【課題】容量性トランスデューサとその製造及び動作方法を提供する。
【解決手段】第１ドーピング領域２０と、該第１ドーピング領域２０と反対の型のドーピング領域であり、第１振動部分３２を含む第２ドーピング領域３０と、該第１ドーピング領域と該第１振動部分３２との間に備えられた、空間６０と、を備えるトランスデューサ。第１及び第２ドーピング領域２０，３０は、一体である。第１振動部分は複数の貫通ホール４０を含み、振動部分上に貫通ホール４０を密封する物質膜５０が備えられる。 （もっと読む）

【課題】特性が安定した超音波エレメントおよび特性が安定した超音波内視鏡を提供する。
【解決手段】ＵＳエレメント２０は、シリコン基板１１と、それぞれが、キャビティ１４を介して対向配置した下部電極部１２Ａと上部電極部１６Ａとを有する複数の超音波セル１０と、複数の超音波セル１０の超音波送受信面の周囲を覆う超音波吸収層７１と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】特性が安定したＵＳエレメント２０を提供する。
【解決手段】ＵＳエレメント２０は、シリコン基板１１と、複数の下部電極部１２Ａと複数の下部配線部１２Ｂとを有し駆動信号およびバイアス信号が印加される下部電極端子５２と接続された下部電極層１２と、下部絶縁層１３と、複数のキャビティ１４が形成された上部絶縁層１５と、複数の上部電極部１６Ａと複数の上部配線部１６Ｂとを有し容量信号を検出するためのグランド電位の上部電極端子５１と接続された上部電極層１６と、保護層１７と、がシリコン基板１１の上に順に積層されており、少なくとも前記下部配線部１２Ｂの上側に形成された、グランド電位の遮蔽電極端子５３と接続された遮蔽電極部７１を更に具備する。 （もっと読む）

【課題】特性が安定し超音波エレメント２０を提供する。
【解決手段】超音波エレメント２０は、シリコン基板１１と、複数の下部電極部１２Ａと、複数の下部配線部１２Ｂと、を有し駆動信号およびバイアス信号が印加される下部電極端子５２と接続された下部電極層１２と、下部絶縁層１３と、前記下部電極部１２Ａより小さい複数のキャビティ１４が形成された上部絶縁層１５と、それぞれの前記キャビティ１４を介して、それぞれの前記下部電極部１２Ａと対向配置している、前記下部電極部１２Ａより小さく前記キャビティ１４より大きい複数の上部電極部１６Ａと、複数の上部配線部１６Ｂと、を有し、容量信号を検出するグランド電位の上部電極端子５１と接続された上部電極層１６と、保護層１７と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】絶縁性の基板の一面に設けられた基板側電極と、該基板側電極に対向配置された対向電極を有する対向板とを備える振動素子であって、インピーダンスの低減及びキャパシタンス変換、信号増幅などの機能を行うと共に、素子自体のコンパクト化を図ることが出来る振動素子、及び該振動素子を製造する製造方法を提供する。
【解決手段】基板側電極２に対向するように、シリコン単結晶からなる上部板１を配置し、基板３と上部板１との間に、上部板１を保持する保持部３１を介在させる。保持部３１に、例えば、熱拡散法又はイオン注入法によって形成される、ＩＣ回路の不純物領域である集積回路部５を設け、振動素子１０にて変換効率の向上及び生産性向上、実装システムのコンパクト化を実現する。 （もっと読む）

【課題】絶縁性の基板の一面に設けられた基板側電極と、該基板側電極に対向配置された対向電極を有する対向板とを備える振動素子であって、インピーダンスの低減及びキャパシタンス変換、信号増幅などの機能を行うと共に、素子自体のコンパクト化を図ることが出来る振動素子、及び該振動素子を製造する製造方法を提供する。
【解決手段】基板側電極２に対向するように、シリコン単結晶からなる上部板１を配置し、上部板１に、例えば、熱拡散法又はイオン注入法によって形成される、ＩＣ回路の不純物領域である集積回路部５を設け、振動素子１０にて変換効率の向上及び生産性向上、実装システムのコンパクト化を実現する。 （もっと読む）

【課題】製造が容易な超音波ユニット３０を提供する。
【解決手段】超音波ユニット３０は、連結された複数の超音波エレメント２０からなる超音波アレイ４０を具備し、超音波エレメント２０が、シリコン基板１１と、複数の超音波セル１０が配置されておりシリコン基板１１の第１の主面２０ＳＡに配設された送受信部６０と、可撓性の下部電極配線４２と、下部電極端子５２と、可撓性の上部電極配線４１と、上部電極端子５１と、を有し、可撓性の第３絶縁層１７が、送受信部６０の表面を被覆しているとともに、折り曲げ部４６、４７により第２の主面２０ＳＢの方向に折り曲げられた下部電極配線４２および上部電極配線４１を被覆している。 （もっと読む）

【課題】超音波トランスデューサを所定の位置に正確に保持する超音波振動子及び超音波診断装置を提供する。
【解決手段】本発明の超音波振動子は、超音波トランスデューサ、前記超音波トランスデューサの超音波放射面とは反対側の面に配設された弾性体、前記超音波トランスデューサを、間に前記弾性体を介在させた状態で載置する支持面を有する基台部、及び前記超音波トランスデューサを、前記基台部に向かって押圧する押圧部、を有する。 （もっと読む）

【課題】特性が安定した超音波振動子エレメント２０を提供する。
【解決手段】超音波振動子エレメント２０は、シリコン基板１１と、下部電極層１２と、第１絶縁層１３と、キャビティ１４Ａおよびチャネル１４Ｂが形成された第２絶縁層１５と、上部電極層１６と、有し、第１キャビティ１４Ａ１と第２キャビティ１４Ａ２とは大きさが異なり、第１開口部１５Ｃ１から第１キャビティ１４Ａ１の中心までの第１チャネル１４Ｂ１を介した最短距離ｄ１と、第２開口部１５Ｃ２から第２キャビティ１４Ａ２の中心までの第２チャネル１４Ｂ２を介した最短距離ｄ２と、が同じである。 （もっと読む）

【課題】寄生容量を低減して、ノイズの増大、帯域幅の減少や感度の低下を防止することができる電気機械変換装置を提供する。
【解決手段】電気機械変換装置は、基板７と、振動膜４と、基板７と振動膜４との間に間隙５が形成されるように振動膜４を支持する振動膜支持部６と、から構成されるセル１と、基板７に絶縁物１１を介して配置されたセル１の引き出し配線１２と、を有する。電気機械変換装置において、絶縁物１１は振動膜支持部６の厚さよりも厚い。 （もっと読む）