【課題】微細化適正・高生産性・ダメージレス化を両立させる機能膜の加工方法、及びそれを利用したインクジェト記録ヘッドの製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 例えば、基板（例えば振動板２００）上に凸状パターン２０４を形成し（図１（Ｃ）参照）、凸状パターン２０４上及び凸状パターン２０４の非形成領域上に機能膜（例えばＰＺＴ膜２０６）を形成した後（図１（Ｄ））、凸状パターン２０４上に形成された機能膜（例えばＰＺＴ膜２０６）を凸状パターン２０４が少なくとも露出するまで研磨する（図１（Ｅ）参照）。これにより、微細化適正・高生産性・ダメージレス化を両立させつつ、凸状パターン２０４の非形成領域に沿った機能膜（例えばＰＺＴ膜２０６）の加工を施すことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子−スライダ間及び圧電素子-サスペンション間の接着部が常に一定の面積で接着される構成の圧電アクチュエータを用いた移動機構を提供することを課題とする。
【解決手段】 スライダ６は、ジンバル部８ａに支持されたマイクロアクチュエータ２０により回転移動される。圧電アクチュエータ２０を構成する圧電素子２２，２４は接着剤２６によりスライダ６及びジンバル部８ａに固定される。段差により画成された接着面を有する接着剤塗布部３０が圧電素子２２，２４に形成される。 （もっと読む）

【課題】無電源で電子体重計のロードセルの駆動電源を確保することができ、電源コードを不要となし、脱衣所のレイアウトやデザイン性の制約を排除することができ、計測体重データを無線で受信器へと通信し、体重被計測者が楽な姿勢でこの計測データを視認することができる電子体重計を提供する。
【解決手段】電子体重計のロードセルを駆動する電源を自己発電可能な圧電発電装置で構成し、該圧電発電装置は、圧電セラミックス体と、バネ材で形成された基部材と、該基部材の端部に固定された鋼球支持弾性体と、この鋼球支持弾性体の両端部にそれぞれ固定された鋼球と、で構成し、上記踏台に荷重を作用させたときに、該荷重を上記圧電発電装置の殴打体への殴打力に荷重変換装置で変換し、鋼球の一方を、上記荷重変換装置を介して殴打して振動させ、他方の鋼球がその共振作用によって往復振動を連続して発電が繰り返されるように構成した。 （もっと読む）

噴射装置用アクチュエータでの使用に好適な型式の強誘電性サンプル（１４）を極性調整する方法は、第１と第２の対向する端面（２３）と、第１と第２の対向する側面（２１）と、および強誘電性層（１６）の積重ねとを有する強誘電性材料のサンプルであって、隣接する層が、サンプル（１４）の端面（２３）へほぼ平行に配置される内部電極（１８ａ、１８ｂ）により互いに離間される強誘電性材料のサンプルを用意するステップと、一次外部電極装置（２４ａ、２４ｂ）をサンプル（１４）の第１と第２の端面（２３）へ取付けるステップとから成る。第１の分極化の方向に、単一で第１の分極化軸に沿って強誘電性サンプル（１４）の全体をほぼ分極化するように、一次極性調整電圧が一次外部電極装置（２４ａ、２４ｂ）へ印加される。二次外部電極装置（３０ａ、３０ｂ）がサンプル（１４）の側面（２１）へ取付けられ、および二次極性調整電圧が二次外部電極装置（３０ａ、３０ｂ）へ印加されて、反対極性の内部電極間に位置するサンプルの領域内の強誘電性層（１６）の交互の層を分極化する。強誘電性層の交互の層は、第１の分極化方向に第１の分極化軸にほぼ沿って分極化され、また強誘電性層の他の層は、第２の反対方向の分極化軸に沿って分極化される。この方法は、サンプル（１４）の全体を通して、特に側面（２１）に隣接する領域を通して強誘電性ひずみの不連続性をほぼ避けながら、全体サンプルをほぼ分極化する方法を提供する。
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【課題】 駆動装置との電気的接続の高い信頼性を確保しつつ、その電気的接続にかかるコストを低減することが可能な圧電アクチュエータ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 圧電アクチュエータ３は、金属製のステンレス板３０と、このステンレス板３０の表面に形成された絶縁層３１と、この絶縁層３１の表面に形成された複数の個別電極３２と、これら複数の個別電極３２の表面に形成された圧電層３３と、圧電層３３の表面に複数の個別電極３２に亙って形成された共通電極３４とを備え、絶縁層３１の表面に、複数の個別電極３２に夫々対応する複数の端子部３６と、複数の個別電極３２と複数の端子部３６とを夫々電気的に接続する複数の配線部３５とが形成されている。 （もっと読む）

