極めて高い精度で具現できるリソグラフィ工程が可能になる。また、カーボンナノチューブ１１から放出される電子が１：１で対応する部位の電子ビームレジスト１５、１５’を露光するので基板１２の中心部と端部との間で生じ得る露光状態の偏差が低く抑えられる。本発明はこのようなリソグラフィを生産性よく行うことができる。 （もっと読む）

【課題】電子線源以外の引き出し電極等の部品に対しても吸着ガス分子の除去を行うことを可能にする電子線源装置を提供する。
【解決手段】電子線源である陰極１と、この陰極１から電子線を引き出すために、陰極１に印加される電圧に対して正の電圧が印加される引き出し電極２と、電子線を集束する電子線レンズとを少なくとも備え、引き出し電極２が、電流を流して、抵抗加熱により引き出し電極２自体を加熱することが可能であり、加熱により引き出し電極２に吸着したガスを除去する自己加熱洗浄機能を有する電子線源装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】フレア成分の発生が少ないショットキー電子銃を提供する。
【解決手段】酸化ジルコニウムが塗布され、先端を鋭くエッチングしたタングステン単結晶電子源と、前記タングステン単結晶電子源を加熱するフィラメントと、前記フィラメントから発生する熱電子を抑制するサプレッサ電極と、前記タングステン単結晶電子源から電子ビームを放出するための電界を与える引出電極と、前記引出電極によって引出された電子ビームを所定の加速電圧まで加速する加速電極とを備え、前記引出電極は、通過する電子ビームの角度を制限する複数枚の絞りを有する。 （もっと読む）

【課題】エネルギー幅が小さい、高い角電流密度で動作する電子源を提供する。
【解決手段】タングステンまたはモリブデンの＜１００＞方位単結晶ロッド１からなり、一端部に｛１００｝結晶面が露出した電子放出面を有し、しかもＨｏ、Ｇｄ、Ｎｄ、Ｓｍ、及びＰｒからなる群から選ばれる１種以上の金属元素酸化物を含む拡散源２を有することを特徴とする電子源で、好ましくは、動作温度が１２００Ｋ以上１５００Ｋ以下であることを特徴とする前記の電子源。 （もっと読む）

【課題】陰極先端部に傾斜することなくレーザー光を照射して電子線を発生させて引き出すことを第１の目的とし、そのための光学部品の構成を利用して陰極先端部の拡大観察を容易に行えるようにすることを第２の目的とし、陰極に照射されるレーザー光の強度変化をリアルタイムで計測し、その結果をフィードバックさせて照射レーザー光強度を一定にすることを第３の目的とする。
【解決手段】電子線発生装置は、陰極先端部に対向する位置に反射鏡２４を配置し、反射鏡に、陰極先端部から発生した電子線を通過させる穿孔３９が形成してあり、所定の位置に配したレーザー照射器からのレーザー光２２を反射して、陰極先端部に向かうように反射鏡をレーザー照射器からのレーザー光に対し所定角度傾斜させてある。 （もっと読む）

【課題】本発明の第一の課題は、長時間連続して安定した電界放出電流が得られるとともに、電界放出電子のエネルギー分布の広がりを抑制することができる電界放出型電子銃、およびその運転方法を提供することにある。本発明の第二の課題は、長時間の連続運転が可能であり、ノイズが少なく、かつ高分解能な電子ビーム応用装置を提供することにある。
【解決手段】本発明の第一の課題を達成するための手段は、繊維状炭素物質とそれを支持する導電性基材から構成される電子源と、電子を電界放出させる引出装置と、電子を加速させる加速装置と、該電子源を加熱する手段を有する電界放出型電子銃において、電界放出前に該電子源を加熱保持後、電界放出電流の変動幅が規定値内になる最低の加熱温度を適宜調整することにある。本発明の第二の課題を達成するための手段は、本発明の電子銃およびその運転方法を各種電子ビーム応用装置に適用することにある。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、繊維状炭素物質から構成される電子源を搭載した電界放出型電子銃の、電子線の光軸調整を容易にすることにある。また、電子銃より狭エネルギー幅の電子線を得ることにある。さらに該電界放出型電子銃を搭載した高分解能な電子線応用装置を提供することにある。
【解決手段】本発明の課題を達成するための手段は、繊維状炭素物質とそれを支持する導電性基材から構成される電子源と、電子を電界放出させる引出装置と、電子を加速させる加速装置を有する電界放出型電子銃において、該繊維状炭素物質がバンドギャップを有する物質で被覆されていることにある。また、本発明の電界放出型電子銃を各種電子線応用装置に適用することである。 （もっと読む）