【課題】デバイスの性能に影響を与えず、高精度の検出が可能なアライメントマークを形成することができるデバイスの製造方法の提供。
【解決手段】上層側の第１の膜が、下層側の第２の膜に対するエッチングに耐性を有する材料で構成される積層膜を形成する工程と、素子形成領域及びアライメントマーク形成領域の前記第１の膜をパターニングする工程と、少なくとも前記アライメントマーク形成領域の前記パターニングした第１の膜近傍を除く領域を、前記第２の膜に対するエッチングに耐性を有する材料で保護する工程と、前記パターニングした第１の膜をマスクとして、前記第２の膜を選択エッチングするエッチング工程と、を少なくとも有し、前記パターニングした第１の膜の周囲を掘下げることにより、前記第１の膜からなるアライメントマークの段差を増大させる。 （もっと読む）

【課題】簡便な手法で、従来の強誘電体薄膜よりも大幅に比誘電率を向上し得る、高容量密度の薄膜キャパシタ用途に適した強誘電体薄膜形成用組成物、強誘電体薄膜の形成方法並びに該方法により形成された強誘電体薄膜を提供する。
【解決手段】ＰＬＺＴ、ＰＺＴ及びＰＴからなる群より選ばれた１種の強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成用組成物であり、一般式：（Ｐｂ_xＬａ_y）（Ｚｒ_zＴｉ_(1-z)）Ｏ₃（式中０．９＜ｘ＜１．３、０≦ｙ＜０．１、０≦ｚ＜０．９）で示される複合金属酸化物Ａに、Ｓｎを含む複合金属酸化物Ｂが混合した混合複合金属酸化物の形態をとる薄膜を形成するための液状組成物であり、各原料が上記一般式で示される金属原子比を与えるような割合で、かつ、ＢとＡとのモル比Ｂ／Ａが０．００３≦Ｂ／Ａ≦０．０５の範囲内となるように、有機溶媒中に溶解している有機金属化合物溶液からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】リーク電流の低減と絶縁耐圧の向上の両特性をバランスよく改善することができる、高容量密度の薄膜キャパシタ用途に適した強誘電体薄膜形成用組成物、強誘電体薄膜の形成方法並びに該方法により形成された強誘電体薄膜を提供する。
【解決手段】ＰＬＺＴ、ＰＺＴ及びＰＴからなる群より選ばれた１種の強誘電体薄膜を形成するための強誘電体薄膜形成用組成物であり、一般式：（Ｐｂ_xＬａ_y）（Ｚｒ_zＴｉ_(1-z)）Ｏ₃（式中０．９＜ｘ＜１．３、０≦ｙ＜０．１、０≦ｚ＜０．９）で示される複合金属酸化物Ａに、Ｐ（燐）を含む複合酸化物Ｂが混合した混合複合金属酸化物の形態をとる薄膜を形成するための液状組成物であり、複合金属酸化物Ａを構成するための原料並びに複合酸化物Ｂを構成するための原料が上記一般式で示される金属原子比を与えるような割合で有機溶媒中に溶解している有機金属化合物溶液からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】短時間化、低コスト化が可能な一次元ナノ構造体の製造方法、一次元ナノ構造体の製造装置及び電子デバイスの製造方法並びにこの方法によって製造された電子デバイスを提供すること。
【解決手段】厚さが５００ｎｍ以下のアモルファス酸化バナジウム薄膜を基板上に形成し、酸素、窒素、希ガスの単独又は混合ガスを用い、減圧又は常圧の雰囲気において、室温で薄膜にエネルギー密度が１Ｊ／ｃｍ²以下のパルスレーザを照射して二酸化バナジウムを母材とし単斜晶型又はルチル型の結晶構造を有する一次元ナノ構造体としてナノワイヤを形成し、基板をエッチング処理して基板にナノワイヤを残存させる。一次元ナノ構造体の製造方法は、二酸化バナジウムの金属−絶縁体相転移を利用した各種の電子デバイスの製造に適用される。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサ素子と赤外線透過キャップとの相対的な位置関係を、より高精度に合わせし気密封止が可能な赤外線センサの製造方法を提供する。
【解決手段】パッケージの凹部の内底面側に実装された赤外線センサ素子と、該赤外線センサ素子に赤外線を入射させるための開口部３ａが設けられ前記パッケージの前記凹部を覆うように接合されたリッド３と、リッド３の開口部３ａを覆うように接合された赤外線透過キャップ４とを有する赤外線センサの製造方法であって、赤外線透過キャップ４の接合予定領域を特定する半田レジスト層５が赤外線透過キャップ４との接合面側に形成されたリッド３と、リッド３との接合予定領域の少なくとも一部に半田濡れ性を有するメッキ膜６が形成された赤外線透過キャップ４とを半田７を介して積層し（図１（ａ））、半田７の溶融でリッド３と赤外線透過キャップ４とを気密接合する（図１（ｂ））。 （もっと読む）