【課題】磨耗や騒音を低減して製品の長寿命化を図れるとともに、駆動条件の変化にかかわらず安定した駆動性能を得ることができるリニアアクチュエータを提供する。
【解決手段】リニアアクチュエータ１０は、圧電素子１４と、圧電素子１４の振動を伝達するロッド１６と、ロッド１６と摩擦接合し、ロッド１６と相対移動するスライダ２４およびキャップ２６とを備え、スライダ２４およびキャップ２６において、最大高さＲｚ＞１μｍで、かつ、負荷曲線の高さの中点での負荷長さ率が３０％より大きい表面粗さであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】側面電極と内部電極との電気導通性に優れた積層型圧電体素子及び、この積層型圧電体素子を利用したインジェクタを提供すること。
【解決手段】積層型圧電体素子１は、圧電材料よりなる複数の圧電層１１と、導電性を有する複数の層状の内部電極２１、２２とを交互に積層してなるセラミック積層体１０を有し、セラミック積層体１０の側面１０１、１０２に第１側面電極３１及び第２側面電極３２が設けられ、内部電極２１、２２としては、第１側面電極３１に導通する第１内部電極と、第２側面電極３２に導通する第２内部電極とを交互に配置してなる。各側面電極３１、３２は、接着性を有する樹脂材料中に導電性粒子を分散させた導電性接着剤により形成されており、導電性粒子は、その平均粒子径が、内部電極の積層方向の厚さよりも小さく、かつ、１ｎｍ以上１００ｎｍ以下である。 （もっと読む）

駆動装置は、少なくとも２つの駆動部材（１，２，３，４）と少なくとも１つの被駆動部材（５）とを有し、前記少なくとも２つの駆動部材のそれぞれは、前記少なくとも１つの被駆動部材（５）に摩擦係合されて前記被駆動部材（５）を移動し、前記各被駆動部材（５）と前記各駆動部材（１，２，３，４）との間の摩擦は、前記被駆動部材と摩擦係合されている駆動部材（１，２，３，４）の過半数が第１位置と第２位置との間で同時に移動される場合に前記被駆動部材が移動するようになっており、前記各被駆動部材（５）と前記各駆動部材（１，２，３，４）との間の前記摩擦は、前記被駆動部材と摩擦係合されている駆動部材（１，２，３，４）の半数未満が移動される場合に前記被駆動部材（５）が実質的に静止したままであるようになっている。
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【課題】 摩擦係数がほぼゼロになる摺動装置を提供すること。
【解決手段】 ステンレス盤７と黒鉛に金属を含浸して作成した材料である固体潤滑剤６を接触させている。固体潤滑剤６は超音波振動子にエポキシ樹脂により固着する。超音波振動子１には図示しない超音波発振器を接続する。そして図示しない超音波発振器より超音波交流電圧を超音波振動子１に印加する。その結果、固体潤滑剤６とステンレス盤７との接触面積または接触時間が減ずるためと考えられる摩擦係数の低下現象が起きる。 （もっと読む）

【課題】 ぶれ方向の共振周波数を高くすることを可能とした圧電アクチュエータおよび駆動装置を提供すること。
【解決手段】 本発明の圧電アクチュエータは、矩形の伸縮変位部および前記伸縮変位部の伸縮変位方向に連結された矩形の剪断変位部を備える圧電アクチュエータであって、伸縮変位方向の長さをＨ、剪断変位方向の長さをＬ、前記伸縮変位方向と前記剪断変位方向とに垂直な方向の長さをＷ、密度をρ、そしてヤング率をＹとしたとき、前記Ｈ、Ｌ、Ｗ、ρ、そしてＹが、Ｈ≦１０ｍｍ、Ｌ／Ｗ≦２．５、ρ≦８×１０^−３ｋｇ／ｍ^３、かつ６５ＧＰａ≦Ｙ、なる関係式を満たす。 （もっと読む）