【課題】発熱抵抗体や測温抵抗体の抵抗値経時変化を低減し、検出精度が向上された熱式ガス流量センサを実現する。
【解決手段】検出素子１は熱伝導率の良い材料で構成される平板基板３２に保護膜３０ａ、３０ｂ、３１ａ、絶縁膜３１ｂ、３０ｃ、発熱抵抗体３、温度検出抵抗体４等を形成する。平板基板３２を裏面からエッチングすることで絶縁膜３０ｃの下部に空間３５を形成し、ダイヤフラム２を形成する。発熱抵抗体の発熱時における最表面保護膜３０ａからのＨ_２Ｏの脱離によりダイヤフラム２の膜応力が変動し、抵抗ピエゾ効果により発熱抵抗体３の抵抗値が変動するため、保護膜３０ａは、Ｈ_２Ｏの含有量が小さく吸着しない材質の酸窒化膜(ＳｉＯＮ膜)やポリシリコン膜で形成される。これにより、Ｈ_２Ｏなどの含有量を低減して、クラックの発生も低減でき、発熱抵抗体、測温抵抗体の抵抗値変動が低減される。 （もっと読む）

【課題】発熱抵抗体の経時変化を低減できる熱式ガス空気流量センサを実現する。
【解決手段】薄肉部２の表面には発熱抵抗体３、温度検出抵抗体４、１４を形成している。発熱抵抗体３及び温度検出抵抗体４、１４から信号線を引き出せるように配線部１８〜２３とパッド８〜１３が形成されている。発熱抵抗体部３及び温度検出抵抗体４、１４と配線部１８〜２３とが接するコンタクト部２４〜２９が形成されている。発熱抵抗体３および温度検出抵抗体４、１４は、保護膜３０ａ、３０ｂ、３１ａ、絶縁膜３１ｂ、３０ｃで被覆され、保護膜３１ａ、３１ｂはナイトライドなどの緻密な膜で形成されている。配線部３４と発熱抵抗体３とが接する部分はコンタクトバリアメタル膜３６（チタンナイトライドやチタンタングステン、チタン等のチタン系電気導体）で覆われる。チタン系電気伝導体は緻密な膜であり水素に対して耐性があるため発熱抵抗体の経時変化を低減できる。 （もっと読む）

【課題】センサ素子へのダストの衝突を低減するとともに、センサ素子周りの被測定流体の流れの剥離による測定誤差を低減する。
【解決手段】主通路内を流れる流体の流れ方向に沿って設けられたベース部４と、前記主通路を流れる流体の流量を検知するための発熱抵抗体３が基板上に形成されたセンサ素子２とを備えた熱式流量センサ１Ａにおいて、前記ベース部４に矩形状の凹部５が形成されるとともに、該凹部５内に前記センサ素子２がその検知部表面が前記凹部５の上端縁５ａより低くなるように嵌め込まれて固着され、かつ、前記センサ素子２が対面する測定用通路壁部分に絞り９が設けられるとともに、前記発熱抵抗体３が、前記凹部５の上流側端縁５ａから流れ方向に沿って、前記凹部５の上端縁５ａと前記センサ素子２の検知部表面との間に形成される段差Ｄに起因して生じる流体の流れの乱れの影響を受けない位置まで離隔せしめられている。 （もっと読む）

【課題】工程数の削減と、製造工程での検査が容易に行える赤外線検出器を提供することにある。
【解決手段】赤外線検出器Ａは、ステム１上に搭載する回路ブロック３の回路部位に対する電源供給用端子ピン１９ａ及び検出信号出力用端子ピン１９ｂの導電材２１を用いた接合を、焦電素子Ｘを実装する回路ブロック３の上面で行っている。 （もっと読む）