【課題】リッドおよび赤外線透過部材の線膨張係数差に起因してリッドと赤外線透過部材との接合部が破損するのを防止できる赤外線センサ素子のパッケージを提供する。
【解決手段】赤外線センサ素子Ａのパッケージ１は、一面が開口した矩形箱状に形成され且つ赤外線センサ素子Ａが内底面２ａに配設されるパッケージ本体２と、パッケージ１の外側からパッケージ１の内側へ赤外線を取り込むための開口部を有し且つパッケージ本体２の前記一面を覆う形でパッケージ本体２に接合されたリッド３と、リッド３の開口部３ｂを覆う形で設けられた赤外線透過部材４とを備える。リッド３を形成する材料の線膨張係数と赤外線透過部材４を形成する材料の線膨張係数との差異に起因してリッド３と赤外線透過部材４との接合部５に生じる熱応力を緩和するための可撓部である第１の薄肉部（応力緩和構造）３ｄがリッド３に設けられている。 （もっと読む）

【課題】製造コストを削減するとともに、検出精度を充分に確保できる赤外線センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板１の表面に形成された凹部２と、前記凹部２の底面に形成された反射膜３と、前記反射膜３の前記底面側とは反対側に、該反射膜３から離間して配設された感熱膜４と、前記感熱膜４の外周に複数形成されるとともに該感熱膜４の面方向に沿って延び、前記感熱膜４と前記凹部２の開口縁とを連結する梁部５と、を備え、前記感熱膜４と前記反射膜３との間の距離Ｄが、検出対象の波長λに対してλ／４に設定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、相転移物質、この製造方法及びこれを用いたモジュールの製造方法を開示する。
【解決手段】前記相転移物質は、配位結合を形成する金属及び前記金属を溶解できる溶媒を含むことを特徴とし、前記相転移物質の製造方法は、金属を真空状態に置いて空気中の水分と酸素を除去する段階（Ｓ１段階）と、前記金属を粉末又は薄片で準備し、非活性気体雰囲気で一面が開封された容器に前記金属を注入し、前記一面に溶媒を注入でき、真空状態にできる連結装置を繋ぐ段階（Ｓ２段階）と、前記連結装置により真空状態を一定時間維持した後に周辺温度を前記溶媒の沸点または凝固点に維持して温度平衡状態を誘導し、前記連結装置を介して前記溶媒を注入する段階（Ｓ３段階）と、前記容器内の金属と溶媒を均一に混合して溶液を製造する段階（Ｓ４段階）と、前記容器を−１０〜１０℃で保管し前記溶液を膨張させて前記連結装置により流出させる段階（Ｓ５段階）を含むことを特徴とし、前記モジュールの製造方法は、前記相転移物質を用いることを特徴とする。前記相転移物質とこれを用いて製造されるモジュールは、熱により損失されるエネルギーを電気エネルギーに変換して高効率的に電気エネルギーを生産でき、さらにはコンピュータのような電子機器装置で発生する熱を効果的に放出することができる。 （もっと読む）

【課題】簡便な構成を用いて、検出精度を充分に確保でき、部品点数を削減でき、製造工程を簡便にすることができる赤外線センサを提供する。
【解決手段】赤外線を透過する材料からなる第１基板１と、信号処理回路を有し前記第１基板１に対向配置される第２基板２と、を備え、前記第１基板１は、前記第２基板２側を向く表面に形成された凹部１１と、前記凹部１１の底面から離間して配設された感熱膜１２と、前記感熱膜１２の外周に複数形成されるとともに該感熱膜１２の面方向に沿って延び、前記感熱膜１２と前記凹部１１の開口縁とを連結する梁部１３と、を備え、前記第２基板２は、前記第１基板１側を向く表面に形成されるとともに前記感熱膜１２に対向配置される反射膜２１を備え、前記第１基板１と前記第２基板２との間には、前記感熱膜１２と前記反射膜２１との間の距離Ｄを検出対象の波長λに対してλ／４に設定するスペーサ３が配置されている。 （もっと読む）

【課題】シリコン導波路を利用した赤外線検出器を実用的に用いることができるようにする。
【解決手段】単結晶シリコンからなる、リブ部１２１とリブ部１２１の両脇に形成されたスラブ部１２２およびスラブ部１２３とを有するリブ型のコア層１０２とを備え、加えて、リブ部１２１の断面方向の中央部に形成されたループ型結晶欠陥１２４を備える。リブ部１２１に備えるループ型結晶欠陥１２４において光を吸収してキャリアをし、生成したキャリアを、ｐ型不純物領域１０３およびｎ型不純物領域１０４に逆バイアスを印加することにより、外部回路に取り出す。 （もっと読む）