【課題】高感度化および応答速度の高速化を図れ、且つ、支持部の応力に起因した支持部の変形を防止できる赤外線センサを提供する。
【解決手段】ベース基板１と、赤外線を吸収するとともに該吸収による温度変化を検知する温度検知部３と、温度検知部３がベース基板１の一表面から離間して配置されるように温度検知部３を支持して温度検知部３とベース基板１とを熱絶縁する断熱部４とを備える。断熱部４は、ベース基板１の上記一表面から離間して配置されベース基板１側とは反対側に温度検知部３が形成される支持部４１と、支持部４１とベース基板１とを連結した脚部４２，４２とを有する。また、断熱部４は、支持部４１および脚部４２，４２が多孔質材料により形成されており、支持部４１に当該支持部４１の応力を緩和する応力緩和層４１ｂ，４１ｃが支持部４１を挟む形で積層されている。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノチューブのような特殊な材料を必要とせずに、アルカリ金属の潮解性の発現を抑止することにより、従来の限界を超えて仕事関数を低減した電子放出用の多層構造体を提供する。
【解決手段】多層構造体１は、金属酸化物基板２の表面に、該表面の金属原子をアルカリ金属原子が置換して成るか、または該表面にアルカリ金属原子が担持されて成る、少なくとも１原子層のアルカリ金属層３を備えている。 （もっと読む）

【課題】高感度化および応答速度の高速化を図れる赤外線センサを提供する。
【解決手段】ベース基板１と、赤外線を吸収するとともに該吸収による温度変化を検知する温度検知部３と、温度検知部３がベース基板１の一表面から離間して配置されるように温度検知部３を支持して温度検知部３とベース基板１とを熱絶縁する断熱部４とを備える。断熱部４は、ベース基板１の上記一表面から離間して配置されベース基板１側とは反対側に温度検知部３が積層される支持部４１と、支持部４１とベース基板１とを連結した２つの脚部４２，４２とを有している。支持部４１は、厚み方向に離間した２層の熱絶縁層４１ａ，４１ｂを有し、両熱絶縁層４１ａ，４１ｂ間の間隙４１ｄを保つ形で両熱絶縁層４１ａ，４１ｂを連結した複数の連結部４１ｄを有する。各熱絶縁層４１ａ，４１ｂ、各連結部４１ｄ、各脚部４２，４２は、多孔質の酸化シリコンにより形成されている。 （もっと読む）

【課題】 トンネル現象によって一対の電極間を移動する熱電子を利用する熱電子型発電装置において、大きな発電量を実現するための技術を提供すること。
【解決手段】 熱電子型発電装置１０は、熱源からの熱が加わる高温側電極３２と、その高温側電極３２に空間６０を隔てて対向している低温側電極３４を備えている。高温側電極３２の表面３２ａは、平滑な面である。低温側電極３４の表面３４ａには、複数の凹凸が形成されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 ボロメータ用抵抗体として酸化バナジウムを使用した赤外線センサにおいて、量産に適ししかもＴＣＲの改善に効果のある製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明による赤外線センサの製造方法は、Ｓｉ基板１上に絶縁材料によるブリッジ構造体２を形成する工程と、このブリッジ構造体上に、乾式成膜法により酸化バナジウム薄膜４を形成する工程と、形成された酸化バナジウム薄膜にレーザ光を照射することによりその材料特性を変化させる工程と、材料特性の変化した酸化バナジウム薄膜を所定パターンのボロメータ用抵抗体４’として形成する工程と、所定パターンに形成されたボロメータ用抵抗体及び前記ブリッジ構造体上を覆うように絶縁材料による保護層６を形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】バイポーラトランジスタを利用するセンサ画素の断熱特性を向上させて、高感度な熱型赤外線センサを実現する。
【解決手段】センサ画素（１０２ａ，１０２ｂ）内に、バイポーラトランジスタ（４０２）と、温度依存性を有する定電流源（４０１）とを配置する。定電流源は、バイポーラトランジスタのコレクタ−ベース間に配置される。バイポーラトランジスタ４０２のコレクタおよび定電流源４０１の一方電極が共通の支持脚により、その配線部が保持され、また、バイポーラトランジスタのエミッタ配線が別の支持脚により保持される。したがって、画素部の支持脚を２本に低減することができ、断熱特性が向上する。 （もっと読む）

【課題】簡潔な工程で安定して製造することができる多層構造体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】金属基板１上に、基板表面の金属原子をアルカリ金属原子で一原子層以上置換した埋込み層２を介して、前記アルカリ金属原子が１原子層以上積層された表面層３を備えて、仕事関数φを３ｅＶ以下とした多層構造体。アルカリ金属原子として、Ｒｂを用いることができ、金属基板１として、Ｃｕ、Ｎｉまたはそれらの合金を用いることができる。当該多層構造体は、金属基板１上に、アルカリ金属原子の化合物粒子を微細分散させた付着層を形成した後、この付着層に高エネルギービームを照射することにより製造することができる。 （もっと読む）

【課題】 複合発電は発電効率を増大することができるが、現在実用化されているガスタービン複合発電装置などは設備が複雑で大型になる。直接発電であるＴＰＶ発電、熱電発電は構造が簡単でありどのような熱源でも使用できるが単体での発電効率はあまり良くない。
【解決手段】 高温の燃焼熱を利用するＴＰＶ発電と、その排気熱を使用して熱電発電を行う複合発電装置であり、さらに総合熱効率を良くするためコージェネを行うものである。固体、液体、気体など様々な燃料に対応でき、小型、高信頼、低騒音などを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型化および低コスト化が可能な熱型赤外線検出装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】第１のウェハ（シリコンウェハ）を用いて形成され一表面側において周囲と熱絶縁された赤外線検出部１３が形成された熱型赤外線検出素子１と、熱型赤外線検出素子１の上記一表面側で赤外線検出部１３を囲む形で封着されたパッケージ２とを備える。パッケージ２は、第２のウェハ（シリコンウェハ）を用いて形成され、熱型赤外線検出素子１に赤外線検出部１３と電気的に接続される貫通孔配線１５ａ，１５ｃが形成され、熱型赤外線検出素子１とパッケージ２との外形サイズが同じであり、パッケージ２に第２のウェハの一部からなる半導体レンズ部２２が一体に形成されている。 （もっと読む）

【課題】温度変化に伴って電荷を発生する発電デバイスであって、発電効率が高く、使用温度条件によっても発電性能に悪影響を受け難く、しかも製造方法が簡単で低コストである発電デバイス、それを用いた発電装置、センサー並びに発熱体を提供すること。
【解決手段】起電力層２と、前記起電力層２表面に設けた電極層３Ａ、３Ｂと、を備えており、前記起電力層２が、極性高分子と、前記極性高分子のマトリックス中に含まれる極性低分子とからなることを特徴とする。
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