【課題】Ｓ／Ｎ比を向上させることができる赤外線センサ装置を提供する。
【解決手段】赤外線の吸収による温度変化に応じたアナログ量の出力値を発生する赤外線センサＩＳと、赤外線センサＩＳの出力を信号成分の周波数に対して十分に高い周波数の変調パルス（変調信号）で変調する変調器３と、変調器３の出力を増幅する増幅器４と、増幅器４の出力を上記変調パルスに同期した復調パルス（復調信号）で抽出する復調器６とを備え、増幅器４で発生したフリッカ雑音を復調器６の後段に設けられたアナログローパスフィルタ７により除去する。赤外線センサＩＳの信号成分の周波数に対して十分速いサンプリング周波数でアナログローパスフィルタ７の出力をアナログ−ディジタル変換するＡ／Ｄコンバータ８と、Ａ／Ｄコンバータ８の後段側に設けられたディジタルローパスフィルタ９とを備え、ディジタルローパスフィルタ９により白色雑音の一部を除去する。 （もっと読む）

【課題】可視光画像の解像度が高く、赤外光画像の感度が高く、可視光撮像と赤外光撮像を同時に行なうことができ、冷却が不要であり、画素補間などの画像処理が不要な２波長イメージセンサを提供する。
【解決手段】この２波長イメージセンサでは、複数の可視光検出器１と複数の非冷却型赤外光検出器３を均一に分散配置し、１つの可視光検出器１で可視光検出用画素２を構成し、直列接続された４つの赤外光検出器３で熱赤外光検出用画素５を構成する。したがって、可視光画像の解像度は熱画像の解像度の４倍になる。また、赤外光画像の１画素当りの受光面積を４倍に高めることができ、熱赤外光画像の温度分解能が向上する。 （もっと読む）

【課題】高性能化を図れる赤外線センサを提供する。
【解決手段】ベース基板１と、赤外線を吸収するとともに該吸収による温度変化を検知する温度検知部３と、温度検知部３がベース基板１の一表面から離間して配置されるように温度検知部３を支持して温度検知部３とベース基板１とを熱絶縁する断熱部４とを備える。断熱部４は、ベース基板１の上記一表面から離間して配置されベース基板１側とは反対側に温度検知部３が形成される支持部４１と、支持部４１とベース基板１とを連結した脚部４２，４２とを有する。断熱部４は、支持部４１および脚部４２，４２が多孔質材料により形成されており、支持部４１に、当該支持部４１の厚み方向に貫通する複数の空孔４１ｂが形成されている。 （もっと読む）

本発明は固体冷却／電力発生装置に関し、真空間隙により分離された第１および第２の電極を含んでいる。本発明によれば、少なくとも一方の電極にはナノスケールの半導体ヘテロ構造が設けられ、それは真空間隙（３１５）と結合して第１および第２の電極間の共鳴トンネリングを許す二重障壁共鳴構造を形成する少なくとも１つの量子井戸を含んでいる。
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【課題】 製作が容易で、断熱性、品質に優れたメンブレン構造素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 酸化ケイ素膜で形成されたメンブレンと、前記メンブレンの周辺の一部を支持することによってメンブレンを中空状態で支持する基板とを備えたメンブレン構造素子の製造方法である。シリコン基板２の表面側に、プラズマＣＶＤ法により熱収縮可能な酸化ケイ素膜１３を形成する膜形成工程と、前記基板１に形成された前記酸化ケイ素膜１３を熱収縮させる加熱処理を施す加熱処理工程と、前記酸化ケイ素膜１３のメンブレン相当部をメンブレンとして基板２に対して中空状態で支持されるように前記基板２の一部を除去し、凹部４を形成する除去工程を備える。 （もっと読む）

【課題】熱エネルギーを電気エネルギーに効率良く変換する。
【解決手段】密閉可能な容器１１内にＰＺＴ膜１２とアノード電極１３とを配置する。そして、容器１１内にアルゴンガスを供給してガス雰囲気を形成した後、ＰＺＴ膜１２に温度変化を与えて該ＰＺＴ膜１２から電子を放出させる。この電子は、アノード電極１３に向かって移動し、その途中でアルゴン原子に衝突する。このとき、アルゴン原子は、電子を放出することでプラスイオン化される。そして、アルゴンプラスイオンは、ＰＺＴ膜１２へ移動し、該ＰＺＴ膜１２と衝突する。その結果、ＰＺＴ膜１２からは、さらに電子が放出される。 （もっと読む）