【課題】周期分極反転構造を有し、電極形成が容易であるだけでなく、良好な共振特性を得ることを可能とする弾性波装置を提供する。
【解決手段】矩形板状の圧電体２の第１の主面２ａ上に第１の電極３が、第２の主面２ｂ上に第２の電極４が形成されており、第１，第２の電極３，４が、それぞれ、第１の端面２ｃと、第１の主面２ａまたは第２の主面２ｂとのなす端縁から第２の端面２ｄと、第１の主面２ａまたは第２の主面２ｂとのなす端縁に至っており、圧電体２において、第１の端面２ｃと第２の端面２ｄとの間に複数の圧電体領域Ｐ１〜Ｐ７が形成されており、複数の圧電体領域Ｐ１〜Ｐ７の分極軸方向が、周期的に反転されており、第１，第２の端面２ｃ，２ｄで励振された弾性波が反射される端面反射型の弾性波装置１。 （もっと読む）

【課題】優れたデバイス特性を有する弾性波デバイスを、優れた生産性で容易に製造することが可能な弾性波デバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、第１支持基板１２の上面に圧電基板１０を接合する工程と、圧電基板１０を接合する工程の後に圧電基板１０を薄層化させて圧電層１４を形成する工程と、圧電層１４の上面に第１電極１６を形成する工程と、第１支持基板１２に第１電極１６の下方に位置する孔部２２を形成する工程と、孔部２２を形成する工程の後に第１支持基板１２の下面に第２支持基板２４を接合する工程と、を有する弾性波デバイスの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】共振特性の劣化を抑制すること。
【解決手段】本発明は、基板１０と、前記基板１０上に設けられた圧電膜１４と、前記圧電膜１４の少なくとも一部を挟んで設けられた下部電極１２および上部電極１６と、前記圧電膜１４を挟み前記下部電極１２および上部電極１６が対向する共振領域５０内に、複数の第１パターンと前記複数の第１パターンを連結する第２パターンとから構成された質量負荷膜２８と、を具備する弾性波デバイスである。 （もっと読む）

【課題】不要なリップルを抑えることが可能な圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電薄膜３と、圧電薄膜３の一方の主面に設けられた上部電極１３、２３と、圧電薄膜３の他方の主面に設けられた下部電極１１、２１とを有し、基板２から音響的に分離されるように、上部電極１３、２３及び下部電極１１、２１が圧電薄膜３を介して重なり合う部分で圧電振動部１５、２５が構成されている第１及び第２の圧電共振子１０、２０とを備え、第１の圧電共振子１０と第２の圧電共振子２０とは入力端子と出力端子に対して直列または並列に接続されており、入力端子からみた圧電薄膜３の分極方向は互いに逆であり、第１の圧電共振子１０と第２の圧電共振子２０とは、横振動モードの共振周波数が互いに異なるように形成されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】高い圧電性能と高いキュリー温度を両立した圧電材料を提供する。また、それを用いた圧電素子、液体吐出ヘッド、超音波モータおよび塵埃除去装置を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）：ｘＢａＴｉＯ_３−ｙＢｉＦｅＯ_３−ｚＢｉ（Ｍ_０．５Ｔｉ_０．５）Ｏ_３…（１）（式中、ＭはＭｇおよびＮｉから選択される少なくとも１種の元素であり、ｘは０．２５≦ｘ≦０．７５、ｙは０．１５≦ｙ≦０．７０、ｚは０．０５≦ｚ≦０．６０の範囲の数値を表わす。但し、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１である。）で表わされるペロブスカイト型金属酸化物からなることを特徴とする圧電材料。 （もっと読む）

【課題】線形性能の高い分波器を提供すること。
【解決手段】受信端子Ｔｒｘとアンテナ端子Ｔａｎｔとの間に接続され、弾性波共振器である１または複数の直列共振器を含む、受信帯域を有する受信用フィルタ１０と、送信端子Ｔｔｘと前記アンテナ端子との間に接続され、弾性波共振器を含む、送信帯域を有する送信用フィルタ２０と、を具備し、前記受信用フィルタの前記１または複数の直列共振器のうち前記アンテナ端子に最も近い直列共振器Ｓ１１の共振周波数は、前記受信帯域の上端周波数より高い分波器。 （もっと読む）

【課題】厚さ方向に振動する振動腕から基部への振動漏れを抑制する振動片、及びこの振
動片を備えた振動子、発振器、電子機器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１０と、基部１０からＹ軸方向に延びる振動腕１１ａ
，１１ｂ，１１ｃと、を備え、基部１０は、連結部１０ａと支持部１０ｂとを含み、Ｙ軸
方向と、平面視においてＹ軸方向に直交するＸ軸方向と、で規定される平面に沿った連結
部１０ａの主面１０ｃ，１０ｄに、溝部１２ａ，１２ｂを有し、振動腕１１ａ，１１ｂ，
１１ｃが、励振電極１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１４ａ，１４ｂ，１４ｃによって、主面１
０ｃ，１０ｄに直交するＺ軸方向に屈曲振動することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】懸架された膜を含む弾性波共振器の製作方法を提供する。
【解決手段】第一の基板表面上にある第一圧電材料の少なくとも１つの層を含む第一の堆積を作るステップと、少なくとも１つの第二の基板を含む第二の堆積を作るステップと、次の接合ステップの前に、堆積のうちの一つの表面を、突き出たナノ構造物が局部的に与えられたままにしている、抑制された大きさの粒子の堆積又は生成により、少なくとも１つの非接合の開始領域を作るステップと、非接合の開始領域の存在に起因する、堆積同士の間に気泡を作り出す、２つの堆積をダイレクトボンディングするステップと、少なくとも第一の基板を除去するための、第一の堆積の薄層化ステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】厚さ方向に振動する振動腕を備えた振動片のＱ値の向上、及びＱ値が向上した振動片を備えた振動子、発振器、電子機器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１０と、基部１０からＹ軸方向に延びる振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃと、を備え、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃは、平面視において、Ｙ軸方向と直交するＸ軸方向に腕幅を有し、Ｙ軸方向とＸ軸方向とで特定される平面に沿った主面１０ａ，１０ｂの少なくとも一方に、主面１０ａと直交するＺ軸方向に振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃを振動させる励振電極１２ａ，１２ｂ，１２ｃが設けられ、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃのＹ軸方向の腕長さをＬ、Ｘ軸方向の腕幅をＷ、励振電極１２ａ，１２ｂ，１２ｃのＹ軸方向の電極長さをＬ１、Ｘ軸方向の電極幅をＷ１としたとき、０．３≦Ｗ１／Ｗ＜１．０、且つ、０．１≦Ｌ１／Ｌ≦０．５であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】不要な振動モードを低減し、効率的に駆動することができる振動体を有する振動デバイスを提供すること。
【解決手段】振動デバイス１の振動体２は、基部２７と、基部２７からＹ軸方向に延出するとともに、Ｙ軸方向に直交するＸ軸方向に並んで設けられた２つの振動腕２８、２９と、各振動腕２８、２９上に設けられ、通電により振動腕２８、２９を励振させる励振電極２２１、２２２、２２３、２２４、２３１、２３２、２３３、２３４とを有し、励振電極２２１、２２２、２３１、２３２には、部分的に、その厚さ方向に貫通する微細な複数の孔が形成され、これにより、振動腕２８、２９の振動特性が調整されている。 （もっと読む）