【課題】周波数調整を簡単かつ高精度に行うことができる振動片、周波数調整方法を提供
すること、また、この振動片を備える信頼性に優れた振動子、振動デバイスおよび電子機
器を提供すること。
【解決手段】本発明の振動片は、基部と、基部からＹ軸方向に延出するとともに、Ｙ軸方
向に直交するＺ軸方向に屈曲振動する振動腕２８と、振動腕２８上に設けられ、エネルギ
ー線の照射により一部または全部が除去されることにより質量を減少させて、振動腕２８
の共振周波数を調整する第１の質量部５１および第２の質量部５４とを有し、第１の質量
部５１は、振動腕２８の第１の面２８１上に設けられ、第２の質量部５４は、振動腕２８
の第２の面２８２上に設けられ、第１の質量部５１および第２の質量部５４は、Ｚ軸方向
から見たときに、互いに重ならない部分を有する。 （もっと読む）

【課題】信頼性が高い屈曲振動片を提供する。
【解決手段】屈曲振動片１００は、基部１１０と、基部１１０から突設される腕部１１１，１１２，１１３と、を有し、積層構造体２ａ，２ｂ，２ｃが、腕部１１１，１１２，１１３それぞれの主面１１５に密着するよう積層されている。積層構造体２ａ，２ｂ，２ｃそれぞれは、圧電体層１０と、圧電体層の表面に設けられる上部電極４０ａ，４０ｂ，４０ｃと、裏面に設けられる下部電極５０ａ，５０ｂ，５０ｃと、を有し、上部電極４０ａ，４０ｂ，４０ｃと、下部電極５０ａ，５０ｂ，５０ｃとが、平面視して互いに重ならないように配置されている。このことにより、圧電体層１０にピンホールが発生した場合においても、上部電極４０ａ，４０ｂ，４０ｃと、下部電極５０ａ，５０ｂ，５０ｃとのショートを防止できる。 （もっと読む）

【課題】エッジマグネトプラズモンの電荷密度を増大させ、次段のエッジチャネル高周波素子に直接に接続することを可能にする。
【解決手段】高周波素子は、二次元電子４の伝導層を含む半導体積層構造３と、二次元電子伝導層の一端に相当する半導体積層構造３の端部に形成された複数の電極７，８とを備える。高周波素子は、二次元電子伝導層に磁場Ｂが印加されることにより、二次元電子伝導層の端に沿ってエッジチャネル９を形成し、複数の電極７，８に電圧が印加されることにより、エッジチャネル９を伝搬するエッジマグネトプラズモンを生成する。 （もっと読む）

【課題】面外方向に屈曲振動する振動腕を備える振動片をパッケージに対して安定的に固定しつつ、振動漏れを抑制することができる振動デバイスを提供すること。
【解決手段】振動片２は、基部２７と、基部２７から延出する振動腕２８、２９、３０と、振動腕２８、２９、３０上に第１の電極層２２１、２３１、２４１と圧電体層２２２、２３２、２４２と第２の電極層２２３、２３３、２４３とがこの順で積層され、第１の電極層２２１、２３１、２４１と第２の電極層２２３、２３３、２４３との間に電圧を印加することにより、圧電体層２２２、２３２、２４２を伸縮させて、振動腕２８、２９、３０を屈曲振動させる圧電体素子２２、２３、２４とを有し、圧電体層２２２、２３２、２４２は、基部２７側から振動腕２８、２９、３０の先端付近に亘って設けられている。 （もっと読む）

【課題】信頼性を優れたものとしつつ、振動損失を低減することができる振動片、および、この振動片を備える振動デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の振動片は、基部と、基部から延出する振動腕２８、２９、３０と、振動腕２８、２９、３０上に下地層２２１、２３１、２４１と第１の電極層２２２、２３２、２４２と圧電体層２２３、２３３、２４３と第２の電極層２２５、２３５、２４５とがこの順で積層され、第１の電極層２２２、２３２、２４２と第２の電極層２２５、２３５、２４５との間に通電することにより、圧電体層２２３、２３３、２４３を伸縮させて、振動腕２８、２９、３０を屈曲振動させる圧電体素子２２、２３、２４とを有し、下地層２２１、２３１、２４１は、Ｔｉを主材料とする金属で構成されている。 （もっと読む）

【課題】実装面積やコストを抑え、起動時間を短縮し、周波数精度の高いクロックも出力できるＭＥＭＳデバイス等を提供する。
【解決手段】 第１のクロック信号４００と第２のクロック信号４０２の少なくとも一方を出力するＭＥＭＳデバイス１００であって、同一の基板上に設けられた第１のＭＥＭＳ共振子３０２を有する第１のＭＥＭＳ発振器３００と第２のＭＥＭＳ共振子３２２を有する第２のＭＥＭＳ発振器３２０とを含み、第１のＭＥＭＳ発振器の共振周波数である第１の共振周波数と、第２のＭＥＭＳ発振器の共振周波数である第２の共振周波数とは略一致し、第１のＭＥＭＳ共振子のＱ値と第２のＭＥＭＳ共振子のＱ値とは異なり、第１のＭＥＭＳ発振器は、第１の共振周波数を周波数とする第１のクロック信号を出力し、第２のＭＥＭＳ発振器は、第２の共振周波数を周波数とする第２のクロック信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】製造時の歩留まりを向上させるとともに、振動効率を優れたものとすることができる振動片、および、この振動片を備える振動デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の振動片２は、基部２７と、基部２７から延出する駆動用の振動腕３０と、振動腕３０上に設けられ、通電により伸縮して、振動腕３０を屈曲振動させる駆動用の圧電体素子２４と、基部２７から延出するとともに、振動腕３０を介して両側に設けられ、振動腕３０の屈曲振動に伴う基部２７の振動により屈曲振動する１対の従動用の振動腕２８、２９と、各従動用振動腕２８、２９上に設けられ、通電されない従動用の圧電体素子２２、２３とを有する。 （もっと読む）

【課題】パッケージングの前及び／又は後の何れかに関わらず、出力周波数が調整され、整調され、設定され、画定され、及び／又は選択されるマイクロ電気機械共振器を製作する方法の提供。
【解決手段】機械的構造１２の１つ又は複数の要素及び／又は梁１４ａ、１４ｂ（例えば、移動可能又は拡張可能な電極及び／又は周波数調整構造）を（選択又は非選択的方法で）抵抗加熱することによって、共振器の機械的構造１２の材料を変化させ、及び／又は共振器の機械的構造から材料を除去することにより、マイクロ電気機械共振器１０の周波数を調整し、整調し、設定し、画定し、及び／又は選択する。 （もっと読む）

【課題】共振器の信号対ノイズ比の効果的な低減を可能にするのに十分に高い振動振幅を達成しながら、安定した様式でヒステリシス効果の抑制を実現することを可能にする、共振器を発見提供すること。
【解決手段】本発明は、少なくとも1つの変形可能な要素(20)と、少なくとも1つの第1の周波数での第1の作動力および少なくとも1つの第2の周波数での第2の作動力を同時に少なくとも1つの変形可能な要素に加えるための、この変形可能な要素のための作動手段(40、42、44)とを含み、第1および第2の周波数が作動力のうちの1つの周波数に等しい周波数で少なくとも2つの同時共振を生成する、電気機械共振器に関する。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能なＭＥＭＳ素子を提供する。
【解決手段】本発明に係るＭＥＭＳ素子１００は、基板１０と、基板１０の上方に形成された空洞部３２と、空洞部３２に収容された第１振動子２０ａと、空洞部３２に収容された第２振動子２０ｂと、を含む。 （もっと読む）